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公开(公告)号:CN1329558C
公开(公告)日:2007-08-01
申请号:CN200410024551.8
申请日:2004-08-13
申请人: 山东大学
摘要: 本发明提供了一种具有阻尼的晶体旋转提拉装置,由法兰盘,柔性圆盘、锥面转盘、摩擦锥、籽晶杆、支撑外壳和电机组成,法兰盘与电机轴连接在一起,法兰盘的下端面与锥面转盘的上端面之间各固定有一个柔性圆盘,两圆盘之间保持一定压力;摩擦锥设在锥面转盘的锥面处,摩擦锥的下端与籽晶杆连接,锥面转盘通过轴承安装在支撑外壳上,并能自由地旋转;支撑外壳安装在电机上。本发明将电机与籽晶杆之间由刚性连接直接带动变为摩擦传动,会产生相对滑动,而消除因电机惯性产生的扭矩,起到自动保护装置的作用。另外,容易实现籽晶杆的自动定位,保证了籽晶杆的垂直度。
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公开(公告)号:CN1329559C
公开(公告)日:2007-08-01
申请号:CN200410024543.3
申请日:2004-08-10
申请人: 山东大学 , 中电科技德清华莹电子有限公司
摘要: 本发明属于晶体材料技术领域。本发明的主要内容是在陶瓷坩埚内部放置一个支撑圆盘,圆盘上垂直放置一个耐火圆筒,圆筒的上端固定一个水平放置的贵金属环,带有边沿的贵金属圆筒垂直悬挂在圆环的内沿上,贵金属坩埚随支撑轴作旋转和上下运动,加热线圈可以随坩埚同步上下运动。原料熔化时,贵金属坩埚与贵金属悬挂圆筒分离;生长过程中,贵金属悬挂圆筒可以将贵金属坩埚分成二个区域,即生长区和熔料区,它解决了现有技术存在的熔料过程中熔化效率低、晶体生长过程中连续加料时熔料区熔化不均匀容易产生浮晶及氧化锂挥发的缺点。本发明具有熔料效率高,熔化料搅拌均匀,氧化锂挥发量小、温场易于调节、有利于晶体稳定生长等优点。
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公开(公告)号:CN1654715A
公开(公告)日:2005-08-17
申请号:CN200410024543.3
申请日:2004-08-10
申请人: 山东大学 , 中电科技德清华莹电子有限公司
摘要: 本发明属于晶体材料技术领域。本发明的主要内容是在陶瓷坩埚内部放置一个支撑圆盘,圆盘上垂直放置一个耐火圆筒,圆筒的上端固定一个水平放置的贵金属环,带有边沿的贵金属圆筒垂直悬挂在圆环的内沿上,贵金属坩埚随支撑轴作旋转和上下运动,加热线圈可以随坩埚同步上下运动。原料熔化时,贵金属坩埚与贵金属悬挂圆筒分离;生长过程中,贵金属悬挂圆筒可以将贵金属坩埚分成二个区域,即生长区和熔料区,它解决了现有技术存在的熔料过程中熔化效率低、晶体生长过程中连续加料时熔料区熔化不均匀容易产生浮晶及氧化锂挥发的缺点。本发明具有熔料效率高,熔化料搅拌均匀,氧化锂挥发量小、温场易于调节、有利于晶体稳定生长等优点。
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公开(公告)号:CN1598079A
公开(公告)日:2005-03-23
申请号:CN200410024551.8
申请日:2004-08-13
申请人: 山东大学
IPC分类号: C30B15/00
摘要: 本发明提供了一种具有阻尼的晶体旋转提拉装置,由法兰盘,柔性圆盘、锥面转盘、摩擦锥、籽晶杆、支撑外壳和电机组成,法兰盘与电机轴连接在一起,法兰盘的下端面与锥面转盘的上端面之间各固定有一个柔性圆盘,两圆盘之间保持一定压力;摩擦锥设在锥面转盘的锥面处,摩擦锥的下端与籽晶杆连接,锥面转盘通过轴承安装在支撑外壳上,并能自由地旋转;支撑外壳安装在电机上。本发明将电机与籽晶杆之间由刚性连接直接带动变为摩擦传动,会产生相对滑动,而消除因电机惯性产生的扭矩,起到自动保护装置的作用。另外,容易实现籽晶杆的自动定位,保证了籽晶杆的垂直度。
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