包含具有碳碳多重键的树脂的钝化膜形成用组合物

    公开(公告)号:CN103946271B

    公开(公告)日:2019-04-12

    申请号:CN201380003965.X

    申请日:2013-02-08

    Abstract: 本发明的课题是提供使电绝缘性、耐热性、耐溶剂性、干法回蚀特性同时实现的钝化膜。作为解决本发明课题的手段涉及一种钝化膜形成用组合物,其包含具有下述式(i):(式中,T0表示磺酰基、氟代亚烷基、环状亚烷基、具有取代基的亚芳基、或可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合。)的单元结构的聚合物,在该聚合物的末端、侧链、或主链具有至少一个具有式(2‑A)、式(2‑B)或这两种结构的基团。聚合物可以具有下述式(1)的单元结构。AA式。

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