公开(公告)号：CN107481953B

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN201610404527.X

申请日：2016-06-08

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 土佐晃文 ,  乾靖彦 ,  三轮要 ,  篠崎洋辅

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种能够抑制供电路径的发热的层叠发热体。该层叠发热体(1)包括陶瓷基板(3)、电极(4)、加热器(5、7)、端子(11、13、15、17)以及供电路径(19)，该层叠发热体的特征在于，在构成供电路径的贯通路中，至少存在1个满足以下条件(1)和条件(2)的贯通路α、β、γ、δ的组合。条件(1)：在自表面(3a)侧朝向背面(3b)侧观察陶瓷基板时，贯通路δ位于与贯通路β重叠的位置或位于贯通路β的附近。条件(2)：在自表面侧朝向背面侧观察陶瓷基板时，贯通路γ位于贯通路α与贯通路δ之间的位置、或位于与贯通路α重叠的位置、或者位于贯通路α的附近。

公开(公告)号：CN111712910B

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN201980013470.2

申请日：2019-02-12

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 三轮要

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H02N13/00 ,  H05B3/02 ,  H05B3/74

Abstract: 本发明提高保持装置的板状部件的表面的温度分布的控制性。保持装置是如下装置，即，具备：板状部件；基座部件；多个加热器电极，配置于板状部件；多个供电端子，与加热器电极电连接；粘接部，粘接板状部件与基座部件；及绝缘部件，收容在端子用孔内，并且保持装置将对象物保持在板状部件的表面上。设置于保持装置的多个供电端子包括：N个独立供电端子，与多个加热器电极中的N(N为2以上的整数)个加热器电极分别电连接；及共用供电端子，与N个加热器电极的全部电连接。该N个独立供电端子以通过绝缘部件而相互绝缘的状态收容在没有收容共用供电端子的一个端子用孔内，共用供电端子收容在没有收容独立供电端子的其他端子用孔内。

公开(公告)号：CN110235515B

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN201880009146.9

申请日：2018-01-31

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 三轮要

IPC: H05B3/02 ,  H01L21/02 ,  H01L21/3065 ,  H05B3/10 ,  H05B3/74

Abstract: 本公开的一方面的保持装置具备在厚度方向的一方具有主面的保持基板，并且在所述保持基板的内部配置有通过通电而发热的发热部。所述发热部具备：在与所述保持基板的厚度方向正交的平面方向上配置的多个第一发热体及在所述厚度方向上配置于比所述多个第一发热体靠所述一方的主面侧处的第二发热体。所述多个第一发热体中的任一个第一发热体与所述第二发热体通过在所述保持基板内沿所述厚度方向延伸的第一通孔而电串联连接。

公开(公告)号：CN110494970A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201880023622.2

申请日：2018-04-06

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 三轮要

IPC: H01L21/683 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74

Abstract: 通过提高板状部件的各区段的温度测定的精度来提高板状部件的吸附面的温度分布的均匀性。保持装置具备：板状部件，具有与第一方向大致正交的第一表面；发热用电阻体及测温用电阻体，配置于将板状部件的至少一部分假想性地分割成沿着与第一方向正交的方向排列的多个区段时的各区段；及供电部，构成对发热用电阻体及测温用电阻体的供电路径，保持装置在板状部件的第一表面上保持对象物。测温用电阻体的第一方向上的位置与发热用电阻体不同。至少一个测温用电阻体即特定测温用电阻体具有第一方向上的位置互不相同且相互被串联连接的多层电阻体要素。

公开(公告)号：CN107481953A

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201610404527.X

申请日：2016-06-08

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 土佐晃文 ,  乾靖彦 ,  三轮要 ,  篠崎洋辅

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/67103

Abstract: 本发明提供一种能够抑制供电路径的发热的层叠发热体。该层叠发热体(1)包括陶瓷基板(3)、电极(4)、加热器(5、7)、端子(11、13、15、17)以及供电路径(19)，该层叠发热体的特征在于，在构成供电路径的贯通路中，至少存在1个满足以下条件(1)和条件(2)的贯通路α、β、γ、δ的组合。条件(1)：在自表面(3a)侧朝向背面(3b)侧观察陶瓷基板时，贯通路δ位于与贯通路β重叠的位置或位于贯通路β的附近。条件(2)：在自表面侧朝向背面侧观察陶瓷基板时，贯通路γ位于贯通路α与贯通路δ之间的位置、或位于与贯通路α重叠的位置、或者位于贯通路α的附近。

公开(公告)号：CN110494970B

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN201880023622.2

申请日：2018-04-06

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 三轮要

IPC: H01L21/683 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74

Abstract: 通过提高板状部件的各区段的温度测定的精度来提高板状部件的吸附面的温度分布的均匀性。保持装置具备：板状部件，具有与第一方向大致正交的第一表面；发热用电阻体及测温用电阻体，配置于将板状部件的至少一部分假想性地分割成沿着与第一方向正交的方向排列的多个区段时的各区段；及供电部，构成对发热用电阻体及测温用电阻体的供电路径，保持装置在板状部件的第一表面上保持对象物。测温用电阻体的第一方向上的位置与发热用电阻体不同。至少一个测温用电阻体即特定测温用电阻体具有第一方向上的位置互不相同且相互被串联连接的多层电阻体要素。

公开(公告)号：CN111712910A

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN201980013470.2

申请日：2019-02-12

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 三轮要

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H02N13/00 ,  H05B3/02 ,  H05B3/74

Abstract: 本发明提高保持装置的板状部件的表面的温度分布的控制性。保持装置是如下装置，即，具备：板状部件；基座部件；多个加热器电极，配置于板状部件；多个供电端子，与加热器电极电连接；粘接部，粘接板状部件与基座部件；及绝缘部件，收容在端子用孔内，并且保持装置将对象物保持在板状部件的表面上。设置于保持装置的多个供电端子包括：N个独立供电端子，与多个加热器电极中的N(N为2以上的整数)个加热器电极分别电连接；及共用供电端子，与N个加热器电极的全部电连接。该N个独立供电端子以通过绝缘部件而相互绝缘的状态收容在没有收容共用供电端子的一个端子用孔内，共用供电端子收容在没有收容独立供电端子的其他端子用孔内。

公开(公告)号：CN110235515A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201880009146.9

申请日：2018-01-31

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 三轮要

IPC: H05B3/02 ,  H01L21/02 ,  H01L21/3065 ,  H05B3/10 ,  H05B3/74

Abstract: 本公开的一方面的保持装置具备在厚度方向的一方具有主面的保持基板，并且在所述保持基板的内部配置有通过通电而发热的发热部。所述发热部具备：在与所述保持基板的厚度方向正交的平面方向上配置的多个第一发热体及在所述厚度方向上配置于比所述多个第一发热体靠所述一方的主面侧处的第二发热体。所述多个第一发热体中的任一个第一发热体与所述第二发热体通过在所述保持基板内沿所述厚度方向延伸的第一通孔而电串联连接。