公开(公告)号：CN1427306A

公开(公告)日：2003-07-02

申请号：CN02157855.9

申请日：2002-12-20

Applicant: 捷时雅株式会社

Inventor： 山田宪司 ,  别所信夫 ,  熊野厚司 ,  今野圭二

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/032 ,  C08F2/44 ,  G02B1/04 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/001 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0757 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/107 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/109 ,  Y10S430/11 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/117

Abstract: 一种辐射敏感的折射率变化组合物，其折射率由一种简单的方法来改变，改变的折射率差别足够大，并且还可以提供一种稳定的折射率图案和一种稳定的光学材料，而无论其使用条件。该辐射敏感的折射率变化组合物包含(A)一种可聚合的化合物，(B)一种不可聚合的化合物，它的折射率低于可聚合的化合物(A)的聚合物，和(C)一种辐射敏感的聚合引发剂。

公开(公告)号：CN101080674A

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200580043412.2

申请日：2005-11-28

Applicant: 捷时雅株式会社

Inventor： 能村仲笃 ,  今野圭二

IPC: G03F7/11 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/091 ,  G03F7/0046 ,  Y10T428/24802

Abstract: 形成抗反射膜的组合物，其具有优异的适用性，在产生超细微泡方面受到了显著抑制，产生能够足够地减少驻波效应的抗反射薄膜并且具有优异的在水和碱性显影液中的溶解性。所述形成抗反射膜的组合物包含：(A)由例如2－(甲基)丙烯酰氨基－2－甲基丙烷磺酸代表的含磺酸基的丙烯酰胺衍生物和例如由2，2，3，3，3－五氟丙基(甲基)丙烯酸酯代表的含氟代烷基的丙烯酸酯衍生物的共聚物(盐)；和(B)表面活性剂，其0.1wt％的水溶液具有在25℃下测量的45mN/m或更低的表面张力。

公开(公告)号：CN1216320C

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN02157855.9

申请日：2002-12-20

Applicant: 捷时雅株式会社

Inventor： 山田宪司 ,  别所信夫 ,  熊野厚司 ,  今野圭二

IPC: G03F7/004 ,  C08F2/44 ,  G02B1/04

CPC classification number: G03F7/032 ,  C08F2/44 ,  G02B1/04 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/001 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0757 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/107 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/109 ,  Y10S430/11 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/117

Abstract: 一种辐射敏感的折射率变化组合物，其折射率由一种简单的方法来改变，改变的折射率差别足够大，并且还可以提供一种稳定的折射率图案和一种稳定的光学材料，而无论其使用条件。该辐射敏感的折射率变化组合物包含(A)一种可聚合的化合物，(B)一种不可聚合的化合物，它的折射率低于可聚合的化合物(A)的聚合物，和(C)一种辐射敏感的聚合引发剂。

公开(公告)号：CN101080674B

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN200580043412.2

申请日：2005-11-28

Applicant: 捷时雅株式会社

Inventor： 能村仲笃 ,  今野圭二

IPC: G03F7/11 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/091 ,  G03F7/0046 ,  Y10T428/24802

Abstract: 形成抗反射膜的组合物，其具有优异的适用性，在产生超细微泡方面受到了显著抑制，产生能够足够地减少驻波效应的抗反射薄膜并且具有优异的在水和碱性显影液中的溶解性。所述形成抗反射膜的组合物包含：(A)由例如2-(甲基)丙烯酰氨基-2-甲基丙烷磺酸代表的含磺酸基的丙烯酰胺衍生物和例如由2，2，3，3，3-五氟丙基(甲基)丙烯酸酯代表的含氟代烷基的丙烯酸酯衍生物的共聚物(盐)；和(B)表面活性剂，其0.1wt％的水溶液具有在25℃下测量的45mN/m或更低的表面张力。