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公开(公告)号:CN109188869B
公开(公告)日:2020-08-28
申请号:CN201811147993.X
申请日:2018-09-29
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 本发明涉及一种在不透明基底上制备微结构的方法,该方法引入螺旋塔图案,该螺旋塔图案为标示连续排列成的阵列,该阵列在水平面的投影中,由左向右横向排列n个标示后,朝上竖向排列n个标示,接着由右向左横向排列n个标示,然后向下竖向排列n‑1个标示…依次循环而构成回形图,各相邻标示在水平投影上的间距均为a,且各标示分别比按排列顺序位于其前面的标示竖向上升高度b,其中5≤n≤8,从而能在不同高度尝试刻写,进而找到合适的焦点起始位置,继而能实现在不透明基底上的准确光刻。本发明加工速度快,精度高,灵活性强,可在不透明基底上制备各种微结构,且制备过程简单易操作。
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公开(公告)号:CN110133836B
公开(公告)日:2024-04-19
申请号:CN201910471305.3
申请日:2019-05-31
申请人: 宁波大学
摘要: 本发明涉及一种微结构固定荧光粉末的方法,利用微结构加工装置将负性光刻玻璃胶加工为具有放置腔的微结构体;清洗并干燥处理微结构体;将微结构体置于显微镜下,利用探针拾取荧光粉末,并放置在微结构体放置腔的敞口前,利用微距驱动平台驱动加热的放置针,利用放置针推动荧光粉末进入至微结构体的放置腔内以实现荧光粉末在微结构体内的固定。该微结构固定荧光粉末的方法操作简单,能够有效固定荧光粉末,进而使得荧光粉末得以方便应用。本发明还涉及一种微结构固定荧光粉末的装置,包括显微镜、微结构体、探针、放置针、放置针驱动机构、加热器,设置在放置针驱动机构上并与放置针加热连接。该微结构固定荧光粉末的装置操作简单,成本低。
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公开(公告)号:CN110133836A
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201910471305.3
申请日:2019-05-31
申请人: 宁波大学
摘要: 本发明涉及一种微结构固定荧光粉末的方法,利用微结构加工装置将负性光刻玻璃胶加工为具有放置腔的微结构体;清洗并干燥处理微结构体;将微结构体置于显微镜下,利用探针拾取荧光粉末,并放置在微结构体放置腔的敞口前,利用微距驱动平台驱动加热的放置针,利用放置针推动荧光粉末进入至微结构体的放置腔内以实现荧光粉末在微结构体内的固定。该微结构固定荧光粉末的方法操作简单,能够有效固定荧光粉末,进而使得荧光粉末得以方便应用。本发明还涉及一种微结构固定荧光粉末的装置,包括显微镜、微结构体、探针、放置针、放置针驱动机构、加热器,设置在放置针驱动机构上并与放置针加热连接。该微结构固定荧光粉末的装置操作简单,成本低。
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公开(公告)号:CN109188869A
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201811147993.X
申请日:2018-09-29
IPC分类号: G03F7/20
摘要: 本发明涉及一种在不透明基底上制备微结构的方法,该方法引入螺旋塔图案,该螺旋塔图案为由标示连续排列成的阵列,该阵列在水平面的投影中,由左向右横向排列n个标示后,朝上竖向排列n个标示,接着由右向左横向排列n个标示,然后向下竖向排列n-1个标示…依次循环而构成回形图,各相邻标示在水平投影上的间距均为a,且各标示分别比按排列顺序位于其前面的标示竖向上升高度b,其中5≤n≤8,从而能在不同高度尝试刻写,进而找到合适的焦点起始位置,继而能实现在不透明基底上的准确光刻。本发明加工速度快,精度高,灵活性强,可在不透明基底上制备各种微结构,且制备过程简单易操作。
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公开(公告)号:CN210072191U
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201920820934.8
申请日:2019-05-31
申请人: 宁波大学
摘要: 本实用新型涉及一种微操作装置,包括显微镜、微结构体、探针、放置针、放置针驱动机构、加热器,设置在放置针驱动机构上并与放置针加热连接。微结构体具有敞开设置的放置腔,通过载玻片放置在显微镜的载物台上。探针用于拾取荧光粉末,放置针驱动机构位于显微镜旁,放置针水平安装在放置针驱动机构的前端,放置针驱动机构能够驱动放置针进行三维方向上的运动,进而将荧光粉末推至微结构体的放置腔内进行固定。该微操作装置操作简单,成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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