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公开(公告)号：CN110411368A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910337335.5
申请日：2019-04-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供干涉信号的相位校正方法。在计测伴有周期函数的物理现象时，对不可避免地产生的相位偏移进行校正。在干涉信号的相位校正方法中，从光源对测定对象物照射测定介质，取得呈现周期函数的干涉信号，针对干涉信号在多个采样点进行采样，求出各采样点的相位偏移，根据该相位偏移进行干涉信号的相位校正。
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公开(公告)号：CN106483337A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201610773686.7
申请日：2016-08-31
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01Q20/02
CPC classification number: G01Q20/02
Abstract: 本发明涉及扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法。提供能够使用配置于扫描探针显微镜的物镜来自动地进行光杠杆的光轴调整的扫描探针显微镜和其光轴调整方法。是一种扫描探针显微镜（100），所述扫描探针显微镜100）具备：悬臂支承部（11），以规定的安装角θ）安装悬臂（4）；移动机构（21），对悬臂的位置进行调整；光源部（1），照射检测光（L0）；检测部6），对检测光（L1）进行检测来对悬臂的移位进行检测；以及物镜（17），对悬臂的附近进行观察或拍摄，所述扫描探针显微镜（100）还具备控制单元（40），对使用物镜拍摄的检测光的光斑光的光斑位置（G1）进行检测，接着，对使用物镜拍摄的悬臂的位置（G2）进行检测，基于光斑位置、悬臂的位置、检测光（L0）的入射角（φ）、以及安装角，对移动机构进行控制，以使在将悬臂安装于悬臂支承部时在反射面反射检测光。
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公开(公告)号：CN111721195B
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN201911281490.6
申请日：2019-12-13
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法和三维形状计测装置。在对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状的三维形状计测方法中，包括更换了物镜的情况在内，简便且准确地进行干涉信号的摄像元件的焦点位置和干涉条纹的出现位置的调整。对摄像元件的位置进行调整，使得出现有所使用的物镜的干涉条纹的z轴上的位置与摄像元件的焦点位置的相对位置之差处于规定的范围。
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公开(公告)号：CN108692676A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810213170.6
申请日：2018-03-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测中，通过使用负的干涉信号确保干涉信号的光量，从而对计测对象物能够进行适当的计测。该三维形状计测方法使用传感器获取与对计测对象物照射的来自光源的照射光对应的干涉信号，获取干涉信号中的信号强度比相当于信号强度的补偿值的基线小的负的干涉信号，根据负的干涉信号的信号强度设定用于计测计测对象物的高度信息的照射光的光量即计测光量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106483337B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201610773686.7
申请日：2016-08-31
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01Q20/02
Abstract: 本发明涉及扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法。提供能够使用配置于扫描探针显微镜的物镜来自动地进行光杠杆的光轴调整的扫描探针显微镜和其光轴调整方法。是一种扫描探针显微镜（100），所述扫描探针显微镜（100）具备：悬臂支承部（11），以规定的安装角（θ）安装悬臂（4）；移动机构（21），对悬臂的位置进行调整；光源部（1），照射检测光（L0）；检测部（6），对检测光（L1）进行检测来对悬臂的移位进行检测；以及物镜（17），对悬臂的附近进行观察或拍摄，所述扫描探针显微镜（100）还具备控制单元（40），对使用物镜拍摄的检测光的光斑光的光斑位置（G1）进行检测，接着，对使用物镜拍摄的悬臂的位置（G2）进行检测，基于光斑位置、悬臂的位置、检测光（L0）的入射角（φ）、以及安装角，对移动机构进行控制，以使在将悬臂安装于悬臂支承部时在反射面反射检测光。
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公开(公告)号：CN111721195A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201911281490.6
申请日：2019-12-13
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法和三维形状计测装置。在对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状的三维形状计测方法中，包括更换了物镜的情况在内，简便且准确地进行干涉信号的摄像元件的焦点位置和干涉条纹的出现位置的调整。对摄像元件的位置进行调整，使得出现有所使用的物镜的干涉条纹的z轴上的位置与摄像元件的焦点位置的相对位置之差处于规定的范围。
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公开(公告)号：CN107796326B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201710717616.4
申请日：2017-08-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。
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公开(公告)号：CN107796326A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710717616.4
申请日：2017-08-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。
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公开(公告)号：CN104636739A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410577980.1
申请日：2014-10-24
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 长谷川晶一
CPC classification number: G06T11/206 , G06K9/00476
Abstract: 本发明提供一种测量数据电子化装置和测量数据电子化方法，其能够将测量数据容易地电子化为数值数据。测量数据电子化装置(90)基于图像数据(300)使测量数据电子化，该测量数据电子化装置具备：从图像数据抽出直线的直线抽出处理部(90A)；取得互相垂直的2条直线作为X轴(2)和Y轴(4)的X-Y轴取得处理部(90B)；从图像数据中取得位于X轴和Y轴的附近的数值(21、41)的数值取得处理部(90C)；基于分别对X轴和Y轴取得的数值的最小值和最大值，来设定由X轴和Y轴规定的XY平面的区域(6)的区域设定处理部(90D)；及从图像数据中取得区域内的测量数据作为X轴和Y轴上的数值数据的测量数据取得处理部(90E)。
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