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公开(公告)号：CN105390286A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510500385.2
申请日：2015-08-14
申请人： 太阳诱电株式会社
CPC分类号： H01L28/60 , H01L21/76816 , H01L27/0207 , H01L28/40 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种耐冲击性及耐湿性优异的薄膜电子零件。本发明的薄膜电子零件是薄膜电容器(100)，具备：第一电极层(200)及第二电极层(220)；阻障层(300)，形成在电极层(200、220)上且包含无机绝缘体；以及绝缘体层(400)，形成在阻障层(300)上且包含有机绝缘体；所述薄膜电容器(100)的特征在于：绝缘体层(400)中的与引出电极(510、520)形成用贯通孔(411、12)的交界线为包含一个以上的直线部的连续线。
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公开(公告)号：CN102165542A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980137877.2
申请日：2009-10-26
申请人： 太阳诱电株式会社
IPC分类号： H01G4/33 , H01G4/12 , H01L21/822 , H01L27/04
CPC分类号： H01L27/016 , H01G4/008 , H01G4/224 , H01G4/33 , H01L28/75
摘要： 本发明提供一种能够充分获得防止绝缘特性和漏电流特性劣化的效果的薄膜MIM电容器，并且提供制造该薄膜MIM电容器的方法。薄膜MIM电容器(1)在基板(2)上依次层叠有下部电极(3)、贱金属薄膜(4)、电介质薄膜(5)和上部电极(6)。贱金属薄膜(4)、电介质薄膜(5)和上部电极(6)形成为大致相同的面积，下部电极(3)为了形成与外部连接的部分，其形状与其他的薄膜不同。贱金属薄膜(4)、电介质薄膜(5)和上部电极(6)的侧面由含有与贱金属薄膜(4)相同的金属原子的贱金属氧化物(7)覆盖。
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公开(公告)号：CN102165542B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN200980137877.2
申请日：2009-10-26
申请人： 太阳诱电株式会社
IPC分类号： H01G4/33 , H01G4/12 , H01L21/822 , H01L27/04
CPC分类号： H01L27/016 , H01G4/008 , H01G4/224 , H01G4/33 , H01L28/75
摘要： 本发明提供一种能够充分获得防止绝缘特性和漏电流特性劣化的效果的薄膜MIM电容器，并且提供制造该薄膜MIM电容器的方法。薄膜MIM电容器(1)在基板(2)上依次层叠有下部电极(3)、贱金属薄膜(4)、电介质薄膜(5)和上部电极(6)。贱金属薄膜(4)、电介质薄膜(5)和上部电极(6)形成为大致相同的面积，下部电极(3)为了形成与外部连接的部分，其形状与其他的薄膜不同。贱金属薄膜(4)、电介质薄膜(5)和上部电极(6)的侧面由含有与贱金属薄膜(4)相同的金属原子的贱金属氧化物(7)覆盖。
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公开(公告)号：CN105390288A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510500787.2
申请日：2015-08-14
申请人： 太阳诱电株式会社
IPC分类号： H01G7/00
CPC分类号： H05K1/162 , H01G7/06 , H05K2201/10098
摘要： 本申请的发明涉及一种可变电容器件及天线装置。本申请的发明是解决以薄膜形成串联连接而成的可变电容元件时一同形成的密接膜的相关问题。此可变电容器件包含串联连接而成的多个可变电容元件。而且，多个可变电容元件各自包含形成在支撑基板上的下部电极层、形成在下部电极层之上的电介质层、及形成在电介质层之上的上部电极层。而且，可变电容器件包含上部电极层形成后所形成的导电性密接膜及绝缘性耐湿膜。进而，导电性密接膜及绝缘性耐湿膜是在为了多个可变电容元件中的1个或多个可变电容元件而分离形成的下部电极层的每一区域分离。
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公开(公告)号：CN105390288B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201510500787.2
申请日：2015-08-14
申请人： 太阳诱电株式会社
IPC分类号： H01G7/00
摘要： 本申请的发明涉及一种可变电容器件及天线装置。本申请的发明是解决以薄膜形成串联连接而成的可变电容元件时一同形成的密接膜的相关问题。此可变电容器件包含串联连接而成的多个可变电容元件。而且，多个可变电容元件各自包含形成在支撑基板上的下部电极层、形成在下部电极层之上的电介质层、及形成在电介质层之上的上部电极层。而且，可变电容器件包含上部电极层形成后所形成的导电性密接膜及绝缘性耐湿膜。进而，导电性密接膜及绝缘性耐湿膜是在为了多个可变电容元件中的1个或多个可变电容元件而分离形成的下部电极层的每一区域分离。
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公开(公告)号：CN107546036A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201710176954.1
申请日：2017-03-22
申请人： 太阳诱电株式会社
CPC分类号： H01Q9/0442 , H01G2/08 , H01G4/40 , H01G7/06
摘要： 可变电容器件和天线装置。一种可变电容器件包括：多个电容器，多个电容器串联连接在第一信号端子电极与第二信号端子电极之间，所述多个电容器中的每一个具有介电层、下电极和上电极，介电层的介电常数根据施加到介电层的电压而变化，下电极和上电极夹着所述介电层；多个电阻膜，所述多个电阻膜连接在电容器和偏置端子电极之间；第一绝缘膜，第一绝缘膜接触电阻膜；以及第二绝缘膜，第二绝缘膜覆盖电容器、电阻膜和第一绝缘膜，其中：第一绝缘膜的热导率大于第二绝缘膜的热导率；以及所述多个电阻膜中的至少一个电阻膜具有设置在其两端的一对连接图案和并联连接在所述连接图案之间的电阻图案。
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