公开(公告)号：CN116460829A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310622228.3

申请日：2023-05-30

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 王紫林 ,  吴泓均 ,  黄钰玮 ,  林虹希 ,  游景浩 ,  杨思彤 ,  郑瑞文 ,  蔡媛媛 ,  段烨 ,  杨奥淇

IPC: B25J9/04 ,  B25J9/12 ,  B25J15/00 ,  B25J19/00

Abstract: 本发明公开了一种新型直驱电机驱动的晶圆机械臂，包括：移动机构，移动机构包括若干直驱电机和外筒，外筒顶口敞开，外筒内设有升降组件，升降组件通过一个直驱电机驱动，升降组件上传动连接有支撑梯台，支撑梯台顶面固接有机械臂组件，机械臂组件内设有若干直驱电机，机械臂组件远离支撑梯台的一端伸出外筒；托举机构，托举机构包括气浮导轨，气浮导轨与机械臂组件的伸出端固接，气浮导轨上活动连接有若干喷气柱，本发明具有高稳定性、高精度以及高兼容度。

公开(公告)号：CN118483877A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202410637763.0

申请日：2024-05-22

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 杨思彤 ,  吴泓均 ,  付俊鹏 ,  王文杰 ,  蔡媛媛 ,  李易展 ,  叶皓宇 ,  徐爽妮 ,  任睿辰 ,  张佳丽 ,  吴雨菲 ,  陈恩泽 ,  宋佳丽 ,  段烨 ,  王紫林 ,  谢娅莉 ,  顾逸峰

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种蜂窝盒体式曝光机，涉及半导体制造技术领域，包括第二平台，所述第二平台的上转动连接有从旋转平台，所述从旋转平台上环形分布有多个用于承载光掩模板的蜂窝盒体，所述从旋转平台的下方具有驱动其旋转的主旋转平台，所述主旋转平台设于升降平台上，并与旋转电机相接，所述升降平台底部具有驱动其上行和下行的升降电机，所述蜂窝盒体包括设于两相对侧的导轨入口和导轨出口，所述蜂窝盒体内设置有电磁对准系统。本发明利用多个蜂窝盒体几何中心不变的特性，通过旋转的方式完成光掩模板的对准，解决了传统机械臂夹带方式的不精准问题，提高了对准精度和准确性，同时大幅减少对准的时间和成本。

公开(公告)号：CN116904943A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202311032149.3

申请日：2023-08-16

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 段烨 ,  吴泓均 ,  张良煜 ,  詹晓魁 ,  姚敦斌 ,  李秋慧 ,  沈滟滟 ,  谢琦 ,  陈乐怡 ,  朱沈甜 ,  杨思彤

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明公开了一种溅镀装置，包括：溅镀室，溅镀室两侧壁分别开设有进气口和出气口，溅镀室内设有升降组件，升降组件上设有平面移动组件，平面移动组件上设有轮台，轮台上设有多级阴极板，溅镀室内顶面设有多级阳极板，多级阴极板与多级阳极板之间形成溅镀区域，进气口朝向溅镀区域，多级阳极板外圈套设有表面电阻传感器；供气机构，供气机构包括溅镀控制系统和气体供给组件，气体供给组件与进气口连通，溅镀控制系统与气体供给组件电性连接；排气机构，排气机构包括预警系统和气体排出组件，气体排出组件与出气口连通，预警系统与气体排出组件电性连接，本发明能够减少能源消耗，提高工作效率，提高材料的均匀性，防止靶材中毒的发生。

公开(公告)号：CN220759664U

公开(公告)日：2024-04-12

申请号：CN202322291547.9

申请日：2023-08-25

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 杨思彤 ,  吴泓均 ,  顾逸峰 ,  代晨阳 ,  蔡媛媛 ,  付俊鹏 ,  游景浩 ,  王紫林 ,  段烨 ,  沈滟滟

IPC: B05B13/02 ,  B05B15/68 ,  B05B15/00 ,  B05B14/00

Abstract: 本实用新型公开了一种美瞳移印钢板旋涂机，涉及美瞳移印钢板旋涂技术领域，包括支撑框，支撑框的内部设置有旋涂机构和调节机构，旋涂机构包括废液缸、两个喷管和两个HeNe激光束反射信号处理器，两个喷管均与支撑框滑动连接，两个HeNe激光束反射信号处理器均与支撑框固定连接。本实用新型通过支撑框、旋涂机构和调节机构之间的配合设置，能够使用范德华力吸盘代替真空装置对移印钢板进行固定，解决在旋涂过程中光刻胶容易滴入真空管道的问题，避免影响对移印钢板的吸附，并且实现了对不同尺寸的方形移印钢板的准确定位，使得旋涂更加均匀，同时可在旋涂完成后直接进行化学去边胶处理，节省工艺，避免涂布不均匀在后续工艺中的影响。

公开(公告)号：CN220783930U

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202321881688.X

申请日：2023-07-18

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 王紫林 ,  吴泓均 ,  黄钰玮 ,  游景浩 ,  林虹希 ,  郑瑞文 ,  蔡媛媛 ,  孔祥蓉 ,  蒋雪莹 ,  杜雨果 ,  杨思彤 ,  代晨阳

IPC: B25J11/00 ,  B25J15/00

Abstract: 本实用新型提供一种晶圆末端夹持装置，包括外壳，外壳上设置有散热组件，外壳内设置有动力组件，动力组件上螺纹连接有伸缩杆，伸缩杆远离动力组件的一端固接有安装块，动力组件的底端转动连接有压力传感器，压力传感器与外壳的底端固接；外壳的外顶面固接有支撑杆，支撑杆远离外壳的一端固接有夹持组件，伸缩杆穿过夹持组件，动力组件、伸缩杆、压力传感器和散热组件分别电性连接有控制组件。本实用新型解决翘曲晶圆片在传统接触抓手末端执行器易夹碎的问题，减少晶圆片在搬运过程中的形变。

公开(公告)号：CN221149947U

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202322584999.6

申请日：2023-09-22

Applicant: 宁波工程学院

Inventor： 杨思彤 ,  吴泓均 ,  代晨阳 ,  蔡媛媛 ,  付俊鹏 ,  顾逸峰 ,  冯皓煊 ,  王紫林 ,  段烨 ,  沈滟滟

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型公开一种旋转式湿法刻蚀机，壳体内的中心固定连接有第一隔板，第一隔板将壳体分隔成刻蚀腔和清洗腔，刻蚀腔与清洗腔通过第一隔板上部开设的第二通孔连通，刻蚀腔中部固定连接有第二隔板，第二隔板将刻蚀腔分隔成工作室与储液室，工作室设置在储液室的上方，工作室内设置有传送装置和刻蚀组件，刻蚀组件内设置有旋转装置，传送装置与壳体的顶面固定连接，第二隔板的顶面中心与刻蚀组件固定连接；清洗腔中部设置有清洗装置。本实用新型通过刻蚀组件改变刻蚀方式，减少了需要注满药液的体积，同时也减少了药液的挥发，有效提高了药液的利用率，并提高了刻蚀的质量。