公开(公告)号：CN221149947U

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202322584999.6

申请日：2023-09-22

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 杨思彤 ,  吴泓均 ,  代晨阳 ,  蔡媛媛 ,  付俊鹏 ,  顾逸峰 ,  冯皓煊 ,  王紫林 ,  段烨 ,  沈滟滟

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型公开一种旋转式湿法刻蚀机，壳体内的中心固定连接有第一隔板，第一隔板将壳体分隔成刻蚀腔和清洗腔，刻蚀腔与清洗腔通过第一隔板上部开设的第二通孔连通，刻蚀腔中部固定连接有第二隔板，第二隔板将刻蚀腔分隔成工作室与储液室，工作室设置在储液室的上方，工作室内设置有传送装置和刻蚀组件，刻蚀组件内设置有旋转装置，传送装置与壳体的顶面固定连接，第二隔板的顶面中心与刻蚀组件固定连接；清洗腔中部设置有清洗装置。本实用新型通过刻蚀组件改变刻蚀方式，减少了需要注满药液的体积，同时也减少了药液的挥发，有效提高了药液的利用率，并提高了刻蚀的质量。