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发明公开
一种用于真空腔室内等离子体辐照的样品支架及其运动装置审中-公开

公开(公告)号：CN117198853A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202311167572.4

申请日：2023-09-11

申请人： 安徽理工大学

发明人： 段泽豹 , 孔德峰 , 叶杨 , 许吉禅 , 谭名升

IPC分类号： H01J37/32 , H01J37/20 , H01J37/02

摘要： 本发明公开了一种用于真空腔室内等离子体辐照的样品支架及其运动装置，属于等离子体诊断技术领域，包括支架运动底座和样品支架模组，所述支架运动底座包括电机一、导轨、丝杆、运动滑块，所述样品支架模组包括连接板、支撑加强筋、电机样品台固定板、电机二、电机固定板、联轴器、样品支架；所述支架运动底座中电机一的旋转运动传递给丝杆，丝杆将旋转运动转换为直线运动，带动上方的支架模组实现直线运动，所述样品支架模组中电机二的旋转运动通过联轴器传递给样品支架使其做轴向圆周运动；本发明达到了技术效果：便于调节样品支架到等离子体源的距离和等离子体的辐照角度，为真空腔内等离子体辐照实验提供不同的辐照距离和角度。