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公开(公告)号：CN1766648A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510068900.0
申请日：2005-05-11
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： B81B7/0048 , B81B3/0072 , B81B2201/0235 , G01D11/30 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
摘要： 加速度传感器。该加速度传感器减少了噪声，可以解决由于热膨胀系数差异而出现的应力问题。该加速度传感器检测三维坐标系统中的三个轴向的加速度，包括：具有四个侧面的框架，通过半导体基板一体形成；重物部分，位于该框架中；和四个梁部分，分别与四个侧面中的每一个相对应，所述梁部分的一端连接到重物部分上以支撑该重物部分，另一端连接到四个侧面的相应侧面的中心，在四个梁部分的每一个上形成检测元件，该检测元件检测与作用在重物部分上的加速度相对应的梁部分的挠曲；在框架的四个侧面的每一个上形成有接合部分对，在该接合部分对之间形成有间隙；在一个侧面上形成的所述接合部分对之间的间隙相对该侧面的中心对称，并具有预定的长度。
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公开(公告)号：CN1928496A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610128999.3
申请日：2006-09-06
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括感测角速度的振动器、以及安装有所述振动器的外壳。所述振动器布置在所述外壳中，以使得该振动器的宽度方向与所述外壳的长边方向一致。所述振动器可附着于所述外壳，以使得该振动器相对于垂直方向倾斜。
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公开(公告)号：CN1854684A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200610078626.X
申请日：2006-04-26
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 一种角速度传感器，包括检测角速度的振动器和其上安装有该振动器的外壳。所述振动器沿着所述外壳的对角方向布置。所述角速度传感器包括支撑所述外壳的电路板。所述振动器附接在所述电路板上，以使得所述振动器相对于垂直方向以预定角度倾斜。
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公开(公告)号：CN1773292A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN200510084468.4
申请日：2005-07-08
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01P15/123 , G01P1/006 , G01P15/18
摘要： 提供了一种加速度传感器，其抑制了偏移电压的波动并且具有改善的温度特性。该加速度传感器包括：形成在半导体基板中央的重物；形成在重物周边的框架；连接重物和框架的梁或隔膜；检测元件，其形成在梁或隔膜上并且检测与施加的加速度对应的梁或隔膜的弯曲；以及引线，形成在梁或隔膜上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在框架上的焊盘，其中，在梁或隔膜上形成包括与形成在梁或隔膜上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。
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公开(公告)号：CN1790029A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510102738.X
申请日：2005-09-09
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC分类号： G01P15/02
CPC分类号： G01P15/18 , G01P1/023 , G01P15/123 , G01P2015/084 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48465 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： 加速度传感器。具有较好抗冲击性的结构被提出用于伞型加速度传感器。该加速度传感器，包括：支撑部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成检测元件，检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号，梁部分的一端与支撑部分的顶部相连接；被悬起的重物，其与所述梁部分的另一端相连接；和制动器基板，其带有窗孔部分，为了引导检测元件的输出信号通过形成在支撑部分上端面上的焊盘，与焊盘连接的导线经过该窗孔部分。该制动器基板限制了重物向上的过度摆动。
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公开(公告)号：CN101097227A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200710112656.2
申请日：2007-06-26
申请人： 富士通媒体部品株式会社
CPC分类号： G01C19/5628
摘要： 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括音叉式振动器、支撑部、振动吸收部和安装部。该音叉式振动器具有基部和从该基部延伸的臂部。该支撑部在其前表面处支撑所述音叉式振动器的基部。所述振动吸收部设置在所述支撑部的与所述前表面相对的后表面上。所述安装部经由所述振动吸收部安装所述支撑部。
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公开(公告)号：CN1675555A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN03819363.9
申请日：2003-08-14
申请人： 富士通媒体部品株式会社
IPC分类号： G01P15/09
CPC分类号： G01H11/08 , G01H11/00 , G01P15/0915
摘要： 一种加速度传感器，包括：用于产生基于应力的电荷的压电振子(2)；和形成在压电振子(2)上的配重部(1)，其中，该压电振子(2)在其正面和背面上具有多对检测电极(3a、3b)和(4a、4b)，并且检测电极(3a、3b)和(4a、4b)分别被并联连接，使得由这些检测电极构成的电容(Cd1和Cd2)可以被并联连接。由此可以在保持电压灵敏度的同时使电荷灵敏度加倍。
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公开(公告)号：CN1537231A
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：CN02815023.6
申请日：2002-10-17
申请人： 富士通媒体部品株式会社
IPC分类号： G01P15/09
CPC分类号： G01P15/0915 , G01P15/09
摘要： 加速度传感器包括：振子，被在一个方向极化；重锤，连接到该振子；以及一对电极，在极化方向彼此相邻，而且位于振子的第一表面上。这对电极位于振子第一表面的对角线上。利用这种电极结构，该对电极始终产生电压，而与振子的3个轴中的哪个轴接收加速度无关。这样，可以实现无方向性加速度传感器。此外，通过相对于振子的尺寸，改变这对电极的尺寸，可以容易地调节对三轴加速度的灵敏度。
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公开(公告)号：CN1639576A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN03804478.1
申请日：2003-02-05
申请人： 富士通媒体部品株式会社
CPC分类号： G01P15/09 , G01P15/0915
摘要： 一种加速度传感器，其包括重块和在该重块的中心处支持该重块的振子。当向重块施加加速度时，在振子中产生与所施加的加速度相应的应力。由于振子在重块的重心处支持重块，所以观测到加速度，例如角加速度和平移加速度，与电荷大小和极性之间的特征关系。利用这一关系，可以容易地检测不同类型的加速度。
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