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公开(公告)号：CN118483877A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410637763.0
申请日：2024-05-22
Applicant: 宁波工程学院
Inventor： 杨思彤 , 吴泓均 , 付俊鹏 , 王文杰 , 蔡媛媛 , 李易展 , 叶皓宇 , 徐爽妮 , 任睿辰 , 张佳丽 , 吴雨菲 , 陈恩泽 , 宋佳丽 , 段烨 , 王紫林 , 谢娅莉 , 顾逸峰
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种蜂窝盒体式曝光机，涉及半导体制造技术领域，包括第二平台，所述第二平台的上转动连接有从旋转平台，所述从旋转平台上环形分布有多个用于承载光掩模板的蜂窝盒体，所述从旋转平台的下方具有驱动其旋转的主旋转平台，所述主旋转平台设于升降平台上，并与旋转电机相接，所述升降平台底部具有驱动其上行和下行的升降电机，所述蜂窝盒体包括设于两相对侧的导轨入口和导轨出口，所述蜂窝盒体内设置有电磁对准系统。本发明利用多个蜂窝盒体几何中心不变的特性，通过旋转的方式完成光掩模板的对准，解决了传统机械臂夹带方式的不精准问题，提高了对准精度和准确性，同时大幅减少对准的时间和成本。
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公开(公告)号：CN220759664U
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202322291547.9
申请日：2023-08-25
Applicant: 宁波工程学院
Abstract: 本实用新型公开了一种美瞳移印钢板旋涂机，涉及美瞳移印钢板旋涂技术领域，包括支撑框，支撑框的内部设置有旋涂机构和调节机构，旋涂机构包括废液缸、两个喷管和两个HeNe激光束反射信号处理器，两个喷管均与支撑框滑动连接，两个HeNe激光束反射信号处理器均与支撑框固定连接。本实用新型通过支撑框、旋涂机构和调节机构之间的配合设置，能够使用范德华力吸盘代替真空装置对移印钢板进行固定，解决在旋涂过程中光刻胶容易滴入真空管道的问题，避免影响对移印钢板的吸附，并且实现了对不同尺寸的方形移印钢板的准确定位，使得旋涂更加均匀，同时可在旋涂完成后直接进行化学去边胶处理，节省工艺，避免涂布不均匀在后续工艺中的影响。
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公开(公告)号：CN219877039U
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202321708577.9
申请日：2023-07-03
Applicant: 宁波工程学院
IPC: A01G13/02
Abstract: 本实用新型公开一种地膜覆盖机，包括支架，支架底部一端安装有铧式犁，另一端安装有后轮，支架上固接有一对支撑板，两支撑板之间固接有打孔器，支撑板底部固接有切板，切板底面固接有抽拉盒，抽拉盒侧壁固接有连接板，连接板远离抽拉盒的一端安装有第三滚轮，两支撑板底部分别安装有第一滚轮和第二滚轮，第一滚轮和第二滚轮均与切板贴合，第一滚轮上方设有膜辊，膜辊与支撑板转动连接，支架上安装有铰接架，铰接架底部转动连接有压膜辊，支架上固接有空心箱，空心箱内固接有滑动组件，滑动组件底部固接有覆土组件。本实用新型便于调节，提高了适用范围，并且通过覆土组件能够使地膜形成一定供度，提高地膜的通透性。
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公开(公告)号：CN221149947U
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202322584999.6
申请日：2023-09-22
Applicant: 宁波工程学院
IPC: H01L21/67 , H01L21/306 , H01L21/687
Abstract: 本实用新型公开一种旋转式湿法刻蚀机，壳体内的中心固定连接有第一隔板，第一隔板将壳体分隔成刻蚀腔和清洗腔，刻蚀腔与清洗腔通过第一隔板上部开设的第二通孔连通，刻蚀腔中部固定连接有第二隔板，第二隔板将刻蚀腔分隔成工作室与储液室，工作室设置在储液室的上方，工作室内设置有传送装置和刻蚀组件，刻蚀组件内设置有旋转装置，传送装置与壳体的顶面固定连接，第二隔板的顶面中心与刻蚀组件固定连接；清洗腔中部设置有清洗装置。本实用新型通过刻蚀组件改变刻蚀方式，减少了需要注满药液的体积，同时也减少了药液的挥发，有效提高了药液的利用率，并提高了刻蚀的质量。
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