公开(公告)号：CN221149947U

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202322584999.6

申请日：2023-09-22

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 杨思彤 ,  吴泓均 ,  代晨阳 ,  蔡媛媛 ,  付俊鹏 ,  顾逸峰 ,  冯皓煊 ,  王紫林 ,  段烨 ,  沈滟滟

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型公开一种旋转式湿法刻蚀机，壳体内的中心固定连接有第一隔板，第一隔板将壳体分隔成刻蚀腔和清洗腔，刻蚀腔与清洗腔通过第一隔板上部开设的第二通孔连通，刻蚀腔中部固定连接有第二隔板，第二隔板将刻蚀腔分隔成工作室与储液室，工作室设置在储液室的上方，工作室内设置有传送装置和刻蚀组件，刻蚀组件内设置有旋转装置，传送装置与壳体的顶面固定连接，第二隔板的顶面中心与刻蚀组件固定连接；清洗腔中部设置有清洗装置。本实用新型通过刻蚀组件改变刻蚀方式，减少了需要注满药液的体积，同时也减少了药液的挥发，有效提高了药液的利用率，并提高了刻蚀的质量。

公开(公告)号：CN220759664U

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202322291547.9

申请日：2023-08-25

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 杨思彤 ,  吴泓均 ,  顾逸峰 ,  代晨阳 ,  蔡媛媛 ,  付俊鹏 ,  游景浩 ,  王紫林 ,  段烨 ,  沈滟滟

IPC: B05B13/02 ,  B05B15/68 ,  B05B15/00 ,  B05B14/00

Abstract: 本实用新型公开了一种美瞳移印钢板旋涂机，涉及美瞳移印钢板旋涂技术领域，包括支撑框，支撑框的内部设置有旋涂机构和调节机构，旋涂机构包括废液缸、两个喷管和两个HeNe激光束反射信号处理器，两个喷管均与支撑框滑动连接，两个HeNe激光束反射信号处理器均与支撑框固定连接。本实用新型通过支撑框、旋涂机构和调节机构之间的配合设置，能够使用范德华力吸盘代替真空装置对移印钢板进行固定，解决在旋涂过程中光刻胶容易滴入真空管道的问题，避免影响对移印钢板的吸附，并且实现了对不同尺寸的方形移印钢板的准确定位，使得旋涂更加均匀，同时可在旋涂完成后直接进行化学去边胶处理，节省工艺，避免涂布不均匀在后续工艺中的影响。

公开(公告)号：CN220783930U

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202321881688.X

申请日：2023-07-18

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 王紫林 ,  吴泓均 ,  黄钰玮 ,  游景浩 ,  林虹希 ,  郑瑞文 ,  蔡媛媛 ,  孔祥蓉 ,  蒋雪莹 ,  杜雨果 ,  杨思彤 ,  代晨阳

IPC: B25J11/00 ,  B25J15/00

Abstract: 本实用新型提供一种晶圆末端夹持装置，包括外壳，外壳上设置有散热组件，外壳内设置有动力组件，动力组件上螺纹连接有伸缩杆，伸缩杆远离动力组件的一端固接有安装块，动力组件的底端转动连接有压力传感器，压力传感器与外壳的底端固接；外壳的外顶面固接有支撑杆，支撑杆远离外壳的一端固接有夹持组件，伸缩杆穿过夹持组件，动力组件、伸缩杆、压力传感器和散热组件分别电性连接有控制组件。本实用新型解决翘曲晶圆片在传统接触抓手末端执行器易夹碎的问题，减少晶圆片在搬运过程中的形变。