Overlay Tester试样修整装置
    3.
    实用新型

    公开(公告)号:CN216050996U

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202120573556.5

    申请日:2021-03-22

    IPC分类号: G01N1/28

    摘要: 本实用新型公开了一种Overlay Tester试样修整装置,该装置为无底圆柱形伸缩筒;无底圆柱形伸缩筒包括圆形顶面和圆柱形伸缩筒体;无底圆柱形伸缩筒由主罩和两个圆弧罩组成,主罩的罩顶和两个圆弧罩的罩顶通过活页连接组成圆形顶面,主罩的侧壁和两个圆弧罩的侧壁共同构成圆柱形伸缩筒体;主罩的侧壁和两个圆弧罩的侧壁上分别设有固定孔,其侧壁侧边缘分别设有刻度尺。使用本实用新型辅助Overlay Tester试验试样切割时,可很好地消除人工测量尺寸的偏差,有效提升试验效率及整个试验的准确性,甚至对后期该方法的大面积推广应用奠定了一定基础。