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公开(公告)号：CN1677068A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510063778.8
申请日：2005-04-01
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01P15/123 , G01P15/18 , G01P21/00 , G01P2015/084
摘要： 本发明提供用于具有多轴传感器的力传感器装置的应力检测方法和采用此方法的力传感器装置，所述力传感器装置的安装角度是任意的。该应力检测方法包括：检测轴相互正交的第一和第二力传感器。当第一力传感器的检测轴与被检测应力Ax的方向形成角度θ，并且在与被检测应力Ax的方向相垂直的方向上的应力分量是Az时，求得第一力传感器的轴方向的输出Apx为Apx＝αx(Ax×cosθ+Az×sinθ)，并且求得第二力传感器的轴方向的输出Apz为Apz＝αz(Ax×sinθ+Az×cosθ)，以及当αx和αz分别是第一力传感器和第二力传感器的检测灵敏度系数时，将第二力传感器的检测灵敏度系数αz设置为αz＝αxtanθ，求得被检测应力Ax为Ax＝(Apx－Apz)/αx(cosθ－tanθ×sinθ)。
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公开(公告)号：CN1677056A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510059704.7
申请日：2005-03-29
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01P15/123 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01C19/56 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0842
摘要： 一种惯性传感器，包括：传感部分，其具有由梁支撑的配重，该配重是可运动部分；以及限制配重的可运动范围的配重止动件，该配重止动件以给定间距设置在配重的附近，并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。
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公开(公告)号：CN1721858A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200510064610.9
申请日：2005-04-15
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/12 , G01P15/125 , G01C19/00
CPC分类号： G01P15/0802 , G01C19/56 , G01P1/023 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
摘要： 一种惯性传感器，诸如加速度传感器或回转仪，其通过调节重物部分在上限方向上的移动而具有优良的抗冲击性。该传感器包括传感器部分，该传感器部分具有固定部件、具有小于所述固定部件的高度的预定大小的高度的重物部分、和连接所述重物部分和所述固定部件的梁部分；板状第一止挡部分，其覆盖所述重物部分且连接到所述固定部件上，并与所述重物部分相隔预定大小的间隙；和平板状第二止挡部分，其通过一预定高度的隆起部连接到所述固定部件，该隆起部位于与第一止挡部分相对的一侧。
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公开(公告)号：CN1677055A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510058943.0
申请日：2005-03-25
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
摘要： 一种惯性传感器，该惯性传感器包括具有配重的传感部分，所述配重由从框架处延伸的梁悬挂并且是可运动部分。所述梁包括部分地布置于其中的变形部分，并且所述变形部分布置成避开施加在所述梁上的应力集中在其上的边缘。所述梁的根部没有形成为以直角与配重或框架相连接。所述梁的根部具有更宽的角度。因此，可分散应力集中在其上的区域，并且在不牺牲传感器的灵敏性情况下增强耐冲击性。根据本发明既可获得高传感器灵敏性又可获得耐冲击性。
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