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公开(公告)号：CN101274741A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810090308.4
申请日：2008-03-28
申请人： 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC分类号： G01P15/0802 , B81B3/0008 , B81B2201/0242 , G01C19/5719 , G01P15/125 , G01P15/14
摘要： 本发明提供一种微移动器件、晶片及其制造方法。该微移动器件通过加工多层结构的材料基板而获得，该多层结构包括：第一层；第二层，在其位于该第一层一侧的表面上具有微细粗糙区；以及中间层，其设置在该第一层与该第二层之间，该微移动器件包括在该第一层中形成的第一结构和在该第二层中形成的第二结构。该第二结构包括经由间隙与第一结构相对的、并在其位于第一结构一侧具有微细粗糙区的部分，且该第二结构相对于该第一结构可相对移位。
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公开(公告)号：CN1904553A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200610107860.0
申请日：2006-07-26
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5719
摘要： 一种角速度传感器，包括：第一平衡环部；第二平衡环部，其通过设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处的第一扭杆而与所述第一平衡环部连接；框架部，其通过设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处的第二扭杆而与所述第二平衡环部连接；第一静电耦合部，设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处以使所述第一平衡环部和所述第二平衡环部静电耦合；以及第二静电耦合部，设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处以使所述第二平衡环部和所述框架部静电耦合。在所述第一平衡环部中，沿所述第一扭杆的方向的侧面的最大宽度比设置有所述第一扭杆的侧面的宽度大。
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公开(公告)号：CN101135562A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710147843.4
申请日：2007-08-30
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 本发明提供了一种振动传感器。该振动传感器包括：具有基座和从该基座延伸的臂的音叉式振动器；用于安装所述音叉式振动器的安装部；以及用于将所述音叉式振动器安装在所述安装部上的多个支撑件。
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公开(公告)号：CN101059347A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710096500.X
申请日：2007-04-19
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，并且所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的多个臂部长度的平均值的百分之一。
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公开(公告)号：CN101059348A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710104437.X
申请日：2007-04-20
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01C19/5628
摘要： 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括：第一音叉式振动器和第二音叉式振动器，所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器中的每一个均分别包括基部和从所述基部延伸的多个臂部；和安装部，该安装部安装所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器，其中，所述第一音叉式振动器的臂部的一端与所述第二音叉式振动器的侧面相对；并且连接所述第一音叉式振动器和所述安装部的第一线沿着所述第一音叉式振动器的宽度方向延伸。
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公开(公告)号：CN101254894A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810074162.4
申请日：2008-02-27
申请人： 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC分类号： G01P15/125 , G01C19/5719 , G01P1/023 , G01P15/0802 , H01L23/041 , H01L2924/0002 , Y10T156/1052 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供一种封装的微型可移动器件及其制造方法，每个微型器件包括微型可移动元件、具有凹部的第一封装部件和具有另一凹部的第二封装部件。该微型可移动元件具有可移动部。根据此方法，制备器件晶片以形成多个微型可移动元件。第一封装晶片被连接至该器件晶片的一个表面，该第一封装晶片中形成有多个在位置上与各可移动元件对应的凹部。形成有多个凹部的第二封装晶片被连接至该器件晶片的另一个表面。最终制成的层叠组件被切割成分离的产品。
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公开(公告)号：CN101231301A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810004550.5
申请日：2008-01-22
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5628
摘要： 本发明提供一种角速度传感器。该角速度传感器包括：第一音叉振动器，所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂；第二音叉振动器，所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂；以及双平衡架部，所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部，并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。
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公开(公告)号：CN101162144A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200710152449.X
申请日：2007-10-12
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/097 , H01L41/08
CPC分类号： G01C19/5607 , H03H9/0519 , H03H9/1021 , H03H9/21 , Y10T29/49002
摘要： 本发明提供了振动传感器及其制造方法。该振动传感器包括：音叉振动器，其具有基座和从所述基座延伸出的多个臂；安装部，其用于安装所述音叉振动器；以及支撑构件，其将所述音叉振动器安装在所述安装部上，并且具有窄部。
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公开(公告)号：CN101059346A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710096499.0
申请日：2007-04-19
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5628
摘要： 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，并且所述多个音叉式振动器之间的谐振频率差至少为所述多个音叉式振动器的平均谐振频率的百分之二。
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公开(公告)号：CN1913143A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610115412.5
申请日：2006-08-08
申请人： 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC分类号： H01L23/488
CPC分类号： G01C19/5719 , B81B2201/0242 , B81B2201/042 , B81B2207/097 , B81C1/00301 , H01L2224/48137 , H01L2224/73265 , H01L2924/30107 , H01L2924/00
摘要： 一种半导体器件，其包括：芯片，其具有基底半导体层、设置在所述基底半导体层上的绝缘层，以及设置在所述绝缘层上的上半导体层；安装基板，所述芯片在所述基底半导体层处被安装在该安装基板上；以及连接部分，用于对设置在所述安装基板上的第一端子与所述基底半导体层的表面或设置在该表面上的第二端子进行电连接。
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