公开(公告)号：CN105321790B

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201510245840.9

申请日：2015-05-14

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 松下浩 ,  椛泽光昭 ,  天野吉隆 ,  八木田贵典

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/30

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/31701

摘要： 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束B施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及上游电极装置(300)，由设置于扫描电极装置(400)的上游的多个电极体构成。扫描电极装置(400)具备隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)及隔着基准轨道(Z)而在与横向正交的纵向对置而设的一对射束输送补正电极(450)。一对射束输送补正电极(450)分别在扫描电极装置(400)的入口(402)附近具有向基准轨道(Z)纵向延伸的射束输送补正入口电极体(454)。

公开(公告)号：CN105304441A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201510245654.5

申请日：2015-05-14

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 松下浩 ,  椛泽光昭 ,  天野吉隆 ,  八木田贵典

IPC分类号： H01J37/317

CPC分类号： H01J37/1477 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/30483

摘要： 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束(B)施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及下游电极装置(500)，配置于扫描电极装置(400)的下游，且设有供横向扫描的离子束(B)通过的开口部。扫描电极装置(400)具有隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)。下游电极装置(500)的开口部具有电极体，该电极体构成为，与基准轨道(Z)及横向双向正交的纵向开口宽度和/或沿着基准轨道(Z)的方向的厚度，在基准轨道(Z)所处的中央部和与扫描电极(410R，410L)的下游端部(422)对置的位置附近不同。

公开(公告)号：CN105304441B

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201510245654.5

申请日：2015-05-14

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 松下浩 ,  椛泽光昭 ,  天野吉隆 ,  八木田贵典

IPC分类号： H01J37/317

CPC分类号： H01J37/1477 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/30483

摘要： 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束(B)施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及下游电极装置(500)，配置于扫描电极装置(400)的下游，且设有供横向扫描的离子束(B)通过的开口部。扫描电极装置(400)具有隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)。下游电极装置(500)的开口部具有电极体，该电极体构成为，与基准轨道(Z)及横向双向正交的纵向开口宽度和/或沿着基准轨道(Z)的方向的厚度，在基准轨道(Z)所处的中央部和与扫描电极(410R，410L)的下游端部(422)对置的位置附近不同。

公开(公告)号：CN104835710B

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201510069271.7

申请日：2015-02-10

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 加藤浩二 ,  天野吉隆

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/12 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/16

摘要： 本发明提供高能量离子注入装置、射束平行化器及射束平行化方法，适于高能量离子注入装置。射束平行化器(300)具备多个透镜部(310、312)，沿着基准轨道排列，以在射束平行化器的出口生成相对于基准轨道被平行化的射束。多个透镜部分别构成为，形成弓形弯曲间隙，并且通过施加于弓形弯曲间隙的电场来改变射束行进方向相对于基准轨道所成的角度。空间部(322、324)设置于多个透镜部中的一个透镜部和与该透镜部相邻的透镜部之间。空间部朝向被平行化的射束的与基准轨道垂直的剖面的短边方向。包括基准轨道在内的内侧区域通过空间部与多个透镜部的外侧区域连接。

公开(公告)号：CN105280468B

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201510349298.1

申请日：2015-06-23

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 天野吉隆

IPC分类号： H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/10 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/1202 ,  H01J2237/16

摘要： 本发明提供一种能够广范围使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置具备：透镜电极单元(802)，其具备用于使离子束平行的多个电极；及真空单元(804)，将透镜电极单元(802)容纳于真空环境中。真空单元(804)具备：第1真空容器(806)，其具备第1导电性容器壁(814)；第2真空容器(808)，其具备第2导电性容器壁(816)；及绝缘性容器壁(810)，将第1真空容器(806)与第2真空容器(808)彼此连通，且使第1导电性容器壁(814)与第2导电性容器壁(816)绝缘。设有使透镜电极单元802的多个电极中的至少1个电极与第1导电性容器壁(814)及第2导电性容器壁(816)中的至少一方绝缘的绝缘部件(828)，绝缘部件(828)与透镜电极单元(802)一起容纳于真空环境中。

公开(公告)号：CN105321790A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510245840.9

申请日：2015-05-14

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 松下浩 ,  椛泽光昭 ,  天野吉隆 ,  八木田贵典

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/30

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/31701

摘要： 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置。本发明的离子注入装置具备扫描单元(1000)，该扫描单元包括：扫描电极装置(400)，向沿着基准轨道(Z)射入的离子束B施加偏转电场，以向与基准轨道(Z)正交的横向扫描离子束(B)；及上游电极装置(300)，由设置于扫描电极装置(400)的上游的多个电极体构成。扫描电极装置(400)具备隔着基准轨道(Z)横向对置而设的一对扫描电极(410R，410L)及隔着基准轨道(Z)而在与横向正交的纵向对置而设的一对射束输送补正电极(450)。一对射束输送补正电极(450)分别在扫描电极装置(400)的入口(402)附近具有向基准轨道(Z)纵向延伸的射束输送补正入口电极体(454)。

公开(公告)号：CN105280468A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510349298.1

申请日：2015-06-23

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 天野吉隆

IPC分类号： H01J37/317

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/10 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/1202 ,  H01J2237/16

摘要： 本发明提供一种能够广范围使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置具备：透镜电极单元(802)，其具备用于使离子束平行的多个电极；及真空单元(804)，将透镜电极单元(802)容纳于真空环境中。真空单元(804)具备：第1真空容器(806)，其具备第1导电性容器壁(814)；第2真空容器(808)，其具备第2导电性容器壁(816)；及绝缘性容器壁(810)，将第1真空容器(806)与第2真空容器(808)彼此连通，且使第1导电性容器壁(814)与第2导电性容器壁(816)绝缘。设有使透镜电极单元802的多个电极中的至少1个电极与第1导电性容器壁(814)及第2导电性容器壁(816)中的至少一方绝缘的绝缘部件(828)，绝缘部件(828)与透镜电极单元(802)一起容纳于真空环境中。

公开(公告)号：CN104835710A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201510069271.7

申请日：2015-02-10

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 加藤浩二 ,  天野吉隆

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/12 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/16 ,  H01J37/317 ,  H01J37/08

摘要： 本发明提供高能量离子注入装置、射束平行化器及射束平行化方法，适于高能量离子注入装置。射束平行化器(300)具备多个透镜部(310、312)，沿着基准轨道排列，以在射束平行化器的出口生成相对于基准轨道被平行化的射束。多个透镜部分别构成为，形成弓形弯曲间隙，并且通过施加于弓形弯曲间隙的电场来改变射束行进方向相对于基准轨道所成的角度。空间部(322、324)设置于多个透镜部中的一个透镜部和与该透镜部相邻的透镜部之间。空间部朝向被平行化的射束的与基准轨道垂直的剖面的短边方向。包括基准轨道在内的内侧区域通过空间部与多个透镜部的外侧区域连接。