公开(公告)号：CN113195146A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201980084269.3

申请日：2019-12-13

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  藤野大辅 ,  泷本优 ,  荒木良仁 ,  藤井理启

IPC分类号： B23K20/00

摘要： 本发明的接合方法，是将由铝或铝合金制成的、形成有使促进热交换的介质流通的流路的主体部及由铝或铝合金制成的、覆盖主体部的流路的盖部进行接合的方法，接合方法包括：覆盖步骤，在主体部上覆盖盖部；扩散接合步骤，通过在接合温度为500℃以上且640℃以下、接合压力为0.7MPa以上的条件下进行扩散接合，来接合主体部与盖部。

公开(公告)号：CN112514540B

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN201980047802.9

申请日：2019-07-17

申请人： 日本发条株式会社 ,  株式会社泉科技

发明人： 花待年彦 ,  诸田修平 ,  高原刚 ,  泷本优 ,  横山响 ,  光田拓史 ,  荒木良仁 ,  味泽贤吾

IPC分类号： H05H1/24 ,  C23C28/04 ,  C25D11/04 ,  C25D11/12 ,  C25D11/18 ,  H01L21/3065 ,  C25D11/00

摘要： 本发明的等离子体处理装置用部件包括：铝基材；以及氧化被膜，其形成在铝基材上，具有多孔质结构，其中，氧化被膜包括：第一氧化被膜，其形成在铝基材的表面上，第二氧化被膜，其形成在第一氧化被膜的与铝基材侧相反的一侧，以及第三氧化被膜，其形成在第二氧化被膜的与第一氧化被膜侧相反的一侧，第一氧化被膜比第二氧化被膜及第三氧化被膜硬，在第一氧化被膜、第二氧化被膜和第三氧化被膜的各被膜中形成的孔被封孔。

公开(公告)号：CN110547041B

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN201880024287.8

申请日：2018-04-03

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  关谷健二 ,  桥本大辅 ,  平野智资 ,  泷本优 ,  高原刚 ,  荒木良仁 ,  巽新 ,  川崎孝 ,  外山友纪 ,  安斋谕

IPC分类号： H05B3/48 ,  H05B3/10

摘要： 提供一种提高了可靠性的细径护套加热器。本发明的一个实施方式的护套加热器具备金属护套、发热丝、绝缘材料以及连接端子，所述发热丝为带状，以具有间隙的方式配置于所述金属护套内，并相对于所述金属护套的轴向旋转而配置在所述金属护套内，所述绝缘材料配置于所述间隙中，所述连接端子配置于所述金属护套的一端，分别与所述发热丝的两端电连接。

公开(公告)号：CN113454761B

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202080012364.5

申请日：2020-02-25

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  诸田修平 ,  泷本优 ,  荒木良仁 ,  横山响 ,  藤井理启

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/683 ,  C23C4/129 ,  C23C4/134

摘要： 载物台包括：基材，其具有第一面和与第一面相邻的第二面；以及绝缘膜，其包含具有扁平面的多个粒子，扁平面的一部分沿着第一面和第二面而设置，所述基材包括与第一面180度相反方向的第三面，绝缘膜的扁平面的一部分沿着第三面而设置，延长第一面的面与延长第二面的面设置为以90度相交。

公开(公告)号：CN112514540A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201980047802.9

申请日：2019-07-17

申请人： 日本发条株式会社 ,  株式会社泉科技

发明人： 花待年彦 ,  诸田修平 ,  高原刚 ,  泷本优 ,  横山响 ,  光田拓史 ,  荒木良仁 ,  味泽贤吾

IPC分类号： H05H1/24 ,  C23C28/04 ,  C25D11/04 ,  C25D11/12 ,  C25D11/18 ,  H01L21/3065 ,  C25D11/00

摘要： 本发明的等离子体处理装置用部件包括：铝基材；以及氧化被膜，其形成在铝基材上，具有多孔质结构，其中，氧化被膜包括：第一氧化被膜，其形成在铝基材的表面上，第二氧化被膜，其形成在第一氧化被膜的与铝基材侧相反的一侧，以及第三氧化被膜，其形成在第二氧化被膜的与第一氧化被膜侧相反的一侧，第一氧化被膜比第二氧化被膜及第三氧化被膜硬，在第一氧化被膜、第二氧化被膜和第三氧化被膜的各被膜中形成的孔被封孔。

公开(公告)号：CN112867577B

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN201980067996.9

申请日：2019-10-23

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 泷本优 ,  花待年彦 ,  中山润一

IPC分类号： B23K20/12 ,  F28F3/12 ,  B23K101/14

摘要： 本发明涉及的接合体，包括：主体部，其具有形成流路的壁部，该流路用于使促进热交换的介质流通；以及盖部件，其覆盖主体部的流路的形成面，盖部件具有：覆盖部，其设置在与主体部相对的一侧，并覆盖主体部的流路形成面；槽部，其设置在与主体部相对的一侧，并收纳壁部的前端部；以及搅拌接合部，其设置在与设置有覆盖部及槽部的一侧相反的一侧，在至少一部分中，从与相对于主体部的一侧相反的一侧的表面直至到槽部的底部的深度为止进行摩擦搅拌而形成的，并与壁部的前端接合。

公开(公告)号：CN112867577A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN201980067996.9

申请日：2019-10-23

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 泷本优 ,  花待年彦 ,  中山润一

IPC分类号： B23K20/12 ,  F28F3/12 ,  B23K101/14

摘要： 本发明涉及的接合体，包括：主体部，其具有形成流路的壁部，该流路用于使促进热交换的介质流通；以及盖部件，其覆盖主体部的流路的形成面，盖部件具有：覆盖部，其设置在与主体部相对的一侧，并覆盖主体部的流路形成面；槽部，其设置在与主体部相对的一侧，并收纳壁部的前端部；以及搅拌接合部，其设置在与设置有覆盖部及槽部的一侧相反的一侧，在至少一部分中，从与相对于主体部的一侧相反的一侧的表面直至到槽部的底部的深度为止进行摩擦搅拌而形成的，并与壁部的前端接合。

公开(公告)号：CN113454761A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202080012364.5

申请日：2020-02-25

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  诸田修平 ,  泷本优 ,  荒木良仁 ,  横山响 ,  藤井理启

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/683 ,  C23C4/129 ,  C23C4/134

摘要： 载物台包括：基材，其具有第一面和与第一面相邻的第二面；以及绝缘膜，其包含具有扁平面的多个粒子，扁平面的一部分沿着第一面和第二面而设置，所述基材包括与第一面180度相反方向的第三面，绝缘膜的扁平面的一部分沿着第三面而设置，延长第一面的面与延长第二面的面设置为以90度相交。

公开(公告)号：CN110547041A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201880024287.8

申请日：2018-04-03

申请人： 日本发条株式会社

发明人： 花待年彦 ,  关谷健二 ,  桥本大辅 ,  平野智资 ,  泷本优 ,  高原刚 ,  荒木良仁 ,  巽新 ,  川崎孝 ,  外山友纪 ,  安斋谕

IPC分类号： H05B3/48 ,  H05B3/10

摘要： 提供一种提高了可靠性的细径护套加热器。本发明的一个实施方式的护套加热器具备金属护套、发热丝、绝缘材料以及连接端子，所述发热丝为带状，以具有间隙的方式配置于所述金属护套内，并相对于所述金属护套的轴向旋转而配置在所述金属护套内，所述绝缘材料配置于所述间隙中，所述连接端子配置于所述金属护套的一端，分别与所述发热丝的两端电连接。