-
公开(公告)号：CN105321790A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510245840.9
申请日：2015-05-14
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/30
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/1477 , H01J37/30 , H01J37/3007 , H01J37/317 , H01J2237/15 , H01J2237/1534 , H01J2237/303 , H01J2237/31701
摘要： 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束B施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及上游电极装置(300)，由设置于扫描电极装置(400)的上游的多个电极体构成。扫描电极装置(400)具备隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)及隔着基准轨道(Z)而在与横向正交的纵向对置而设的一对射束输送补正电极(450)。一对射束输送补正电极(450)分别在扫描电极装置(400)的入口(402)附近具有向基准轨道(Z)纵向延伸的射束输送补正入口电极体(454)。
-
公开(公告)号：CN105304441B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201510245654.5
申请日：2015-05-14
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/1477 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/30483
摘要： 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束(B)施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及下游电极装置(500)，配置于扫描电极装置(400)的下游，且设有供横向扫描的离子束(B)通过的开口部。扫描电极装置(400)具有隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)。下游电极装置(500)的开口部具有电极体，该电极体构成为，与基准轨道(Z)及横向双向正交的纵向开口宽度和/或沿着基准轨道(Z)的方向的厚度，在基准轨道(Z)所处的中央部和与扫描电极(410R，410L)的下游端部(422)对置的位置附近不同。
-
公开(公告)号：CN104078299A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201310684864.5
申请日：2013-12-13
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01B17/64
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/248 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2237/08
摘要： 本发明提供一种用于离子注入装置的高电压电极的绝缘结构。该高电压电极的绝缘结构具备：绝缘体（126），具备露出表面（128）；及导体部（130），具备与绝缘体（126）相接的接合区域（138）、及以与绝缘体（126）的露出表面（128）相邻的方式沿接合区域（138）的边缘部（142）的至少一部分而设的耐热部（150）。耐热部（150）由熔点高于导体部（130）的导电材料形成。耐热部（150）可以以与绝缘体（126）的露出表面（128）之间留有间隙的方式配置。
-
公开(公告)号：CN105321790B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201510245840.9
申请日：2015-05-14
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/30
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/1477 , H01J37/30 , H01J37/3007 , H01J37/317 , H01J2237/15 , H01J2237/1534 , H01J2237/303 , H01J2237/31701
摘要： 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束B施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及上游电极装置(300)，由设置于扫描电极装置(400)的上游的多个电极体构成。扫描电极装置(400)具备隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)及隔着基准轨道(Z)而在与横向正交的纵向对置而设的一对射束输送补正电极(450)。一对射束输送补正电极(450)分别在扫描电极装置(400)的入口(402)附近具有向基准轨道(Z)纵向延伸的射束输送补正入口电极体(454)。
-
公开(公告)号：CN104078299B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201310684864.5
申请日：2013-12-13
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01B17/64
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/248 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2237/08
摘要： 本发明提供一种用于离子注入装置的高电压电极的绝缘结构。该高电压电极的绝缘结构具备：绝缘体（126），具备露出表面（128）；及导体部（130），具备与绝缘体（126）相接的接合区域（138）、及以与绝缘体（126）的露出表面（128）相邻的方式沿接合区域（138）的边缘部（142）的至少一部分而设的耐热部（150）。耐热部（150）由熔点高于导体部（130）的导电材料形成。耐热部（150）可以以与绝缘体（126）的露出表面（128）之间留有间隙的方式配置。
-
公开(公告)号：CN105304441A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510245654.5
申请日：2015-05-14
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/1477 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/30483
摘要： 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束(B)施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及下游电极装置(500)，配置于扫描电极装置(400)的下游，且设有供横向扫描的离子束(B)通过的开口部。扫描电极装置(400)具有隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)。下游电极装置(500)的开口部具有电极体，该电极体构成为，与基准轨道(Z)及横向双向正交的纵向开口宽度和/或沿着基准轨道(Z)的方向的厚度，在基准轨道(Z)所处的中央部和与扫描电极(410R，410L)的下游端部(422)对置的位置附近不同。
-
-
-
-
-
搜索结果
6 条记录 (耗时 0.028 秒)
