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公开(公告)号：CN101270469A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810006499.1
申请日：2008-02-29
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C03C17/002 , C03C2218/114 , H01L21/6715
摘要： 本发明涉及用于涂覆设备的灌流室，利用该灌流室能够实现更短的灌流时间，和更短的时钟循环。在其中利用了两个灌流装置，衬底对称设置在两个灌流装置之间。灌流装置将气体喷射导向到衬底。由此衬底固定在灌流装置之间。
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公开(公告)号：CN101270469B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN200810006499.1
申请日：2008-02-29
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C14/56
CPC分类号： C03C17/002 , C03C2218/114 , H01L21/6715
摘要： 本发明涉及用于涂覆设备的灌流室，利用该灌流室能够实现更短的灌流时间，和更短的时钟循环。在其中利用了两个灌流装置，衬底对称设置在两个灌流装置之间。灌流装置将气体喷射导向到衬底。由此衬底固定在灌流装置之间。
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公开(公告)号：CN101959617A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106995.7
申请日：2009-02-26
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/56 , C23C14/564 , C23C16/45519 , H01J37/32477 , H01J37/32623 , H01J37/32761
摘要： 本发明提供了一种背面涂覆防止设备，其适合于用于涂覆板状衬底的涂覆室，所述涂覆室适合于涂覆连续或非连续传送的板状衬底，所述背面涂覆防止设备包括具有衬底进口的前壁和具有衬底出口的后壁；涂覆材料源，其适用于将涂覆材料分配到涂覆室；和传送系统，所述传送系统的正面朝向涂覆材料源，所述传送系统适合于沿着传送路径在传送系统的正面上连续或非连续的传送多个板状衬底；其中所述背面涂覆防止设备适合于在传送系统的正面处和邻近多个板状衬底的背面处提供气体阻隔，用于防止背面涂覆板状衬底。
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公开(公告)号：CN102714168B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201180005159.7
申请日：2011-10-12
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67201 , Y10T137/0379
摘要： 提供了用于衬底处理系统的锁止室，其至少包括适合于提供锁止室的内部部分与大气压或超压的流体连通的第一管道。此外，锁止室至少包括用于控制室的内部部分与大气压或超压的流体连通的流率的第一控制阀，其中，控制阀适合于连续地控制流率。此外，提供了相应方法、计算机程序和适合于执行方法的计算机可读介质。
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公开(公告)号：CN102714168A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201180005159.7
申请日：2011-10-12
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67201 , Y10T137/0379
摘要： 本发明提供了用于衬底处理系统的锁止室，其至少包括适合于提供锁止室的内部部分与大气压或超压的流体连通的第一管道。此外，锁止室至少包括用于控制室的内部部分与大气压或超压的流体连通的流率的第一控制阀，其中，控制阀适合于连续地控制流率。此外，提供了相应方法、计算机程序和适合于执行方法的计算机可读介质。
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