多晶硅还原尾气的分离回收系统及方法

    公开(公告)号:CN119143138A

    公开(公告)日:2024-12-17

    申请号:CN202411287004.2

    申请日:2024-09-13

    Abstract: 本发明涉及多晶硅领域,公开了一种多晶硅还原尾气的分离回收系统及方法,其中回收系统包括前处理单元、解吸塔、第一冷却单元、闪蒸罐、分离单元等结构,采用本发明提供的系统实现了对多晶硅还原尾气中DCS的回收,提高了三氯氢硅产品中DCS的含量,通过调节闪蒸罐的压力来控制获得的三氯氢硅产品中DCS的配比,提升多晶硅产品产量和经济效益;另一方面,提高了氯化氢的一次回收率,从闪蒸罐出来的液相物料直接去分离单元,流程简化,节省能耗,有利于降低成本。

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