光学互连
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101688954B

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN200880021368.9

    申请日:2008-06-16

    IPC分类号: G02B6/36

    CPC分类号: H04B10/803

    摘要: 一种光学互连(100、300、400、500、600)具有:多个光学数据源(125、130、135、525、530、535);多个光学数据接收器(155、160、165、555、560、565);衍射光学元件(186、320、440、670),其被配置为将来自至少一个对准光学源(170、360、460、625)的光学束(176、335、435、650)衍射到至少一个传感器(370、375、470、475、640、645);以及对准元件,其被配置为根据来自所述传感器(370、375、470、475、640、645)的读数将来自所述光学数据源(125、130、135、525、530、535)的光学束(120、345、445、570、650)对准到所述光学数据接收器(155、160、165、555、560、565)。

    光学互连
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101688954A

    公开(公告)日:2010-03-31

    申请号:CN200880021368.9

    申请日:2008-06-16

    IPC分类号: G02B6/36

    CPC分类号: H04B10/803

    摘要: 一种光学互连(100、300、400、500、600)具有:多个光学数据源(125、130、135、525、530、535);多个光学数据接收器(155、160、165、555、560、565);衍射光学元件(186、320、440、670),其被配置为将来自至少一个对准光学源(170、360、460、625)的光学束(176、335、435、650)衍射到至少一个传感器(370、375、470、475、640、645);以及对准元件,其被配置为根据来自所述传感器(370、375、470、475、640、645)的读数将来自所述光学数据源(125、130、135、525、530、535)的光学束(120、345、445、570、650)对准到所述光学数据接收器(155、160、165、555、560、565)。

    接触光刻设备、系统和方法

    公开(公告)号:CN101375209A

    公开(公告)日:2009-02-25

    申请号:CN200680029255.4

    申请日:2006-07-01

    IPC分类号: G03F7/00 G03F7/20

    摘要: 接触光刻设备100,220、系统200和方法300利用形变320来促进图案转移300。设备100,220、系统200和方法300包括间隔体120,226,在与所述间隔体120,226相互接触时,所述间隔体120,226提供光刻元件,如掩模110,228a,222和衬底130,228b,224的间隔平行且靠近的取向310。所述掩模110,228a,222、所述衬底130,228b,224和所述间隔体120,226之一或多者是可形变的,从而其形变320促进了图案转移300。