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公开(公告)号：CN118871606A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202380025707.5
申请日：2023-02-27
申请人： 日本发条株式会社
摘要： 根据一实施方式，提供了一种热喷涂装置，所述热喷涂装置具备：热喷涂机，其包括用于将材料热喷涂到基材上的热喷涂炬；一个以上的周边装置，其与所述热喷涂机一起使用；以及集中控制面板，其能够对所述热喷涂机和所述一个以上的周边装置统一进行操作。根据一实施方式，提供了一种热喷涂控制方法，其由热喷涂装置执行，所述热喷涂装置包括热喷涂机、与所述热喷涂机一起使用的一个以上的周边装置以及集中控制面板，所述热喷涂控制方法包括由所述集中控制面板对所述热喷涂机和所述一个以上的周边装置统一进行控制。
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公开(公告)号：CN110547042B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201880024404.0
申请日：2018-04-03
申请人： 日本发条株式会社
摘要： 本发明提供一种可靠性得到提高的、具有细径护套加热器的加热器单元。加热器单元包括：相互接合的第一基材和第二基材；槽，设置于上述第一基材与上述第二基材的接合面的至少一方；以及护套加热器，配置于上述槽的内侧，其中，上述护套加热器包括：金属护套；发热线，以具有间隙的方式配置于上述金属护套内，呈带状，并且相对于上述金属护套的轴方向旋转配置；绝缘材料，配置于上述间隙；以及连接端子，配置于上述金属护套的一端，分别与上述发热线的两端电连接。
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公开(公告)号：CN103137534B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201210480502.X
申请日：2012-11-23
申请人： 日本发条株式会社
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/68735 , H01L21/68785
摘要： 本发明提供一种具有高耐电压与高耐热性的金属制的基板支撑装置。本发明的基板支撑装置具备：由金属形成的基板部；连接于平板部且由金属形成的轴部；配置于平板部的内部的发热体；以及通过陶瓷喷镀形成于平板部的与轴部相对置的第一面上的绝缘膜。还可以具有形成于与平板部的第一面大体垂直的第二面上的绝缘膜。
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公开(公告)号：CN112514540A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201980047802.9
申请日：2019-07-17
摘要： 本发明的等离子体处理装置用部件包括：铝基材；以及氧化被膜，其形成在铝基材上，具有多孔质结构，其中，氧化被膜包括：第一氧化被膜，其形成在铝基材的表面上，第二氧化被膜，其形成在第一氧化被膜的与铝基材侧相反的一侧，以及第三氧化被膜，其形成在第二氧化被膜的与第一氧化被膜侧相反的一侧，第一氧化被膜比第二氧化被膜及第三氧化被膜硬，在第一氧化被膜、第二氧化被膜和第三氧化被膜的各被膜中形成的孔被封孔。
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公开(公告)号：CN110383432A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880012553.5
申请日：2018-01-30
申请人： 日本发条株式会社
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/3065 , H01L21/683 , H01L21/203
摘要： 本发明提供基板支撑单元。基板支撑单元具有轴、第一加热器以及工作台。第一加热器位于轴的内部，用于加热轴的上部。工作台位于轴的上部，具有第一板、第一板上的第二板、以及第一板与第二板之间的第二加热器。
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公开(公告)号：CN109791911A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780060021.4
申请日：2017-06-13
申请人： 日本发条株式会社
IPC分类号： H01L21/683 , C23C14/50 , C23C16/458 , C23C16/46 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32724 , C23C14/50 , C23C16/458 , C23C16/4581 , C23C16/4586 , C23C16/46 , H01J37/3222 , H01J37/3411 , H01J2237/3321 , H01J2237/3341 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H01L21/67069 , H01L21/67103 , H01L21/683 , H01L21/6833 , H05H1/46
摘要： 本发明提供用于精密控制基板温度的载置台及其制作方法。或者，提供具有该载置台的成膜装置或膜加工装置。本发明提供用于载置基板的载置台，该载置台具有基材、和基材上的加热器层，加热器层具有第一绝缘膜、第一绝缘膜上的加热器线、和加热器线上的第二绝缘膜，加热器线含有一种以上选自钨、镍、铬、钴及钼中的金属。
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公开(公告)号：CN118974304A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202380029407.4
申请日：2023-02-28
申请人： 日本发条株式会社
IPC分类号： C23C4/12
摘要： 旋转装置包括：旋转台，其可装拆地支撑基材，所述基材具有规定温度的液体的流入口、流出口及用于连接所述流入口和所述流出口的流动路径；支撑所述旋转台的旋转支柱；用于旋转所述旋转支柱的旋转机构；以及向所述基材供给所述液体的液体供给部，其中，所述旋转台具有向所述基材供给所述液体的液体供给口以及从所述基材排出液体的液体排出口，所述旋转支柱在内部具有连接于所述液体供给口的第一配管以及连接于所述液体排出口的第二配管。另外，热喷涂装置包括上述旋转装置以及热喷涂枪。
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公开(公告)号：CN110547041A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201880024287.8
申请日：2018-04-03
申请人： 日本发条株式会社
摘要： 提供一种提高了可靠性的细径护套加热器。本发明的一个实施方式的护套加热器具备金属护套、发热丝、绝缘材料以及连接端子，所述发热丝为带状，以具有间隙的方式配置于所述金属护套内，并相对于所述金属护套的轴向旋转而配置在所述金属护套内，所述绝缘材料配置于所述间隙中，所述连接端子配置于所述金属护套的一端，分别与所述发热丝的两端电连接。
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公开(公告)号：CN103597908A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280025854.4
申请日：2012-05-29
申请人： 日本发条株式会社
CPC分类号： H05B3/10 , C23C24/04 , H01L21/67103 , H01L21/68792 , H05B3/12 , H05B3/283 , H05B3/688 , H05B2203/014
摘要： 本发明提供一种通过对导热性不同的材料进行合成来改善加热器的温度分布的带轴加热单元以及带轴加热单元的制造方法。本发明的具有搭载被加热物并对其进行加热的加热板(1)和支撑加热板(1)的轴部(2)的带轴加热单元(100)中，将构成轴部(2)的材料粉末通过已加热的压缩气体在比该材料粉末的熔点低的温度下喷涂到加热板(1)，由此形成轴部(2)。
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公开(公告)号：CN112514540B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201980047802.9
申请日：2019-07-17
摘要： 本发明的等离子体处理装置用部件包括：铝基材；以及氧化被膜，其形成在铝基材上，具有多孔质结构，其中，氧化被膜包括：第一氧化被膜，其形成在铝基材的表面上，第二氧化被膜，其形成在第一氧化被膜的与铝基材侧相反的一侧，以及第三氧化被膜，其形成在第二氧化被膜的与第一氧化被膜侧相反的一侧，第一氧化被膜比第二氧化被膜及第三氧化被膜硬，在第一氧化被膜、第二氧化被膜和第三氧化被膜的各被膜中形成的孔被封孔。
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