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公开(公告)号：CN109716479A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780057110.3
申请日：2017-09-27
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/32862 , C23C14/48 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/18 , H01J2237/31705
摘要： 本发明提供一种用于改善离子注入性能的离子源组件和方法。该离子源组件具有离子源腔室，并且源气体供应源向离子源腔室提供分子碳源气体。激发源激发分子碳源气体，形成碳离子和原子碳。引出电极从离子源腔室中引出碳离子，形成离子束。过氧化氢共伴气体供应源向离子源腔室提供过氧化氢共伴气体。过氧化氢共伴气体分解并与原子碳反应，在离子源腔室内形成碳氢化合物。进一步引入惰性气体并使其离子化，以抵消因过氧化氢分解所致的阴极氧化。真空泵除去碳氢化合物，其中减少原子碳的沉积并且延长离子源腔室的使用寿命。
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公开(公告)号：CN103782364B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201280041170.3
申请日：2012-07-04
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/202 , H01J2237/2445 , H01J2237/2608
摘要： 本发明提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。
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公开(公告)号：CN103733296B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201280040502.6
申请日：2012-05-28
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J27/26 , H01J37/08 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/08 , H01J37/28 , H01J2237/0807 , H01J2237/18 , H01J2237/31749
摘要： 在现有的气体离子化室中，存在为了避免辉光放电，只使气压下降，无法通过提高气体导入压力，增大离子电流之类的课题。本发明的目的在于通过提高气体导入压力，增大离子电流，并且防止由离子化引起的离子束散乱。通过从GND电位的结构体供给气体，不在气压更高的离子化气体的导入口附近施加高电压。另外，通过从构成加速集束透镜的透镜电极的透镜开口部进行差压排气，优先减少位于离子束通过的区域的离子化气体。
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公开(公告)号：CN107546091A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201710412838.5
申请日：2017-06-05
申请人： 瑞萨电子株式会社
发明人： 堀越孝太郎
CPC分类号： H01J37/32697 , H01J37/32715 , H01J37/32788 , H01J2237/0206 , H01J2237/18 , H01J2237/334 , H01L21/67017 , H01L21/67069 , H01L21/6831 , H01L21/68707 , H01L21/68742
摘要： 一种半导体器件的制造方法，包括以下步骤：(a)将半导体晶片放置在设置于室中的载台之上，所述室内部的压力通过真空抽取而减小；和(b)在步骤(a)之后，在半导体晶片被所述载台吸附且保持的状态下在所述室中形成等离子体，从而对所述半导体晶片执行期望的处理。这里，在步骤(a)之前，将具有高于氮气的电负性的负气体、氧气O2引入所述真空容器中以在所述室中形成O2等离子体，由此允许消除保留在所述载台之上的电荷。
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公开(公告)号：CN107430972A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201580078052.3
申请日：2015-04-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J2237/18 , H01J2237/1825 , H01J2237/186 , H01J2237/188
摘要： 本发明的带电粒子束装置在将试样室(18)设为高真空状态时，从涡轮分子泵的主吸气口(11)对带电粒子枪室(1)和所述试样室进行真空排气，在将所述试样室设为低真空状态时，通过主吸气口对所述带电粒子枪室进行真空排气，并且，通过涡轮分子泵的中间吸气口(13)对所述试样室进行真空排气。进行所述涡轮分子泵的背压排气的油回转泵(7)不对所述带电粒子枪室、所述试样室进行真空排气。由此，无论是高真空状态时以及低真空状态时均能够抑制装置内部的污染，因此可以防止观察试样的污染，并可以降低到达真空度的经年劣化。
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公开(公告)号：CN104810231A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410808396.2
申请日：2014-12-22
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/3002 , H01J2237/0206 , H01J2237/18 , H01J2237/304 , H01J2237/30472 , H01J37/3007 , H01J2237/04 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
摘要： 本发明提供一种离子注入装置以及离子注入装置的控制方法，其课题在于提供一种保护电源以避免因负载电流的产生而产生的过电流的技术。在本发明的离子注入装置(10)中，切断机构在射束线的中途切断离子束(B)。等离子体淋浴装置(40)设置于比切断机构更靠射束线的下游侧。控制部(60)在等离子体淋浴装置(40)的点火开始期间，使切断机构切断离子束(B)。切断机构可以设置于比高电压电场式电极部更靠射束线的上游侧，所述高电压电场式电极部至少设置一个以上。气体供给机构可以向等离子体淋浴装置(40)供给源气体。控制部(60)可以在使切断机构切断离子束(B)之后，使气体供给机构开始供给源气体。
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公开(公告)号：CN103782364A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201280041170.3
申请日：2012-07-04
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/202 , H01J2237/2445 , H01J2237/2608
摘要： 本发明提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。
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公开(公告)号：CN103733296A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280040502.6
申请日：2012-05-28
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J27/26 , H01J37/08 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/08 , H01J37/28 , H01J2237/0807 , H01J2237/18 , H01J2237/31749
摘要： 在现有的气体离子化室中，存在为了避免辉光放电，只使气压下降，无法通过提高气体导入压力，增大离子电流之类的课题。本发明的目的在于通过提高气体导入压力，增大离子电流，并且防止由离子化引起的离子束散乱。通过从GND电位的结构体供给气体，不在气压更高的离子化气体的导入口附近施加高电压。另外，通过从构成加速集束透镜的透镜电极的透镜开口部进行差压排气，优先减少位于离子束通过的区域的离子化气体。
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公开(公告)号：CN107430972B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201580078052.3
申请日：2015-04-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J2237/18 , H01J2237/1825 , H01J2237/186 , H01J2237/188
摘要： 本发明的带电粒子束装置在将试样室(18)设为高真空状态时，从涡轮分子泵的主吸气口(11)对带电粒子枪室(1)和所述试样室进行真空排气，在将所述试样室设为低真空状态时，通过主吸气口对所述带电粒子枪室进行真空排气，并且，通过涡轮分子泵的中间吸气口(13)对所述试样室进行真空排气。进行所述涡轮分子泵的背压排气的油回转泵(7)不对所述带电粒子枪室、所述试样室进行真空排气。由此，无论是高真空状态时以及低真空状态时均能够抑制装置内部的污染，因此可以防止观察试样的污染，并可以降低到达真空度的经年劣化。
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公开(公告)号：CN104810231B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201410808396.2
申请日：2014-12-22
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/3002 , H01J2237/0206 , H01J2237/18 , H01J2237/304 , H01J2237/30472
摘要： 本发明提供一种离子注入装置以及离子注入装置的控制方法，其课题在于提供一种保护电源以避免因负载电流的产生而产生的过电流的技术。在本发明的离子注入装置(10)中，切断机构在射束线的中途切断离子束(B)。等离子体淋浴装置(40)设置于比切断机构更靠射束线的下游侧。控制部(60)在等离子体淋浴装置(40)的点火开始期间，使切断机构切断离子束(B)。切断机构可以设置于比高电压电场式电极部更靠射束线的上游侧，所述高电压电场式电极部至少设置一个以上。气体供给机构可以向等离子体淋浴装置(40)供给源气体。控制部(60)可以在使切断机构切断离子束(B)之后，使气体供给机构开始供给源气体。
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