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公开(公告)号：CN102422395B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201080020279.X
申请日：2010-04-01
申请人： 瓦里安半导体设备公司
IPC分类号： H01L21/265
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/04 , H01J2237/036 , H01J2237/15
摘要： 离子植入系统包括一静电透镜。静电透镜包括一终端电极、一接地电极及配置于其间的一抑制电极。一离子束通过终端电极而进入静电透镜并通过接地电极而离开静电透镜。这些电极具有相关的静电等电位线。端板配置于抑制电极的顶部及底部及/或接地电极的顶部及底部。为了让离子束通过静电透镜时保持均匀度，各个端板具有对应于与特定电极相关的静电等电位线的一形状。
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公开(公告)号：CN104078299A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201310684864.5
申请日：2013-12-13
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01B17/64
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/248 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2237/08
摘要： 本发明提供一种用于离子注入装置的高电压电极的绝缘结构。该高电压电极的绝缘结构具备：绝缘体（126），具备露出表面（128）；及导体部（130），具备与绝缘体（126）相接的接合区域（138）、及以与绝缘体（126）的露出表面（128）相邻的方式沿接合区域（138）的边缘部（142）的至少一部分而设的耐热部（150）。耐热部（150）由熔点高于导体部（130）的导电材料形成。耐热部（150）可以以与绝缘体（126）的露出表面（128）之间留有间隙的方式配置。
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公开(公告)号：CN101542675A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000419.X
申请日：2008-02-15
申请人： 诺尔迪克技术服务有限公司
发明人： 安德鲁·詹姆斯·蒂莫西·霍姆斯 , 默文·霍华德·戴维斯
CPC分类号： H01J37/305 , H01J27/024 , H01J37/20 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2237/0458 , H01J2237/047 , H01J2237/08 , H01J2237/3142 , H01J2237/3151
摘要： 一种用于使离子束加速的设备(100)，包括安装在可移动安装件(112、114)中的至少一个电极(102、104、106)。
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公开(公告)号：CN104488063B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201380026685.0
申请日：2013-05-21
申请人： 皇家飞利浦有限公司
CPC分类号： H01J35/06 , H01J1/18 , H01J1/92 , H01J9/042 , H01J35/14 , H01J35/165 , H01J37/065 , H01J2229/4824 , H01J2229/4831 , H01J2235/06 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2893/0006
摘要： 本发明涉及一种用于X射线管的阴极、一种X射线管、一种用于X射线成像的系统以及一种用于组装X射线管的阴极的方法。为了提供具有改善且方便的组装的阴极，提供一种用于X射线管的阴极(10)，所述阴极包括细丝(12)、支撑结构(14)、主体结构(16)和细丝框架结构(18)。所述细丝被提供用于沿电子发射方向(24)朝向阳极发射电子，且所述细丝至少部分地包括螺旋结构(26)。此外，所述细丝由所述支撑结构保持，所述支撑结构固定地连接到所述主体结构。所述细丝框架结构被设置用于所述所发射电子的电子光学聚焦，且所述细丝框架结构是邻近所述细丝的所述外边界设置的。所述细丝框架结构包括横向于所述发射方向布置的框架表面部分(28)，且所述细丝框架结构由所述支撑结构保持。
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公开(公告)号：CN104078299B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201310684864.5
申请日：2013-12-13
申请人： 斯伊恩股份有限公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01B17/64
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/248 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2237/08
摘要： 本发明提供一种用于离子注入装置的高电压电极的绝缘结构。该高电压电极的绝缘结构具备：绝缘体（126），具备露出表面（128）；及导体部（130），具备与绝缘体（126）相接的接合区域（138）、及以与绝缘体（126）的露出表面（128）相邻的方式沿接合区域（138）的边缘部（142）的至少一部分而设的耐热部（150）。耐热部（150）由熔点高于导体部（130）的导电材料形成。耐热部（150）可以以与绝缘体（126）的露出表面（128）之间留有间隙的方式配置。
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公开(公告)号：CN102422395A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201080020279.X
申请日：2010-04-01
申请人： 瓦里安半导体设备公司
IPC分类号： H01L21/265
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/04 , H01J2237/036 , H01J2237/15
摘要： 离子植入系统包括一静电透镜。静电透镜包括一终端电极、一接地电极及配置于其间的一抑制电极。一离子束通过终端电极而进入静电透镜并通过接地电极而离开静电透镜。这些电极具有相关的静电等电位线。端板配置于抑制电极的顶部及底部及/或接地电极的顶部及底部。为了让离子束通过静电透镜时保持均匀度，各个端板具有对应于与特定电极相关的静电等电位线的一形状。
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公开(公告)号：CN104217913B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201410158429.3
申请日：2014-04-18
申请人： 斯伊恩股份有限公司
发明人： 佐藤正辉
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/024 , H01J37/3171 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/026 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
摘要： 本发明提供一种绝缘结构及绝缘方法，其有助于降低维护频度并提高装置运转率。本发明提供设置在用于从等离子体生成部引出离子束的多个电极间的绝缘结构（30）。绝缘结构（30）具备：第1部分（52），连接于第1电极（20）；及第2部分（54），连接于第2电极（22），且具备：绝缘部件（32），用于将第1电极（20）支承于第2电极（22）；第1罩体（70），为了保护第1部分（52）免受污染粒子（18）的影响而包围第1部分（52）的至少一部分；及第2罩体（72），为了保护第2部分（54）免受污染粒子（18）的影响而包围第2部分（54）的至少一部分。第1部分（52）及第2部分（54）中的至少一部分由可加工陶瓷或多孔陶瓷形成。
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公开(公告)号：CN104488063A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380026685.0
申请日：2013-05-21
申请人： 皇家飞利浦有限公司
CPC分类号： H01J35/06 , H01J1/18 , H01J1/92 , H01J9/042 , H01J35/14 , H01J35/165 , H01J37/065 , H01J2229/4824 , H01J2229/4831 , H01J2235/06 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2893/0006
摘要： 本发明涉及一种用于X射线管的阴极、一种X射线管、一种用于X射线成像的系统以及一种用于组装X射线管的阴极的方法。为了提供具有改善且方便的组装的阴极，提供一种用于X射线管的阴极(10)，所述阴极包括细丝(12)、支撑结构(14)、主体结构(16)和细丝框架结构(18)。所述细丝被提供用于沿电子发射方向(24)朝向阳极发射电子，且所述细丝至少部分地包括螺旋结构(26)。此外，所述细丝由所述支撑结构保持，所述支撑结构固定地连接到所述主体结构。所述细丝框架结构被设置用于所述所发射电子的电子光学聚焦，且所述细丝框架结构是邻近所述细丝的所述外边界设置的。所述细丝框架结构包括横向于所述发射方向布置的框架表面部分(28)，且所述细丝框架结构由所述支撑结构保持。
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公开(公告)号：CN104217913A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410158429.3
申请日：2014-04-18
申请人： 斯伊恩股份有限公司
发明人： 佐藤正辉
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/024 , H01J37/3171 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/026 , H01J2237/032 , H01J2237/036 , H01J2237/038 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
摘要： 本发明提供一种绝缘结构及绝缘方法，其有助于降低维护频度并提高装置运转率。本发明提供设置在用于从等离子体生成部引出离子束的多个电极间的绝缘结构（30）。绝缘结构（30）具备：第1部分（52），连接于第1电极（20）；及第2部分（54），连接于第2电极（22），且具备：绝缘部件（32），用于将第1电极（20）支承于第2电极（22）；第1罩体（70），为了保护第1部分（52）免受污染粒子（18）的影响而包围第1部分（52）的至少一部分；及第2罩体（72），为了保护第2部分（54）免受污染粒子（18）的影响而包围第2部分（54）的至少一部分。第1部分（52）及第2部分（54）中的至少一部分由可加工陶瓷或多孔陶瓷形成。
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