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公开(公告)号：CN105122505B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201480007991.4
申请日：2014-03-06
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： H01M4/0419 , B05B5/025 , B05B13/0221 , H01M4/0404 , H01M4/139 , H01M4/1391 , H01M4/1393 , H01M4/1395 , H01M4/1397 , H01M4/366
摘要： 本发明公开一种用于在基板上形成电池活性材料的方法及装置。在一个实施例中，一种用于在基板的表面上沉积电池活性材料的装置包括：基板输送系统，用于在装置内运输基板；材料喷雾组件，安置在基板输送系统上方；及第一加热元件，邻接于材料喷雾组件而安置在基板输送系统上方，所述第一加热元件经设置以加热基板。材料喷雾组件具有喷嘴的2D阵列，所述喷嘴经设置以将电极形成溶液电喷雾在基板的表面上。
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公开(公告)号：CN103733311B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201280038837.4
申请日：2012-08-08
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/301 , H01M10/04 , H01L31/18
摘要： 通过激光直接图案化选择性除去诸如太阳能电池、电致变色装置和薄膜电池之类的薄膜结构和装置的指定层是通过将光热阻挡层包括在紧邻于待由激光烧蚀除去的指定层的装置/结构堆叠中来实现的。光阻挡层是吸收或反射穿透介电层/半导体层的一部分激光能量的金属层，并且热阻挡层是具有足够低的热扩散系数的导电层，以减少流入下层金属层的热量，使得下层金属层的温度达不到熔化温度Tm，或在一些实施方式中，使得下层金属层的温度在激光直接图案化期间达不到(Tm)/3。
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公开(公告)号：CN105789680B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201610273983.5
申请日：2012-08-08
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01M10/04
CPC分类号： H01L31/1876 , H01L31/02164 , H01L31/02167 , H01L31/024 , H01L31/0463 , H01L31/18 , H01M4/0471 , H01M6/40 , H01M10/0436
摘要： 通过激光直接图案化选择性除去诸如太阳能电池、电致变色装置和薄膜电池之类的薄膜结构和装置的指定层是通过将光热阻挡层包括在紧邻于待由激光烧蚀除去的指定层的装置/结构堆叠中来实现的。光阻挡层是吸收或反射穿透介电层/半导体层的一部分激光能量的金属层，并且热阻挡层是具有足够低的热扩散系数的导电层，以减少流入下层金属层的热量，使得下层金属层的温度达不到熔化温度Tm，或在一些实施方式中，使得下层金属层的温度在激光直接图案化期间达不到(Tm)/3。
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公开(公告)号：CN105789680A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610273983.5
申请日：2012-08-08
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01M10/04
CPC分类号： H01L31/1876 , H01L31/02164 , H01L31/02167 , H01L31/024 , H01L31/0463 , H01L31/18 , H01M4/0471 , H01M6/40 , H01M10/0436 , H01M10/0404
摘要： 通过激光直接图案化选择性除去诸如太阳能电池、电致变色装置和薄膜电池之类的薄膜结构和装置的指定层是通过将光热阻挡层包括在紧邻于待由激光烧蚀除去的指定层的装置/结构堆叠中来实现的。光阻挡层是吸收或反射穿透介电层/半导体层的一部分激光能量的金属层，并且热阻挡层是具有足够低的热扩散系数的导电层，以减少流入下层金属层的热量，使得下层金属层的温度达不到熔化温度Tm，或在一些实施方式中，使得下层金属层的温度在激光直接图案化期间达不到(Tm)/3。
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公开(公告)号：CN105122505A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201480007991.4
申请日：2014-03-06
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： H01M4/0419 , B05B5/025 , B05B13/0221 , H01M4/0404 , H01M4/139 , H01M4/1391 , H01M4/1393 , H01M4/1395 , H01M4/1397 , H01M4/366
摘要： 本发明公开一种用于在基板上形成电池活性材料的方法及装置。在一个实施例中，一种用于在基板的表面上沉积电池活性材料的装置包括：基板输送系统，用于在装置内运输基板；材料喷雾组件，安置在基板输送系统上方；及第一加热元件，邻接于材料喷雾组件而安置在基板输送系统上方，所述第一加热元件经设置以加热基板。材料喷雾组件具有喷嘴的2D阵列，所述喷嘴经设置以将电极形成溶液电喷雾在基板的表面上。
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公开(公告)号：CN103733311A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280038837.4
申请日：2012-08-08
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/301 , H01M10/04 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/1876 , H01L31/02164 , H01L31/02167 , H01L31/024 , H01L31/0463 , H01L31/18 , H01M4/0471 , H01M6/40 , H01M10/0436
摘要： 通过激光直接图案化选择性除去诸如太阳能电池、电致变色装置和薄膜电池之类的薄膜结构和装置的指定层是通过将光热阻挡层包括在紧邻于待由激光烧蚀除去的指定层的装置/结构堆叠中来实现的。光阻挡层是吸收或反射穿透介电层/半导体层的一部分激光能量的金属层，并且热阻挡层是具有足够低的热扩散系数的导电层，以减少流入下层金属层的热量，使得下层金属层的温度达不到熔化温度Tm，或在一些实施方式中，使得下层金属层的温度在激光直接图案化期间达不到(Tm)/3。
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