弹性波装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116633307B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202310582156.4

    申请日:2023-05-23

    IPC分类号: H03H9/13 H03H9/02

    摘要: 本申请关于一种弹性波装置,涉及弹性波器件领域。包括压电性基板以及设置在压电性基板上的叉指换能器电极,叉指换能器电极包括沿弹性波传播方向间隔布置的n根电极指,n为正整数值,每根电极指都具有各自的电极指宽度、电极指间隙和电极指周期,n根电极指具有算术平均的电极指宽度、算术平均的电极指间隙和算术平均的电极指周期;n根电极指中存在m根电极指,m根电极指中的任意一根电极指的电极指宽度与算术平均的电极指宽度的比值、电极指间隙与算术平均的电极指间隙的比值、电极指周期与算术平均的电极指周期的比值中的至少一者落在0.97至0.99,或1.01至1.03范围内。解决了现有弹性波装置存在的伴生工作模态的寄生杂波很难抑制或削弱的问题。

    弹性波滤波器
    2.
    发明公开
    弹性波滤波器 审中-实审

    公开(公告)号:CN117713742A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202311737268.9

    申请日:2023-12-18

    摘要: 本申请关于一种弹性波滤波器,涉及射频技术领域。本申请提供的弹性波滤波器通过设置非压电衬底、压电薄膜、非压电材料薄膜以及导电材料薄膜图形;并且,该导电材料薄膜图形包括输入端子、输出端子、至少一个接地端子、串联臂、并联臂,以及由IDT电极和反射器电极构成的串联臂谐振器和并联臂谐振器;其中,IDT电极的交叉区域至少部分设置于非压电材料薄膜之上,并且IDT电极的交叉区域至少部分设置于压电薄膜之上。在此情况下,与现有技术相比,既保证了较好的带外抑制水平,又减小了弹性波滤波器的尺寸,满足了5G通信中的小型化需求。

    一种叉指换能器、声表面波谐振器和装置

    公开(公告)号:CN117353697A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311414557.5

    申请日:2023-10-27

    IPC分类号: H03H9/145 H03H9/25

    摘要: 本发明公开了一种叉指换能器、声表面波谐振器和装置,涉及射频滤波技术领域,其中谐振器包括:压电基底和设于该压电基底工作面上的导电材料薄膜图形,调节导电材料薄膜图形中的叉指换能器以形成标准声速区、与标准声速区相比传播弹性波的音速更低的低声速区、与标准声速区相比传播弹性波的音速更高的高声速区,并设置叉指换能器的电极指中位于标准声速区部分的电极指长度从区域中部向区域端部方向逐渐变大或变小,该谐振器和装置具有良好的横模抑制效果。

    声表面波谐振器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116505906A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310414180.7

    申请日:2023-04-17

    IPC分类号: H03H9/02 H03H9/145

    摘要: 本申请关于一种声表面波谐振器,涉及声表面波器件领域。该声表面波谐振器包括支承基板、直接地或间接地设置在支承基板上的压电膜、以及设置在压电膜上的叉指换能器电极;其中,叉指换能器电极的占空比大于等于0.35且小于等于0.45。在此情况下,通过调节该叉指换能器电极的占空比,可以减小甚至消除不同频段的高阶杂波,有效提高阻带抑制能力,提供了一种更加简单的、生产成本低的基于压电薄膜的声表面波谐振器。

    弹性波装置
    5.
    发明公开
    弹性波装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN118337167A

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202410426042.5

    申请日:2024-04-10

    IPC分类号: H03H9/02 H03H9/145

    摘要: 本申请关于一种弹性波装置,涉及弹性波技术领域。本申请通过主面为a面、c面、m面或r面的蓝宝石基板作为支承基板,上方形成有压电层,压电层上至少形成有IDT电极和反射器电极,反射器电极位于IDT电极沿弹性波传播方向上的两侧,当蓝宝石基板的欧拉角处于特定范围内时,能够抑制基于压电薄膜的复合多层结构引起的高阶杂波,可以降低装置制备难度和制备成本。

    弹性波滤波器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116827296B

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202310661476.9

    申请日:2023-06-05

    摘要: 本申请关于一种弹性波滤波器及其制备方法,涉及弹性波滤波器领域。该弹性波滤波器包括压电基底、设置于非压电基底上的压电薄膜,以及一部分设置于非压电基底上、另一部分设置于压电薄膜上的导电材料薄膜图形;其中,导电材料薄膜图形形成多个叉指换能器电极和用于实现叉指换能器电极之间电连接的多段导电轨迹,多段导电轨迹包括至少两段相互对置的且具有不同电位的导电轨迹,在两段导电轨迹的沿垂直于压电薄膜的上表面方向上的投影区域内或/和两段导电轨迹之间的区域内没有压电薄膜。本申请基于压电薄膜和非压电基底的压电复合衬底的弹性波器件,其具有尽量小的寄生电容,并因此具有更优的阻抗匹配效果和通带插损指标。

    一种基于活塞模式的声表面波装置及制备方法

    公开(公告)号:CN116566349B

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202310409624.8

    申请日:2023-04-17

    IPC分类号: H03H3/08 H03H9/02 H03H9/145

    摘要: 本发明公开了一种基于活塞模式的声表面波装置及制备方法,涉及声表面波器件技术领域,该装置包括压电基板和设置在其上的叉指换能器电极,叉指换能器电极包括相互对置的第一汇流条和第二汇流条、沿平行于声表面波传播方向上间隔交错设置的多根第一电极指和多根第二电极指、以及多根第一连接指和多根第二连接指;每根第一电极指的第一端通过第一连接指与第一汇流条电连接,且第一电极指的第一端与第一连接指层叠设置;每根第二电极指的第二端通过第二连接指与第二汇流条电连接,且第二电极指的第二端与第二连接指层叠设置。通过调整第一连接指、第二连接指的质量,以更灵活地设置低音速部和高音速部,从而实现更佳的活塞模式,抑制横模杂波。

    横向激励薄膜体声波谐振器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116470878A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310349255.8

    申请日:2023-04-03

    摘要: 本申请关于一种横向激励薄膜体声波谐振器,涉及射频滤波器领域。包括基板,位于基板上的压电功能膜以及位于压电功能膜上的叉指换能器电极;压电功能膜具体包括压电材料区和非压电绝缘材料区,压电材料和非压电绝缘材料具有不同的声阻抗;通过设置非压电绝缘材料区的位置,使多根第二电极指的第一包络线与第一非压电绝缘材料区的第二边缘的距离、以及多根第一电极指的第二包络线与第二非压电绝缘材料区的第四边缘的距离、均不超过3μm。本申请提供的横向激励薄膜体声波谐振器可以解决现有器件终存在的横向模式杂波的过大、过多的问题。

    高隔离度声表面波双工器及多工器

    公开(公告)号:CN115987246A

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202310052615.8

    申请日:2023-02-02

    摘要: 本申请关于一种高隔离度声表面波双工器及多工器,涉及声表面波器件领域。该高隔离度声表面波双工器/高隔离度声表面波多工器,通过将声表面波梯形滤波器的反射器电极与接地端子电性连接,减少了电磁干扰,从而提升了声表面波双工器/声表面波多工器的隔离度;另外,与接地端子电性连接的反射器电极与导电细长条图形电性连接的设置,可以进一步减少电磁干扰,提升声表面波双工器/声表面波多工器的隔离度;实现了能够在不改变声表面波双工器/声表面波多工器芯片中某一谐振器的叉指换能器周期、孔径和指条数,也不改变声表面波双工器/声表面波多工器封装基板的情况下,使声表面波双工器/声表面波多工器的隔离度得到提升。

    弹性波装置
    10.
    发明公开
    弹性波装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN118740094A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410629126.9

    申请日:2024-05-21

    IPC分类号: H03H9/02 H03H9/145

    摘要: 本申请关于一种弹性波装置,涉及弹性波领域。本申请通过设置水平剪切波曲率小于‑4的石英基板、设置在石英基板上的压电层、以及设置在压电层上叉指换能器电极;其中,压电层的欧拉角为(0±2.5°,β±2.5°,0±2.5°),且β满足90°≤β≤130°。在此情况下,通过石英基板作为支承基板,实现了一种能够抑制本征横向模式的大带宽的弹性波装置。