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公开(公告)号：CN107378003A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710545744.5
申请日：2017-07-06
IPC分类号： B23B19/02
CPC分类号： B23Q5/02
摘要： 本发明公开了一种超精密机床轴系结构，包括机床床身，在所述机床床身一侧固定设置有水平轴向的C轴主轴，在所述机床床身另一侧滑动连接有与C轴主轴轴向相同的S轴主轴，所述S轴主轴在水平方向沿W轴直线移动使得C轴主轴与S轴主轴之间距离可调并保持同轴，在所述机床床身上位于C轴主轴与S轴主轴之间滑动连接有刀具固定平台，所述刀具固定平台在水平方向沿X轴和Z轴直线移动，所述S轴主轴沿W轴直线移动的方向与刀具固定平台沿Z轴直线移动的方向相同，通过合理设计两个转动轴S轴、C轴和三个移动轴X轴、Z轴、W轴的位置连接关系，可以大大提高机床的组装精度和安装调试的便捷程度，进而有效地保证机床加工精度。
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公开(公告)号：CN207026494U
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201720817162.3
申请日：2017-07-06
IPC分类号： B23B19/02
摘要： 本实用新型公开了一种超精密机床轴系结构，包括机床床身，在所述机床床身一侧固定设置有水平轴向的C轴主轴，在所述机床床身另一侧滑动连接有与C轴主轴轴向相同的S轴主轴，所述S轴主轴在水平方向沿W轴直线移动使得C轴主轴与S轴主轴之间距离可调并保持同轴，在所述机床床身上位于C轴主轴与S轴主轴之间滑动连接有刀具固定平台，所述刀具固定平台在水平方向沿X轴和Z轴直线移动，所述S轴主轴沿W轴直线移动的方向与刀具固定平台沿Z轴直线移动的方向相同，通过合理设计两个转动轴S轴、C轴和三个移动轴X轴、Z轴、W轴的位置连接关系，可以大大提高机床的组装精度和安装调试的便捷程度，进而有效地保证机床加工精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207026500U
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201720817164.2
申请日：2017-07-06
IPC分类号： B23B23/00
摘要： 本实用新型公开了一种超精密机床尾座调整装置，包括导轨滑板、第一尾座连接板、第二尾座连接板及尾座本体，第一尾座连接板左右两侧对称设有弧形槽孔，在导轨滑板上分别设有嵌入弧形槽孔内的限位螺钉，第二尾座连接板左右两侧分别设有条形槽孔，在第一尾座连接板上分别设有嵌入条形槽孔内的限位螺钉，在导轨滑板上分别设有四个第一调整构件，在第一尾座连接板上分别设有两个第二调整构件，通过第一调整构件抵顶推动第一尾座连接板可以实现第一尾座连接板前后移动及转动调整，通过第二调整构件抵顶推动第二尾座连接板可以实现第二尾座连接板左右移动调整，从而通过上述调整操作，可以实现尾座本体上的主轴与机床上的其他主轴之间的相对位置调整。
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公开(公告)号：CN207026973U
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201720817165.7
申请日：2017-07-06
IPC分类号： B23Q1/01
摘要： 本实用新型公开了一种超精密机床床身结构，包括大理石材质的床身本体，所述床身本体顶部一侧形成床头固定平台，在所述床身本体上设有导轨安装平台，所述床身本体底部间隔设有至少两个支撑凹槽，所述床身本体底部两侧边缘分别设有支撑凹口，所述支撑凹槽的方向与支撑凹口的方向相垂直，床身本体采用大理石材料整体成型，底部设置用以放置固定床身本体的支撑凹槽和支撑凹口，摒弃传统机床床身以立柱方式支撑的结构形式，使得机床床身重心降低，进而使得机床床身重心与几何中心重合或尽可能接近，从而提高机床床身的稳定性。
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公开(公告)号：CN118335672B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410758058.6
申请日：2024-06-13
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , H01L33/00
摘要： 本申请涉及芯片转移封装精密对位技术领域，具体公开了一种带接触力反馈的尺蠖式柔性旋转对位平台，包括：旋转件与驱动件；旋转件可转动设置；驱动件包括：接触头、第一压电陶瓷与第二压电陶瓷；第一压电陶瓷用于驱动接触头直线移动，而使得接触头与旋转件接触或分离；第二压电陶瓷用于在接触头与旋转件接触时，驱动接触头转动，而使得接触头拨动旋转件转动。本方案中，通过第一压电陶瓷和第二压电陶瓷的配合，使得接触头能够靠近至接触旋转件后，采用拨动的方式带动旋转件转动，从而能够满足旋转件大行程旋转的需求同时较直驱式旋转电机具有更高的控制精度，有效解决现有的芯片角度纠偏方式无法兼顾满足控制精度高且大旋转行程需求的问题。
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公开(公告)号：CN118180635B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410416604.8
申请日：2024-04-08
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： B23K26/352
摘要： 本发明公开了一种杂原子掺杂石墨烯薄膜的激光加工方法及杂原子掺杂石墨烯薄膜，涉及石墨烯薄膜技术领域。本发明的激光加工方法包括如下步骤：将双层复合薄膜固定在基板上，双层复合薄膜的上层为杂原子源材料层，下层为碳前驱体材料层；采用激光直写扫描在双层复合薄膜表面，杂原子源材料层对激光束波长的吸收率低于碳前驱体材料层对激光束波长的吸收率，得到杂原子掺杂石墨烯薄膜。本发明的激光加工方法工艺简单且效率高，能在短时间内实现碳前驱体材料表面的碳化和石墨化，并使杂原子源材料热解并掺杂进石墨烯层中，实现杂原子在石墨烯中的高效掺杂，解决了传统加工工艺上的加工复杂和效率低的问题。
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公开(公告)号：CN117896955B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410096528.7
申请日：2024-01-23
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： H05K7/20
摘要： 本发明提供了一种激光诱导石墨烯的散热片，其包括由致密化的激光诱导石墨烯材料制作而成的基底和设置在所述基底上的多个呈阵列分布的圆锥形鳍片，且所述圆锥形鳍片是由具有多孔结构的激光诱导石墨烯材料制作而成的；通过致密化的激光诱导石墨烯材料制成的基底具有高的热导系数，使得所述激光诱导石墨烯的散热片吸收热量、传导热量的性能优异；通过在所述圆锥形鳍片的表面设置多孔结构，当热量通过多孔结构时，热量可以被吸收或者反射出去，从而提高了所述激光诱导石墨烯的散热片的散热效果。
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公开(公告)号：CN118335672A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410758058.6
申请日：2024-06-13
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , H01L33/00
摘要： 本申请涉及芯片转移封装精密对位技术领域，具体公开了一种带接触力反馈的尺蠖式柔性旋转对位平台，包括：旋转件与驱动件；旋转件可转动设置；驱动件包括：接触头、第一压电陶瓷与第二压电陶瓷；第一压电陶瓷用于驱动接触头直线移动，而使得接触头与旋转件接触或分离；第二压电陶瓷用于在接触头与旋转件接触时，驱动接触头转动，而使得接触头拨动旋转件转动。本方案中，通过第一压电陶瓷和第二压电陶瓷的配合，使得接触头能够靠近至接触旋转件后，采用拨动的方式带动旋转件转动，从而能够满足旋转件大行程旋转的需求同时较直驱式旋转电机具有更高的控制精度，有效解决现有的芯片角度纠偏方式无法兼顾满足控制精度高且大旋转行程需求的问题。
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公开(公告)号：CN117896955A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410096528.7
申请日：2024-01-23
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： H05K7/20
摘要： 本发明提供了一种激光诱导石墨烯的散热片，其包括由致密化的激光诱导石墨烯材料制作而成的基底和设置在所述基底上的多个呈阵列分布的圆锥形鳍片，且所述圆锥形鳍片是由具有多孔结构的激光诱导石墨烯材料制作而成的；通过致密化的激光诱导石墨烯材料制成的基底具有高的热导系数，使得所述激光诱导石墨烯的散热片吸收热量、传导热量的性能优异；通过在所述圆锥形鳍片的表面设置多孔结构，当热量通过多孔结构时，热量可以被吸收或者反射出去，从而提高了所述激光诱导石墨烯的散热片的散热效果。
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