膜沉积装置和膜沉积方法

    公开(公告)号:CN101925247B

    公开(公告)日:2014-04-23

    申请号:CN201010202850.1

    申请日:2010-06-10

    IPC分类号: H05H1/50 C23C14/00

    摘要: 一种膜沉积装置和膜沉积方法,其中该膜沉积装置包括:等离子体生成部,被配置为在阴极靶与阳极之间生成等离子体;膜沉积室,其中放置有基材;以及磁场过滤部,被配置为通过磁场从等离子体移除粒子,并将等离子体转移到膜沉积室。磁场过滤部包括:第一外壳区,被施加有第一电压;以及第二外壳区,沿等离子体的移动方向被设置在第一外壳区的下游,所述第二外壳区被施加有第二电压。本发明的膜沉积装置可在衬底上形成包含减少的粒子数量的高质量和高密度的碳膜。

    膜沉积装置和膜沉积方法

    公开(公告)号:CN101925247A

    公开(公告)日:2010-12-22

    申请号:CN201010202850.1

    申请日:2010-06-10

    IPC分类号: H05H1/50 C23C14/00

    摘要: 一种膜沉积装置和膜沉积方法,其中该膜沉积装置包括:等离子体生成部,被配置为在阴极靶与阳极之间生成等离子体;膜沉积室,其中放置有基材;以及磁场过滤部,被配置为通过磁场从等离子体移除粒子,并将等离子体转移到膜沉积室。磁场过滤部包括:第一外壳区,被施加有第一电压;以及第二外壳区,沿等离子体的移动方向被设置在第一外壳区的下游,所述第二外壳区被施加有第二电压。本发明的膜沉积装置可在衬底上形成包含减少的粒子数量的高质量和高密度的碳膜。

    磁头滑块
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101211573A

    公开(公告)日:2008-07-02

    申请号:CN200710301611.X

    申请日:2007-12-20

    IPC分类号: G11B5/60 G11B21/21

    摘要: 本发明公开了一种通过空气流而使磁头在记录介质上方飞行的磁头滑块。这种磁头滑块在面向记录介质的表面中包括凹陷部分。该凹陷部分被形成为这样的形状:所述形状使得不会形成由空气流造成的剪应力集中的区域。