公开(公告)号：CN108701583B

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN201680083129.0

申请日：2016-04-13

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 达斯廷·W·胡 ,  迈克尔·S·考克斯 ,  韦斯特·T·布赖恩特 ,  约翰逊·M·罗杰 ,  罗森宗·言 ,  索曼纳·丁克什

IPC: H01L21/02

Abstract: 一种排气冷却设备(117)，包括至少一个冷却板(314、412、514、614、814、914)，用于将紊流引入到排气冷却设备(117)内排气流动。装置(318、518、618、818、918)可以是多个鳍片(320、322、324、326、328)、具有弯曲顶部(544、644)的圆柱体(518、618)或具有斜角叶片(826、926)的扩散器(824、925)。排气冷却设备(117)内的排气的紊流使颗粒自排气中离开，而最小化排气冷却设备(117)下游的设备中形成颗粒。(56)对比文件US 5427610 A,1995.06.27US 2006162862 A1,2006.07.27US 6308771 B1,2001.10.30JP 2004063866 A,2004.02.26JP 2000114185 A,2000.04.21US 2005003600 A1,2005.01.06JP 2002011319 A,2002.01.15CN 205127670 U,2016.04.06US 2009107091 A1,2009.04.30US 2002066535 A1,2002.06.06US 2015136027 A1,2015.05.21张一鸣.等离子体废物处理技术的工业应用.真空与低温.1995,(第01期),第30-35页.

公开(公告)号：CN108701583A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201680083129.0

申请日：2016-04-13

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 达斯廷·W·胡 ,  迈克尔·S·考克斯 ,  韦斯特·T·布赖恩特 ,  约翰逊·M·罗杰 ,  罗森宗·言 ,  索曼纳·丁克什

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01J37/32844 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/67069 ,  Y02C20/30

Abstract: 一种排气冷却设备(117)，包括至少一个冷却板(314、412、514、614、814、914)，用于将紊流引入到排气冷却设备(117)内排气流动。装置(318、518、618、818、918)可以是多个鳍片(320、322、324、326、328)、具有弯曲顶部(544、644)的圆柱体(518、618)或具有斜角叶片(826、926)的扩散器(824、925)。排气冷却设备(117)内的排气的紊流使颗粒自排气中离开，而最小化排气冷却设备(117)下游的设备中形成颗粒。