针对车间设备的无人机智能巡检方法、装置、设备及介质

    公开(公告)号:CN115857536A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211377680.X

    申请日:2022-11-04

    Abstract: 本申请提供一种针对车间设备的无人机智能巡检方法、装置、设备及介质,所述方法包括:获取车间内每一个设备的位置信息,基于所述位置信息确定巡检路线的航点,一个所述航点对应一个位置信息;基于所有所述航点确定所述车间的巡检路线,并向无人机发送所述巡检路线;接收所述无人机基于所述巡检路线获取的第一信息,其中,所述第一信息包括基于所述航点确定的目标设备的位置,所述目标设备为所述车间内的任一设备;将所述第一信息与基准信息进行比对,获取比对结果,所述比对结果用于表征所目标设备的运行状态。

    电加热吸附柱及其温度控制系统

    公开(公告)号:CN110237645A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201810185909.7

    申请日:2018-03-07

    Abstract: 本发明提供一种电加热吸附柱,其包括采用中空结构的吸附柱本体,吸附柱本体的整个外表面被划分为多个区域,每个区域内均设置有一组至少部分覆盖该区域的电加热元件,每组电加热元件均通过一组连接件连接至位于吸附柱本体内部的一组传热管,各组电加热元件用于吸附柱再生时加热,各组传热管用于将各组电加热元件产生的热量均匀地传递至吸附柱本体内部。相应地,提供一种前述电加热吸附柱的温度控制系统。本发明所述电加热吸附柱能够避免现有内外盘管式吸附柱存在的泄漏不易及时发现、投资成本高等问题。

    用于吸附氯硅烷的试验装置及吸附氯硅烷的试验方法

    公开(公告)号:CN111829918A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201910322683.5

    申请日:2019-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种用于吸附氯硅烷的试验装置及吸附氯硅烷的试验方法,该试验装置包括:用于吸附氯硅烷的吸附柱组,吸附柱组包括至少一个吸附柱,试验装置还包括:设置于吸附柱入口的第一过滤器、设置于吸附柱出口的第二过滤器,其中,吸附柱组用于装填预设类型的吸附剂,第一过滤器用于阻挡吸附柱内的吸附剂由吸附柱入口流出,第二过滤器用于阻挡吸附柱内的吸附剂由吸附柱出口流出。本发明可对预设类型的吸附剂与被吸附氯硅烷快速检测出适用性及匹配性,能够避免出现采买的预设类型的吸附剂与实际工况下氯硅烷不适用及不匹配的情况,而引起预设类型的吸附剂无法达到吸附实际工况下氯硅烷的功效,避免工业化通入使用时造成成本的浪费。

    多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法和回收装置

    公开(公告)号:CN110240165A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201810187933.4

    申请日:2018-03-07

    Abstract: 本发明提供一种多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法,包括:对还原尾气进行低压冷凝处理,以将还原尾气中的氯硅烷完全冷凝下来,从而分离出气相的氢气、氯化氢和微量杂质及液相氯硅烷;利用吸收液对气相的氢气、氯化氢和微量杂质进行吸收处理,以吸收其中的氯化氢和微量杂质,从而分离出氢气并送往多晶硅生产工序,而吸收了氯化氢和微量杂质的吸收液作为富液氯硅烷与液相氯硅烷混合后形成氯硅烷混合液;对氯硅烷混合液逐步进行分离处理,以逐步分离出液相四氯化硅、液相三氯氢硅、液相二氯二氢硅和气相氯化氢,液相四氯化硅中的至少一部分用作吸收液。相应地,提供一种回收装置。本发明能够有效提高回收氢气的品质,降低系统能耗和蒸汽消耗。

    一种气体吸附柱再生的方法、装置及尾气回收系统

    公开(公告)号:CN112439398A

    公开(公告)日:2021-03-05

    申请号:CN201910814036.6

    申请日:2019-08-30

    Abstract: 本发明提供一种气体吸附柱再生的方法,包括:将经过吸附柱净化处理后得到的部分净化气作为用于使吸附柱再生的再生气,将再生气与经过吸附柱再生处理后得到的再生废气进行换热;将换热后的再生气加热到工艺要求的温度后,输入至吸附柱内对吸附柱再生处理,排出后变成再生废气;将经过换热后的再生废气经管道排出至再生废气回收系统。本发明还提供相应的装置及系统。本发明所述的气体吸附柱再生的方法、装置及尾气回收系统,通过对再生气加热后输入吸附柱对吸附柱进行升温,使整个吸附柱内温度场分布均匀,并通过热交换器使再生废气的热能被回收利用,降低能量消耗;同时使用冷净化气对吸附柱降温,提高了系统的安全稳定性。

    多晶硅还原尾气回收方法及回收系统

    公开(公告)号:CN107445138B

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201610368426.1

    申请日:2016-05-30

    Abstract: 本发明提供一种多晶硅还原尾气回收方法,包括:使还原尾气依次经过多级冷却处理,以输出气液混合物;对所述气液混合物进行气液分离处理,并利用分离出的混合气的冷量对还原尾气进行冷却处理;在氯化氢吸收塔中利用塔内自上而下的含有少量氯化氢的液相氯硅烷对冷量已被利用的混合气中的氯化氢进行吸收处理;在氯化氢解析塔中对氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷进行解析处理;利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对氯化氢解析塔塔釜输出的含有少量氯化氢的液相氯硅烷进行冷却处理。相应地,提供一种多晶硅还原尾气回收系统。本发明综合利用了内部流股的冷、热量,公用工程冷量消耗少,降低了生产成本。

    一种气体吸附柱再生的方法、装置及尾气回收系统

    公开(公告)号:CN112439398B

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN201910814036.6

    申请日:2019-08-30

    Abstract: 本发明提供一种气体吸附柱再生的方法,包括:将经过吸附柱净化处理后得到的部分净化气作为用于使吸附柱再生的再生气,将再生气与经过吸附柱再生处理后得到的再生废气进行换热;将换热后的再生气加热到工艺要求的温度后,输入至吸附柱内对吸附柱再生处理,排出后变成再生废气;将经过换热后的再生废气经管道排出至再生废气回收系统。本发明还提供相应的装置及系统。本发明所述的气体吸附柱再生的方法、装置及尾气回收系统,通过对再生气加热后输入吸附柱对吸附柱进行升温,使整个吸附柱内温度场分布均匀,并通过热交换器使再生废气的热能被回收利用,降低能量消耗;同时使用冷净化气对吸附柱降温,提高了系统的安全稳定性。

    多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法和回收装置

    公开(公告)号:CN110240165B

    公开(公告)日:2021-05-11

    申请号:CN201810187933.4

    申请日:2018-03-07

    Abstract: 本发明提供一种多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法,包括:对还原尾气进行低压冷凝处理,以将还原尾气中的氯硅烷完全冷凝下来,从而分离出气相的氢气、氯化氢和微量杂质及液相氯硅烷;利用吸收液对气相的氢气、氯化氢和微量杂质进行吸收处理,以吸收其中的氯化氢和微量杂质,从而分离出氢气并送往多晶硅生产工序,而吸收了氯化氢和微量杂质的吸收液作为富液氯硅烷与液相氯硅烷混合后形成氯硅烷混合液;对氯硅烷混合液逐步进行分离处理,以逐步分离出液相四氯化硅、液相三氯氢硅、液相二氯二氢硅和气相氯化氢,液相四氯化硅中的至少一部分用作吸收液。相应地,提供一种回收装置。本发明能够有效提高回收氢气的品质,降低系统能耗和蒸汽消耗。

    多晶硅还原尾气回收方法及回收系统

    公开(公告)号:CN107445138A

    公开(公告)日:2017-12-08

    申请号:CN201610368426.1

    申请日:2016-05-30

    Abstract: 本发明提供一种多晶硅还原尾气回收方法,包括:使还原尾气依次经过多级冷却处理,以输出气液混合物;对所述气液混合物进行气液分离处理,并利用分离出的混合气的冷量对还原尾气进行冷却处理;在氯化氢吸收塔中利用塔内自上而下的含有少量氯化氢的液相氯硅烷对冷量已被利用的混合气中的氯化氢进行吸收处理;在氯化氢解析塔中对氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷进行解析处理;利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对氯化氢解析塔塔釜输出的含有少量氯化氢的液相氯硅烷进行冷却处理。相应地,提供一种多晶硅还原尾气回收系统。本发明综合利用了内部流股的冷、热量,公用工程冷量消耗少,降低了生产成本。

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