公开(公告)号：CN114324213A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111660760.1

申请日：2021-12-30

申请人： 宁波南大光电材料有限公司

发明人： 陈伟琴 ,  应长春 ,  顾大公 ,  陈情丽 ,  陈玲 ,  李珊珊 ,  许从应 ,  毛智彪

IPC分类号： G01N21/31 ,  G01N27/626 ,  G01N1/44

摘要： 本发明适用于半导体技术领域，提供了一种高硅基体溶剂中超痕量金属杂质的测定方法，该方法对高硅基体溶剂进行加热，使高硅基体溶剂蒸发完全，加热温度低于所述金属杂质沸点并与所述高硅基体溶剂沸点相同或更高。本发明的方法能准确测定高硅基体溶剂中的金属杂质，且未使用氢氟酸，操作简便，避免了氢氟酸带来的安全问题、降低了检测成本。

公开(公告)号：CN114324061A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111659569.5

申请日：2021-12-30

申请人： 宁波南大光电材料有限公司

发明人： 应长春 ,  陈伟琴 ,  陈情丽 ,  陈玲 ,  李珊珊 ,  顾大公 ,  许从应 ,  毛智彪

IPC分类号： G01N9/36 ,  G01N9/04

摘要： 本发明适用于组分含量测定技术领域，提供了一种高纯稀释剂组分含量在线快速测定的方法，包括以下步骤：1)配置系列标准样品：按照含量百分质量数占比顺序排列，分别制定两种能够完全互溶的高纯物质PGMEA和PGME不同含量百分质量数占比的系列混合物，按照制定顺序，利用分析天平分别称取PGMEA和PGME，配置系列混合物作为标准样品；2)测定系列标准样品密度；3)制作密度组分对照表；4)利用密度仪对未知的稀释剂样品在线进行密度测定，根据密度测定结果使用已制作的密度组分对照表查表即得出稀释剂中PGMEA和PGME分别的成分含量。本发明通过前期确定密度‑含量表，只需测试密度即可得到对应的含量，能够在线快速测试稀释剂产品的组分，测试成本低，效率高。