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公开(公告)号:CN109855520B
公开(公告)日:2020-09-11
申请号:CN201910001926.5
申请日:2019-01-02
Applicant: 广州大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种微纳米精度测量位移传感器,包括具有反向增益的柔顺机构、位移测量电极和用于整体封装的传感器外壳;柔顺机构采用一体化加工成型技术连接在传感器外壳上,柔顺机构的首端具有被测位移接触输入端,柔顺机构的末端具有输出端运动电极;位移测量电极包括第一电极、第二电极、第三电极和第四电极,第一电极和第二电极分别设置在运动电极的左端的上下方,第三电极和第四电极分别设置在运动电极的右端的上下方,第一电极、第二电极、第三电极和第四电极均固定连接与传感器外壳上,运动电极与第一、第二电极和第三、第四电极共同构成两组差动式位移测量电路,通过外接读取处理电路,实现微纳米位移测量。
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公开(公告)号:CN109855520A
公开(公告)日:2019-06-07
申请号:CN201910001926.5
申请日:2019-01-02
Applicant: 广州大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种微纳米精度测量位移传感器,包括具有反向增益的柔顺机构、位移测量电极和用于整体封装的传感器外壳;柔顺机构采用一体化加工成型技术连接在传感器外壳上,柔顺机构的首端具有被测位移接触输入端,柔顺机构的末端具有输出端运动电极;位移测量电极包括第一电极、第二电极、第三电极和第四电极,第一电极和第二电极分别设置在运动电极的左端的上下方,第三电极和第四电极分别设置在运动电极的右端的上下方,第一电极、第二电极、第三电极和第四电极均固定连接与传感器外壳上,运动电极与第一、第二电极和第三、第四电极共同构成两组差动式位移测量电路,通过外接读取处理电路,实现微纳米位移测量。
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公开(公告)号:CN110660447A
公开(公告)日:2020-01-07
申请号:CN201910861865.X
申请日:2019-09-12
Applicant: 广州大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种可装配式空间三平移柔顺精密定位平台,其包括定平台、动平台、三条驱动支链,由于没有传统的运动副连接,消除了积累误差及磨损,抗干扰性强,定位精度高;采用螺栓连接或者焊接的装配式连接,结构简单、易于加工,而且相对于传统的同构型并联机构,具有相同运动特性,但是达到同样精度的加工成本大大降低;拓展性较好,若想对其进行优化,直接替换驱动支链部分即可,方便简单,而且还可以用于简单的位移输出装置,功用性强。此发明用于精密定位技术领域。
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