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公开(公告)号：CN114326303B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202111602035.9
申请日：2021-12-24
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明适用于材料技术领域，提供了一种高敏光刻胶及其制备方法与应用。所述高纯光敏剂的制备方法包括如下步骤：(1)将光敏剂原料置于预处理后的升华设备的腔体内，于真空度0.01‑10Pa进行第一次升华，得到光敏剂粗品；(2)取出光敏剂粗品，通入氩气使腔体内恢复至常压，然后再次将升华设备进行预处理，将所述光敏剂粗品置于预处理后的腔体内，于真空度1.0×10‑4‑1.0×10‑6Pa进行第二次升华，得到高纯光敏剂。本发明还提供由所述制备方法得到的高敏光刻胶及其应用。本发明采用多次升华工艺、并控制升华的真空度制备高纯光敏剂，制得的高纯光敏剂可用于配制光刻胶，制得的光刻胶显影完全，可有效提高芯片制程的良率。
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公开(公告)号：CN114326303A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111602035.9
申请日：2021-12-24
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明适用于材料技术领域，提供了一种高敏光刻胶及其制备方法与应用。所述高纯光敏剂的制备方法包括如下步骤：(1)将光敏剂原料置于预处理后的升华设备的腔体内，于真空度0.01‑10Pa进行第一次升华，得到光敏剂粗品；(2)取出光敏剂粗品，通入氩气使腔体内恢复至常压，然后再次将升华设备进行预处理，将所述光敏剂粗品置于预处理后的腔体内，于真空度1.0×10‑4‑1.0×10‑6Pa进行第二次升华，得到高纯光敏剂。本发明还提供由所述制备方法得到的高敏光刻胶及其应用。本发明采用多次升华工艺、并控制升华的真空度制备高纯光敏剂，制得的高纯光敏剂可用于配制光刻胶，制得的光刻胶显影完全，可有效提高芯片制程的良率。
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公开(公告)号：CN112611692A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011573333.5
申请日：2020-12-24
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
IPC分类号： G01N15/02
摘要： 本发明适用于光刻胶测试技术领域，提供了一种光刻胶颗粒度测试装置，包括，高位槽，与光刻胶生产线连接用于存储待测光刻胶；颗粒仪，用于测量待测光刻胶的颗粒度；高位槽底部设有进料口；高位槽的侧下方设有出料口；颗粒仪的出口端还设有流量计。本实施例的光刻胶颗粒度测试装置，通过高位槽中待测光刻胶自身重力和出口端的流量计同时作用，使待测光刻胶以稳定的流速进入颗粒仪，简化了操作，提高了测试精度。解决了光刻胶颗粒度测试时，因流量不稳导致仪器容易报错的问题；并且相对于现有在进口端通过阀门需要实时调节的方法，简化了操作，可重复操作性高，并大大缩短了光刻胶产品生产时颗粒度检测的时间，提升了数据可靠性和重复性。
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公开(公告)号：CN112898119A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110109449.1
申请日：2021-01-27
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
摘要： 本发明适用于化工制备方法技术领域，提供了一种3‑羟乙基六氟异丙醇的制备方法及其酸催化装置。所述的3‑羟乙基六氟异丙醇的制备方法，包括：(1)以1‑乙烯基六氟异丙醇为原料，加入水以及溶剂，混合成混合液；(2)混合液通过预热管加热后，与酸性催化剂容器中的酸性催化剂发生反应，制得3‑羟乙基六氟异丙醇反应溶液；(3)经过脱溶，得到纯度达＞99％的3‑羟乙基六氟异丙醇。本发明采用酸性催化剂作为催化剂的反迈克尔加成反应制得的3‑羟乙基六氟异丙醇，纯度高，产率高，且过程简单，所用的有机试剂可以回收利用，具有良好的经济效益。酸性催化剂可循环使用。
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公开(公告)号：CN114292353A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111608869.0
申请日：2021-12-27
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
摘要： 本发明适用于功能高分子材料领域，提供了一种可用于规模化生产ArF光刻胶树脂的制备工艺，包括：(1)清洗微通道反应设备；(2)设定微通道反应器加热温度为60‑80℃，分别开启溶剂进料泵、丙烯酸酯单体进料泵和偶氮二甲酯类引发剂进料泵；(3)反应液进入微通道反应器后，通过阀门控制管路压力为1‑5MPa；(4)在取样口接收反应液样品进行在线分析，检测结果合格后，将终端阀门切换至产品罐，反应结束后关闭管路阀门。本发明由于采用特殊的引发剂偶氮二甲酯类引发剂结合使用微通道反应设备，合理控制流速、温度和压力，制备的ArF光刻胶树脂分子量分布极低，可以达到1.1以下，单金杂0.5ppb以下。而且本发明制备工艺可规模化生产，产品质量可靠。
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公开(公告)号：CN114326305A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111676666.5
申请日：2021-12-31
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明公开了一种具有低边缘粗糙度的ArF光刻胶，其特征在于包括按质量百分表计的下列组份：ArF光敏剂(0.01‑0.1％)；丙二醇甲醚醋酸酯(90‑95％)；丙烯酸树脂(4‑8％)；淬灭剂(0.001‑0.01％)；添加剂(0.01‑0.1％)；其中，原料中的各组分总金属离子小于100ppb。
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公开(公告)号：CN114085311A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111654931.X
申请日：2021-12-30
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
IPC分类号： C08F220/14 , C08F220/18 , C08F220/32 , G03F7/004
摘要： 本发明提供了一种制备高纯光刻胶树脂的方法，属于光刻胶技术领域。所述制备高纯光刻胶树脂的方法是，反应单体在溶剂、引发剂存在的条件下发生聚合反应，通过分阶段控制反应条件，制备了高纯光刻胶树脂，特别是通过高压条件，进一步提高了反应温度，提高了树脂的转化率，降低了单体杂质的含量，提高了树脂的纯度，并且在树脂制备阶段就将单体杂质的含量控制在极低的范围内，本发明方法解决了现有光刻胶树脂制备方法中单体杂质含量高的问题，以及制备后需要进一步纯化的问题。
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公开(公告)号：CN114292353B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202111608869.0
申请日：2021-12-27
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
摘要： 本发明适用于功能高分子材料领域，提供了一种生产ArF光刻胶树脂的制备工艺，包括：清洗微通道反应设备；设定微通道反应器加热温度为60‑80℃，分别开启溶剂进料泵、丙烯酸酯单体进料泵和偶氮二甲酯类引发剂进料泵；反应液进入微通道反应器后，通过阀门控制管路压力为1‑5MPa；在取样口接收反应液样品进行在线分析，检测结果合格后，将终端阀门切换至产品罐，反应结束后关闭管路阀门。本发明由于采用特殊的引发剂偶氮二甲酯类引发剂结合使用微通道反应设备，合理控制流速、温度和压力，制备的ArF光刻胶树脂分子量分布极低，可以达到1.1以下，单金杂0.5ppb以下。而且本发明制备工艺可生产，产品质量可靠。
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公开(公告)号：CN114085311B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202111654931.X
申请日：2021-12-30
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
IPC分类号： C08F220/14 , C08F220/18 , C08F220/32 , G03F7/004
摘要： 本发明提供了一种制备高纯光刻胶树脂的方法，属于光刻胶技术领域。所述制备高纯光刻胶树脂的方法是，反应单体在溶剂、引发剂存在的条件下发生聚合反应，通过分阶段控制反应条件，制备了高纯光刻胶树脂，特别是通过高压条件，进一步提高了反应温度，提高了树脂的转化率，降低了单体杂质的含量，提高了树脂的纯度，并且在树脂制备阶段就将单体杂质的含量控制在极低的范围内，本发明方法解决了现有光刻胶树脂制备方法中单体杂质含量高的问题，以及制备后需要进一步纯化的问题。
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公开(公告)号：CN113041703A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110478806.1
申请日：2021-04-30
申请人： 宁波南大光电材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种实验室用高纯溶剂制备装置，其特征在于包括：溶剂罐；气动泵：其连接有其上设置有过滤模组的第一进出液管路和用于末端伸入溶剂罐的第二进出液管路，第一进出液管路上设置有取样口，第二进出液管路上设置有氮气保护；过滤模组包括颗粒过滤器和与颗粒过滤器通过管路连接的金属吸附装置，其为设置有吸附剂的柱状管道。制备方法包括步骤：1)原料载入：准备溶剂罐，连接第一进液管路和第二进液管路，开启氮气瓶；2)过滤纯化：将颗粒过滤器与柱状管道连接，在氮气保护下，开启气动泵，待纯化试剂先后通过颗粒过滤器和柱状管道，循环2‑7天后，即达到使用标准。便于操作，其能够将普通市售的分析级溶剂，纯化至电子级。
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