公开(公告)号：CN101796216A

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN200980100302.3

申请日：2009-03-02

Applicant: 富士电机系统株式会社

Inventor： 横山胜治

IPC: C23C16/54 ,  B65H5/06 ,  H01L21/677 ,  H01L31/04

CPC classification number: C23C14/54 ,  B65H23/0324 ,  B65H23/038 ,  B65H2301/323 ,  C23C14/562 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67721 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03926 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供薄膜叠层体的制造装置和方法。其即使在使带状挠性基板的宽度方向朝向铅垂方向的同时，将基板在水平方向上搬送较长的距离，也能够高精度地维持基板的铅垂方向上的位置。当在带状挠性基板(1)的表面叠层多层薄膜而制造薄膜叠层体时，将配置在多个成膜室之间的间隔中的至少一个间隔内、夹着基板的铅垂方向上侧的端部的至少一对夹持辊(52U)设置为，该夹持辊的旋转方向相对于基板(1)的搬送方向成角度(θU)地向上方倾斜，通过使该夹持辊(52U)夹着基板(1)的力变化，能够在基板(1)产生上升的力(Fx)，从而控制基板(1)的高度。