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公开(公告)号：CN103515184B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201310261620.6
申请日：2013-06-27
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 提供感应耦合等离子体装置、分光分析装置以及质量分析装置。感应耦合等离子体装置大幅降低等离子气体的消耗量。作为解决手段，该感应耦合等离子体装置具有：圆筒形状的罩，其与等离子体炬是分离的，具有足够包围到生成等离子体火焰的前端部的高度，该罩外嵌地配置在等离子体炬上；以及校正气体导入机构，其将用于校正等离子气体的流路的校正气体导入到在罩的内表面和等离子体炬的外管的外表面之间形成的间隙部。
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公开(公告)号：CN102235977B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201110086370.8
申请日：2011-03-29
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N21/73
Abstract: 本发明涉及一种ICP分析装置及其分析方法，活用能进行高灵敏度测定但装置的劣化快的等离子体的发生轴方向测定和装置劣化少但灵敏度低的等离子体的横向测定中各测定的特征而能够进行高灵敏度且减轻了装置的劣化的倾斜方向测定。构成为：为了将所述等离子体喷灯设定为任意角度，以直线状对置地配置等离子体喷灯和聚光部时为基准，使至少一个相对于ICP分析装置中的聚光部的等离子体的光的取进方向转动，从而以任意角度对置。
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公开(公告)号：CN103515184A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310261620.6
申请日：2013-06-27
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 提供感应耦合等离子体装置、分光分析装置以及质量分析装置。感应耦合等离子体装置大幅降低等离子气体的消耗量。作为解决手段，该感应耦合等离子体装置具有：圆筒形状的罩，其与等离子体炬是分离的，具有足够包围到生成等离子体火焰的前端部的高度，该罩外嵌地配置在等离子体炬上；以及校正气体导入机构，其将用于校正等离子气体的流路的校正气体导入到在罩的内表面和等离子体炬的外管的外表面之间形成的间隙部。
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