公开(公告)号：CN101415857B

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN200780011777.6

申请日：2007-04-06

申请人： 应用材料公司

发明人： A·K·劳 ,  稻川真 ,  B·O·史汀生 ,  细川昭弘 ,  J·M·怀特 ,  Y·叶 ,  A·卡达姆 ,  李洋平

IPC分类号： C23C14/00

CPC分类号： C23C14/0063 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/34

摘要： 本发明大体上包括一个或多个冷却的阳极，这些冷却阳极遮盖着一个或多个气体引导管，其中这些冷却阳极与这些气体引导管跨越了定义在溅射室中且介在一个或多个溅射靶与一个或多个基材之间的处理空间。这些气体引导管可能具有多个气体出口，以将导入的气体导向远离该一个或多个基材的方向。这些气体引导管可引导诸如氧气等反应性气体进入溅射室中，以利用反应性溅射作用来沉积TCO膜层。在多步骤溅射工艺中，可改变气流(即，气体的量与种类)、靶与基材之间的间距以及直流功率来达到想要的结果。

公开(公告)号：CN101506404B

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN200680042135.8

申请日：2006-11-17

申请人： 应用材料公司

发明人： M·伊纳格瓦 ,  A·霍斯卡瓦 ,  H-M·胡·勒 ,  I·来吾特斯凯 ,  J·M·怀特 ,  T·马丁 ,  B·O·史汀生

IPC分类号： C23C14/32

CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/3407 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/3452 ,  H01J37/3455

摘要： 一种磁控管扫描与支撑机构，其中磁控管(326)利用将多个弹簧(330)耦接至磁控管上不同水平位置的方式而部分撑托在悬挂的扫描机构的支撑板(268)上，且磁控管(326)下部分撑托在标靶上不同位置的滑座或滚珠(282)。在一实施例中，轭板为连续且均匀的。在另一实施例中，磁控管的磁性轭板分成二弹性轭板220、224，例如，具有互补的蜿蜒模型以支撑相应磁性的磁铁。在又一实施例中，标靶及磁控管为由其它结构隔开的条片标靶(262)及条片磁控管(264)。各条片磁控管部分由上方的共享扫描板所撑托且部分撑托于对应的条片标靶上。中心机构(350、358、362、368)可对准不同的条片磁控管。