公开(公告)号：CN108352229A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680059373.3

申请日：2016-11-10

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 尼尔·K·科尔文 ,  约翰·F·巴格特

IPC分类号： H01B17/00 ,  H01B17/42 ,  H01J27/02 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J27/022 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/038

摘要： 本发明涉及一种细长绝缘体(302)。该绝缘体可以定位于离子源的开孔接地电极(308)与开孔抑制电极(306)之间。该绝缘体包含具有第一端(316)和第二端(316)的细长本体，其中一个或多个特征(312)界定于该细长本体中并增长沿该细长本体的表面从第一端到第二端的气体传导路径。这些特征(312)中的一个或多个是大体上沿轴向或者与细长本体的轴线成非零角度延伸到细长本体中的切槽(314)。这些特征(312)中的一个能够包括自细长本体的半径延伸出的肋部。

公开(公告)号：CN101802963A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880106475.1

申请日：2008-08-25

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 卡森·D·泰克雷特萨迪克 ,  艾立克·D·赫尔曼森 ,  道格拉斯·梅 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  拉塞尔·J·罗

IPC分类号： H01J37/00

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/08

摘要： 一种具有含介质鳍片的绝缘导体的离子植入机终端结构。在一实施例中，离子植入机终端结构可由含一个或多个介质鳍片的绝缘导体来实现。例如，离子植入机可包括配置成提供离子束的离子源。离子植入机还包括定义空腔的终端结构，其中离子源可至少部分地设置于空腔内。离子植入机还包括具有至少一介质鳍片的绝缘导体，此介质鳍片设置于终端结构的外部附近以改变电场。

公开(公告)号：CN101563749A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200780043193.7

申请日：2007-09-25

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 卡森·D·泰克雷特萨迪克 ,  拉塞尔·J·罗

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J31/16 ,  H01L21/265

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/08

摘要： 一种装置包括导电结构以及绝缘导体，绝缘导体安置于紧邻导电结构的外部之处以修改导电结构周围的电场。绝缘导体具有安置于导体周围的介电强度大于75千伏/英寸的绝缘体。也提供一种离子注入机。离子注入机包括：用于提供离子束的离子源；界定空腔的终端结构，离子源至少部分地安置于空腔中；以及绝缘导体。绝缘导体安置于紧邻终端结构的外部之处以修改终端结构周围的电场。绝缘导体具有安置于导体周围的介电强度大于75千伏/英寸的绝缘体。

公开(公告)号：CN104078299A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201310684864.5

申请日：2013-12-13

申请人： 斯伊恩股份有限公司

发明人： 佐藤正辉 ,  松下浩

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01B17/64

CPC分类号： H01J37/3171 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/036 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/08

摘要： 本发明提供一种用于离子注入装置的高电压电极的绝缘结构。该高电压电极的绝缘结构具备：绝缘体（126），具备露出表面（128）；及导体部（130），具备与绝缘体（126）相接的接合区域（138）、及以与绝缘体（126）的露出表面（128）相邻的方式沿接合区域（138）的边缘部（142）的至少一部分而设的耐热部（150）。耐热部（150）由熔点高于导体部（130）的导电材料形成。耐热部（150）可以以与绝缘体（126）的露出表面（128）之间留有间隙的方式配置。

公开(公告)号：CN103928281A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201310685439.8

申请日：2013-12-16

申请人： 宁波瑞曼特新材料有限公司

发明人： 黄永章

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/16 ,  H01J37/09

CPC分类号： H05H5/00 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/31701 ,  H05H7/00

摘要： 本发明涉及高压领域，其公开了一种高压加速器的高压舱结构，包括一个高电压舱，带电粒子发生器，加速管，束流输运线和目标靶；所述高电压舱的内部为空心腔体，所述带电粒子发生器设置在所述空心腔体内；所述高电压舱设置在高的电位以协助加速从带电粒子发生器出来的电子；高电压舱被包围在一个接地的外壳内；所述高电压舱的边缘的外部附近设置有绝缘导体。本发明的有益效果是：根据高电压舱结构与周围的接地外壳的空气间隔的不同来设置绝缘导体的位置，从而进一步提高高电压舱的最高承受电压。

公开(公告)号：CN101542675A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200880000419.X

申请日：2008-02-15

申请人： 诺尔迪克技术服务有限公司

发明人： 安德鲁·詹姆斯·蒂莫西·霍姆斯 ,  默文·霍华德·戴维斯

IPC分类号： H01J37/15 ,  H01J37/04 ,  H01J37/02

CPC分类号： H01J37/305 ,  H01J27/024 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/036 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/3142 ,  H01J2237/3151

摘要： 一种用于使离子束加速的设备(100)，包括安装在可移动安装件(112、114)中的至少一个电极(102、104、106)。

公开(公告)号：CN101410930A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200780010722.3

申请日：2007-03-28

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 拉塞尔·罗 ,  皮尔·R·卢比克 ,  D·杰弗里·里斯查尔 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  艾立克·D·赫尔曼森 ,  约瑟·C·欧尔森

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/038

摘要： 离子注入机(100)包括经组态以提供离子束(152)的离子源(102)、界定空腔(110)的终端结构(104)，所述离子源至少部分地安置于空腔内，以及包括绝缘系统(162，171)。所述绝缘系统经组态以电绝缘终端结构且经组态以在接近终端结构的至少一个外表面的区域中提供大于约72千伏/时的有效介电强度(dielectric strength)。本发明亦提供用来电绝缘离子注入机的气体盒(106)的气体盒绝缘系统。

公开(公告)号：CN103928281B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201310685439.8

申请日：2013-12-16

申请人： 宁波瑞曼特新材料有限公司

发明人： 黄永章

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/16 ,  H01J37/09

CPC分类号： H05H5/00 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/31701 ,  H05H7/00

摘要： 本发明涉及高压领域，其公开了一种高压加速器的高压舱结构,包括一个高电压舱，带电粒子发生器，加速管，束流输运线和目标靶;所述高电压舱的内部为空心腔体，所述带电粒子发生器设置在所述空心腔体内；所述高电压舱设置在高的电位以协助加速从带电粒子发生器出来的电子；高电压舱被包围在一个接地的外壳内；所述高电压舱的边缘的外部附近设置有绝缘导体。本发明的有益效果是：根据高电压舱结构与周围的接地外壳的空气间隔的不同来设置绝缘导体的位置，从而进一步提高高电压舱的最高承受电压。

公开(公告)号：CN103426707A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310168505.4

申请日：2013-05-09

申请人： 佳能株式会社

发明人： 盐泽崇史

IPC分类号： H01J37/12

CPC分类号： H01J37/10 ,  H01J3/18 ,  H01J37/12 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/31774

摘要： 本发明涉及一种带电粒子束透镜。带电粒子束透镜包括板状阳极、板状阴极和设置在阳极与阴极之间的绝缘体。绝缘体、阳极和阴极具有带电束从其中通过的通道部分。高电阻膜在绝缘体的形成通道部分的内侧面或绝缘体的最外侧面上形成，并且，阳极和阴极通过高电阻膜被电连接在一起。阳极和高电阻膜、阴极和高电阻膜分别包含相同的金属或半导体元素并具有不同的电阻值。这抑制由于阳极和阴极与高电阻膜之间的界面处或导电膜与高电阻膜之间的界面处的电阻增加和连接不良导致的电场集中，由此抑制放电的产生。

公开(公告)号：CN102687231A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201080055147.0

申请日：2010-10-05

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： J·J·科宁 ,  S·W·H·K·施藤布里克 ,  N·H·R·巴斯 ,  B·席佩尔

IPC分类号： H01J37/317

CPC分类号： H01J37/02 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/038

摘要： 本发明涉及一种高压屏蔽装置，该装置包括：第一金属部件和邻近于所述第一金属部件定位的第二金属部件。包括在所述装置中的所述第二金属部件的被设定在比第一金属部件的电位低的电位上。所述第二金属部件包括一个或多个边缘以及一个绝缘体。该第二金属部件至少部分地被面对着第一金属部件的该绝缘体封装。