公开(公告)号：CN107893217A

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201710931629.1

申请日：2017-10-09

申请人： 德拉克通信科技公司

发明人： M·J·N·范·斯特劳伦 ,  I·米莉瑟维奇 ,  G·克拉普斯浩斯 ,  T·布勒尔斯

IPC分类号： C23C16/513

CPC分类号： C23C16/511 ,  C03B37/0183 ,  Y02P40/57 ,  C23C16/513

摘要： 本发明涉及一种用于进行等离子体化学气相沉积工艺的方法和设备。该设备包括大致圆柱形的谐振器，该谐振器设置有圆柱形外壁和同轴的圆柱形内壁，在该圆柱形外壁和该圆柱形内壁之间限定能够以工作频率进行工作的谐振腔。该谐振腔绕该圆柱形外壁和该圆柱形内壁的圆柱轴在圆周方向上延伸。此外，圆柱形外壁包括能够连接至输入波导的输入端口。另外，圆柱形内壁包括绕圆柱轴在圆周方向上延伸的狭缝部。限定狭缝部的孔径的最大尺寸小于工作频率的波长的一半。

公开(公告)号：CN107893217B

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201710931629.1

申请日：2017-10-09

申请人： 德拉克通信科技公司

发明人： M·J·N·范·斯特劳伦 ,  I·米莉瑟维奇 ,  G·克拉普斯浩斯 ,  T·布勒尔斯

IPC分类号： C23C16/513

摘要： 本发明涉及一种用于进行等离子体化学气相沉积工艺的方法和设备。该设备包括大致圆柱形的谐振器，该谐振器设置有圆柱形外壁和同轴的圆柱形内壁，在该圆柱形外壁和该圆柱形内壁之间限定能够以工作频率进行工作的谐振腔。该谐振腔绕该圆柱形外壁和该圆柱形内壁的圆柱轴在圆周方向上延伸。此外，圆柱形外壁包括能够连接至输入波导的输入端口。另外，圆柱形内壁包括绕圆柱轴在圆周方向上延伸的狭缝部。限定狭缝部的孔径的最大尺寸小于工作频率的波长的一半。