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公开(公告)号：CN116438327A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202080105851.6
申请日：2020-10-05
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼 , 安德烈·布鲁宁 , 拉尔夫·林登贝格
IPC: C23C14/35
Abstract: 提供了一种用于补偿绕旋转轴线旋转的阴极的翻滚的保护器和方法。所述翻滚保护器可包括保护器定心元件，所述保护器定心元件被构造为与所述阴极间隔开安装以在所述保护器定心元件与所述阴极之间提供距离A。
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公开(公告)号：CN111279107A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201780096319.0
申请日：2017-11-23
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了用于真空密封的锁定阀(100)。所述锁定阀(100)包括：基部结构(110)，所述基部结构具有阀开口(111)；闸板(140)，所述闸板用于关闭所述阀开口(111)；以及密封件(160)。所述密封件包括：密封基部(161)，所述密封基部连接到所述基部结构(110)；以及密封顶部(162)，所述密封顶部用于提供与所述闸板(140)的密封接触。所述密封基部(161)具有比所述密封顶部(162)高的刚度。
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公开(公告)号：CN109257933A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201780015869.5
申请日：2017-05-16
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C14/56 , C23C14/50 , C23C16/458 , C23C16/54 , H01L21/677
Abstract: 叙述一种用于处理基板的设备(100)。该设备包含第一真空处理装置(101)、第二真空处理装置(102)、和支撑结构(103)，该支撑结构(103)配置在第一真空处理装置(101)和第二真空处理装置(102)之间的大气空间(108)中。
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公开(公告)号：CN107810288A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201580081234.6
申请日：2015-07-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 描述了经构造以附接到载体主体(160)以用于保持基板(101)的保持器(200)。保持器(200)包括具有第一倾斜表面(212)的第一部分(210)，所述第一部分(210)经构造以附接到载体主体(160)；第二部分(220)，所述第二部分(220)经构造而在至少一个方向(X)上相对于第一部分(210)是可移动的。第一倾斜表面(212)相对于待加载的基板(101)以第一角度(α)倾斜。
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公开(公告)号：CN119213544A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202280096191.9
申请日：2022-05-17
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 拉尔夫·林登贝格 , 奥利弗·海默尔 , 克劳斯·施勒 , 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼
IPC: H01L21/677
Abstract: 描述了一种用于在真空处理系统中在主运输方向(T)上沿第一运输路径(T1)和沿靠近第一运输路径(T1)延伸的第二运输路径(T2)运输载体和用于在路径切换方向(S)上在第一运输路径(T1)与第二运输路径(T2)之间传递载体的载体运输系统(100)。载体运输系统包括共用可移动支撑件(119)，第一载体保持器(110)和第二载体保持器(120)在路径切换方向(S)上彼此间隔开地设置在共用可移动支撑件处。在共用可移动支撑件(119)的第一运输状态(i)下，第一载体保持器(110)被配置为保持第一载体(10)与第一运输路径(T1)对齐，并且第二载体保持器(120)被配置为保持第二载体(20)与第一载体(10)横向间隔开地与第二运输路径(T2)对齐。共用可移动支撑件可在路径切换方向(S)上移动以在路径切换方向(S)上同步移动第一载体保持器(110)和第二载体保持器(120)。进一步描述了一种具有这种载体运输系统的真空沉积系统以及在真空处理系统中运输载体的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118804994A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202280092010.5
申请日：2022-02-25
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C14/34 , H01J37/32 , H01J37/34 , H01L21/687
Abstract: 提供了一种用于处理被支撑在基板支撑件上的基板的沉积装置(110)。所述沉积装置包括：真空腔室(112)，所述真空腔室具有盖组件(114)；一个或多个泵端口，所述一个或多个泵端口被布置在所述真空腔室的第一侧壁处，所述一个或多个泵端口相对于所述基板支撑件非对称地布置并被配置为将一个或多个真空泵连接到所述真空腔室；以及处理隔室(120)，所述处理隔室具有第一侧向壁(122)和上壁(124)，所述第一侧向壁(122)邻近所述真空腔室的所述第一侧壁。所述处理隔室(120)被所述真空腔室包围，所述真空腔室提供包围所述处理隔室的泵送通道。所述上壁(124)被配置用于允许气体流经由所述上壁从所述处理隔室流动到所述真空腔室。所述泵送通道包括：第一横截面，所述第一横截面具有第一区域(117)，所述第一区域从所述第一侧向壁(122)延伸到所述真空腔室(112)的所述第一侧壁；以及第二横截面，所述第二横截面具有第二区域(118)，所述第二区域从所述上壁(124)延伸到所述盖组件(114)。所述第二区域(118)基本上等于或大于所述第一区域(117)。
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公开(公告)号：CN113169105B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN201880100183.0
申请日：2018-12-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼 , 拉尔夫·林登贝格
IPC: H01L21/677
Abstract: 描述了一种用于在运输方向(T)上运输载体(10)的磁悬浮系统(100)。所述磁悬浮系统包括：用于将载体(10)保持在载体运输空间(15)中的一个或多个磁悬浮单元(120、220)；和用于在运输方向(T)上移动所述载体(10)的驱动单元(130)，所述驱动单元(130)包括异步线性马达的定子部分(132)，所述定子部分(132)相对于所述载体运输空间(15)侧向地布置。另外，描述了一种用于磁悬浮系统的载体以及一种运输载体的方法。
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公开(公告)号：CN111684173B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201880087132.9
申请日：2018-01-25
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼 , 拉尔夫·林登贝格 , 布里塔·斯帕
Abstract: 一种位于真空环境中的磁浮系统，及一种在真空环境中非接触式地运输载体的方法。系统包含：在正方向上可非接触式地移动的载体；至少一磁性轴承，被构造为在与重力相反的保持方向上对载体施加磁力，并将载体非接触式地保持于磁性轴承处；以及作用于载体上的减振装置，减振装置被构造为在与正方向和保持方向垂直的横方向上抑制载体振动。
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公开(公告)号：CN111684173A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201880087132.9
申请日：2018-01-25
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼 , 拉尔夫·林登贝格 , 布里塔·斯帕
Abstract: 一种位于真空环境中的磁浮系统，及一种在真空环境中非接触式地运输载体的方法。系统包含：在正方向上可非接触式地移动的载体；至少一磁性轴承，被构造为在与重力相反的保持方向上对载体施加磁力，并将载体非接触式地保持于轴承处；以及作用于载体上的减振装置，减振装置被构造为在与正方向和保持方向垂直的横方向上抑制载体振动。
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公开(公告)号：CN109790618A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780059041.X
申请日：2017-08-25
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼 , 奥利弗·海姆尔 , 拉尔夫·林登贝格 , 克劳斯·舒勒
IPC: C23C14/56 , C23C14/50 , H01L21/677 , H01L21/687 , H01J37/32 , B65G49/07
Abstract: 提供一种用于在真空腔室中提升或降低载体(10)的组件(100)。所述组件(100)包括：载体支撑件(20)，可在向上方向上或向下方向上移动；和保持装置(30)，被配置为在所述载体的向上移动或向下移动期间非接触保持所述载体的上部部分。此外，描述一种用于在真空腔室中运输载体的设备，所述设备包括用于载体的提升或降低的组件。此外，描述一种用于在真空腔室中提升或降低载体的方法。
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