一种光刻胶颗粒度测试装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112611691A

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN202011554004.6

    申请日:2020-12-24

    IPC分类号: G01N15/02

    摘要: 本发明适用于光刻胶测试技术领域,提供了一种光刻胶颗粒度测试装置,包括,取样管路,与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶;与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪;所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路,所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径;所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置,通过缓冲管路有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动,同时通过出口端的流量计来规范颗粒仪的检测流量,稳定了测试流量并提高了测试精度。

    一种光刻胶颗粒度测试装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112611692A

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN202011573333.5

    申请日:2020-12-24

    IPC分类号: G01N15/02

    摘要: 本发明适用于光刻胶测试技术领域,提供了一种光刻胶颗粒度测试装置,包括,高位槽,与光刻胶生产线连接用于存储待测光刻胶;颗粒仪,用于测量待测光刻胶的颗粒度;高位槽底部设有进料口;高位槽的侧下方设有出料口;颗粒仪的出口端还设有流量计。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置,通过高位槽中待测光刻胶自身重力和出口端的流量计同时作用,使待测光刻胶以稳定的流速进入颗粒仪,简化了操作,提高了测试精度。解决了光刻胶颗粒度测试时,因流量不稳导致仪器容易报错的问题;并且相对于现有在进口端通过阀门需要实时调节的方法,简化了操作,可重复操作性高,并大大缩短了光刻胶产品生产时颗粒度检测的时间,提升了数据可靠性和重复性。

    一种丙烯酸单体洗涤釜
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111804256A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN202010557616.4

    申请日:2020-06-18

    IPC分类号: B01J19/18 C07C51/47 C07C57/07

    摘要: 本发明适用于洗涤釜技术领域,提供了一种丙烯酸单体洗涤釜,包括:具有洗涤腔的釜体,釜体的顶部设有一开口;釜盖,釜盖盖设于开口;搅拌杆,搅拌杆转动设置于釜盖并伸入洗涤腔内;设于搅拌杆的洗涤剂容器,洗涤剂容器设有用于容置固体洗涤剂的容纳腔,洗涤剂容器表面设有与容纳腔连通的孔结构;用于驱动搅拌杆转动的驱动装置。本发明提供的丙烯酸单体洗涤釜通过在搅拌杆上设置用于容置固体洗涤剂的洗涤剂容器,丙烯酸单体洗涤釜工作时,固体洗涤剂不会混合在丙烯酸单体中,丙烯酸单体加热洗涤完成后,固体洗涤剂可以直接从洗涤剂容器取出回收,无需另外再进行丙烯酸单体与固体洗涤剂的分离操作,整个流程操作简单,使丙烯酸单体的洗涤效率高。

    一种溶剂生产设备
    4.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209388109U

    公开(公告)日:2019-09-13

    申请号:CN201920073282.6

    申请日:2019-01-16

    IPC分类号: G03F7/004

    摘要: 本实用新型适用于光刻胶制备技术领域,提供了一种溶剂生产设备。该溶剂生产设备包括含循环过滤组件的制备系统以及利用氮气压料方式取料的取用系统。本实用新型中的溶剂生产设备,通过循环过滤方式来有效过滤掉溶剂中的颗粒度,并通过氮气压料方式来进行取料,整个过程在密封或氮气环境下运行,颗粒度控制较好,可长时间保持溶剂的纯度以及可避免溶剂在使用前被环境污染。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种光刻胶颗粒度测试装置

    公开(公告)号:CN214384566U

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202023168196.5

    申请日:2020-12-24

    IPC分类号: G01N15/02

    摘要: 本实用新型适用于光刻胶测试技术领域,提供了一种光刻胶颗粒度测试装置,包括,高位槽,与光刻胶生产线连接用于存储待测光刻胶;颗粒仪,用于测量待测光刻胶的颗粒度;高位槽底部设有进料口;高位槽的侧下方设有出料口;颗粒仪的出口端还设有流量计。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置,通过高位槽中待测光刻胶自身重力和出口端的流量计同时作用,使待测光刻胶以稳定的流速进入颗粒仪,简化了操作,提高了测试精度。解决了光刻胶颗粒度测试时,因流量不稳导致仪器容易报错的问题;并且相对于现有在进口端通过阀门需要实时调节的方法,简化了操作,可重复操作性高,并大大缩短了光刻胶产品生产时颗粒度检测的时间,提升了数据可靠性和重复性。

    一种光刻胶颗粒度测试装置

    公开(公告)号:CN214408565U

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN202023194098.9

    申请日:2020-12-24

    IPC分类号: G01N15/02

    摘要: 本实用新型适用于光刻胶测试技术领域,提供了一种光刻胶颗粒度测试装置,包括,取样管路,与光刻胶生产线连接用于输入待测光刻胶;与所述取样管路连接的用于测试所述待测光刻胶颗粒度的颗粒仪;所述取样管路与所述颗粒仪进样管路之间设有用于缓冲进入所述颗粒仪待测试光刻胶流量波动的缓冲管路,所述缓冲管路的直径均大于所述取样管路和所述进样管路的直径;所述颗粒仪的出口端还设有用于调节所述颗粒仪中待测光刻胶流量参数的流量计。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置,通过缓冲管路有效减缓了采用泵推动物料时的流量波动,同时通过出口端的流量计来规范颗粒仪的检测流量,稳定了测试流量并提高了测试精度。