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公开(公告)号：CN110411368A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910337335.5
申请日：2019-04-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供干涉信号的相位校正方法。在计测伴有周期函数的物理现象时，对不可避免地产生的相位偏移进行校正。在干涉信号的相位校正方法中，从光源对测定对象物照射测定介质，取得呈现周期函数的干涉信号，针对干涉信号在多个采样点进行采样，求出各采样点的相位偏移，根据该相位偏移进行干涉信号的相位校正。
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公开(公告)号：CN108692676A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810213170.6
申请日：2018-03-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测中，通过使用负的干涉信号确保干涉信号的光量，从而对计测对象物能够进行适当的计测。该三维形状计测方法使用传感器获取与对计测对象物照射的来自光源的照射光对应的干涉信号，获取干涉信号中的信号强度比相当于信号强度的补偿值的基线小的负的干涉信号，根据负的干涉信号的信号强度设定用于计测计测对象物的高度信息的照射光的光量即计测光量。
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公开(公告)号：CN107796326B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201710717616.4
申请日：2017-08-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。
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公开(公告)号：CN107796326A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710717616.4
申请日：2017-08-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。
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