公开(公告)号：CN103477421A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201280018240.3

申请日：2012-11-12

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 富泽浩 ,  古市卓也

IPC: H01L21/3065 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01L22/14 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C1/00563 ,  B81C2201/0132 ,  H01L22/26 ,  H01L22/30

Abstract: 本发明提供一种蚀刻完成检测方法，不论开口宽度多大都可正确检测SOI基板蚀刻完成位置。该方法在绝缘层上配置有导电性硅层的SOI基板的所述硅层中、蚀刻到达所述绝缘层的开口部时，检测蚀刻的完成，在由所述蚀刻形成的环状开口部围绕的条状区域的表面配置第一电极部，并在所述岛状区域的外侧区域配置第二电极部，构成蚀刻完成检测部，测量所述第一电极部和所述第二电极部之间的电阻，当该电阻超过预先设定的阈值时，判定到达蚀刻完成位置。

公开(公告)号：CN119714373A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411178762.0

申请日：2024-08-27

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 古市卓也 ,  小泉和裕 ,  森田晃 ,  增永靖行

IPC: G01D5/34 ,  H02K11/22

Abstract: 本发明提供一种抑制受光波形中的谐波的影响的编码器。该编码器是检测电动机的旋转位置的光学式编码器，包括：发光元件；缝隙板，使从所述发光元件射出的光透过或反射而生成明部和暗部的图案；受光元件，将来自所述缝隙板的光转换为电信号；以及信号处理单元，对来自所述受光元件的电信号进行处理，所述缝隙板具有：基本图案，在圆周上以第一间距将明部和暗部交替地等间隔配置而成；以及谐波抑制图案，在所述基本图案上，以第二间距将明部和暗部交替地等间隔配置而成，所述第二间距是所述第一间距的N分之一，其中，N是2以上的整数。

公开(公告)号：CN119022967A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202410517227.7

申请日：2024-04-28

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 森田晃 ,  山内芳准 ,  栗原晋 ,  木村藤一郎 ,  增永靖行 ,  小泉和裕 ,  古市卓也

IPC: G01D5/14 ,  H02K39/00 ,  H02K1/06 ,  H02K1/27 ,  H02K11/20 ,  H02K11/215 ,  H02K1/2783 ,  H02K1/2792

Abstract: 本公开提供一种编码器，其对发电电力的产生效率进行改善。该编码器具备：第一磁体，相对于旋转轴对称地设置，并且产生将要由磁传感器检测的第一磁场；以及多个第二磁体，在所述旋转轴的周向上排列设置，并且产生使发电元件发电的第二磁场。