公开(公告)号：CN103515184B

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：CN201310261620.6

申请日：2013-06-27

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 松泽修 ,  赤松宪一 ,  中野信男 ,  一宫丰 ,  田边英规 ,  夏井克己

IPC: H01J49/10 ,  G01N21/73

Abstract: 提供感应耦合等离子体装置、分光分析装置以及质量分析装置。感应耦合等离子体装置大幅降低等离子气体的消耗量。作为解决手段，该感应耦合等离子体装置具有：圆筒形状的罩，其与等离子体炬是分离的，具有足够包围到生成等离子体火焰的前端部的高度，该罩外嵌地配置在等离子体炬上；以及校正气体导入机构，其将用于校正等离子气体的流路的校正气体导入到在罩的内表面和等离子体炬的外管的外表面之间形成的间隙部。

公开(公告)号：CN103515184A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310261620.6

申请日：2013-06-27

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 松泽修 ,  赤松宪一 ,  中野信男 ,  一宫丰 ,  田边英规 ,  夏井克己

IPC: H01J49/10 ,  G01N21/73

Abstract: 提供感应耦合等离子体装置、分光分析装置以及质量分析装置。感应耦合等离子体装置大幅降低等离子气体的消耗量。作为解决手段，该感应耦合等离子体装置具有：圆筒形状的罩，其与等离子体炬是分离的，具有足够包围到生成等离子体火焰的前端部的高度，该罩外嵌地配置在等离子体炬上；以及校正气体导入机构，其将用于校正等离子气体的流路的校正气体导入到在罩的内表面和等离子体炬的外管的外表面之间形成的间隙部。