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公开(公告)号：CN109855520A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910001926.5
申请日：2019-01-02
Applicant: 广州大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种微纳米精度测量位移传感器，包括具有反向增益的柔顺机构、位移测量电极和用于整体封装的传感器外壳；柔顺机构采用一体化加工成型技术连接在传感器外壳上，柔顺机构的首端具有被测位移接触输入端，柔顺机构的末端具有输出端运动电极；位移测量电极包括第一电极、第二电极、第三电极和第四电极，第一电极和第二电极分别设置在运动电极的左端的上下方，第三电极和第四电极分别设置在运动电极的右端的上下方，第一电极、第二电极、第三电极和第四电极均固定连接与传感器外壳上，运动电极与第一、第二电极和第三、第四电极共同构成两组差动式位移测量电路，通过外接读取处理电路，实现微纳米位移测量。
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