公开(公告)号：CN103503557B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201380000441.5

申请日：2013-01-23

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 来田雅裕 ,  永井研吉 ,  鬼头贤信

IPC: H05B3/14 ,  F16N39/04 ,  H05B3/03 ,  H05B3/10

CPC classification number: F24H9/02 ,  F01M5/001 ,  H05B3/141 ,  H05B3/42 ,  H05B2203/024 ,  H05B2214/03

Abstract: 本发明提供一种加热器，即使在尺寸较小的情况下，也能够快速地提高润滑类流体的温度而不会过度加热润滑类流体。一种加热器（100），包括：加热器主体（50）、收纳加热器主体（50）的外壳（51）、以及配置于加热器主体（50）和外壳（51）之间的至少一部分且覆盖加热器主体（50）的至少一部分的覆盖件（52），覆盖件（52）由包含陶瓷以及玻璃中的至少一方的材料构成，加热器主体（50）具有筒状的蜂窝状构造部（4）、以及被配设在蜂窝状构造部（4）的侧面的一对的电极部（21），蜂窝状构造部（4）具有区划形成多个孔格的隔壁，外壳（51）覆盖加热器主体（50）的侧面侧地收纳加热器主体（50），蜂窝状构造部（4）的隔壁由以陶瓷为主成分的材料构成，隔壁通过通电发热。

公开(公告)号：CN101844916A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010150607.X

申请日：2010-03-25

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 寺谷直美 ,  早濑彻 ,  胜田佑司 ,  来田雅裕

IPC: C04B35/10 ,  C04B35/622

Abstract: 本发明提供一种氧化铝烧结体的制法，在低温下烧结由普通氧化铝粉末制作的成形体。本发明的氧化铝烧结体的制法包括：(a)将至少含有Al2O3和MgF2的混合粉末、或者Al2O3、MgF2、MgO的混合粉末成形为规定形状的成形体的步骤；(b)在真空气氛下或非氧化性气氛下将该成形体热压烧成氧化铝烧结体的步骤，即，相对于Al2O3100重量份的MgF2的用量为X(重量份)，热压烧成温度为Y(℃)时，设定热压烧成温度满足下式(1)～(4)的步骤：1120≤Y≤1300…(1)，0.15≤X≤1.89…(2)，Y≤-78.7X+1349…(3)，Y≥-200X+1212…(4)。

公开(公告)号：CN102738044B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201210071328.3

申请日：2012-03-16

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 来田雅裕 ,  早濑徹 ,  胜田祐司

IPC: H01L21/673

CPC classification number: H01L21/6833

Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置用部件，其能降低接合时的残留应力，防止陶瓷基体发生裂纹，即使使用温度为200℃也可获得充分的接合强度，静电吸盘包括：埋设有电极(14)的陶瓷基体(12)、在设于陶瓷基体(12)的背面的凹部(16)的底面露出的电极端子(14a)、用于向电极(14)供电的供电部件(20)、连接供电部件(20)和陶瓷基体(12)的接合层(22)。接合层由AuGe系合金、AuSn系合金、或AuSi系合金形成。对于所述陶瓷基体(12)和所述供电部件(20)，从所述供电部件(20)的热膨胀系数减去所述陶瓷基体(12)的热膨胀系数后的热膨胀系数差D选择满足-2.2≤D≤6(单位：ppm/K)的。

公开(公告)号：CN101844916B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201010150607.X

申请日：2010-03-25

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 寺谷直美 ,  早濑彻 ,  胜田佑司 ,  来田雅裕

IPC: C04B35/10 ,  C04B35/622

Abstract: 本发明提供一种氧化铝烧结体的制法，在低温下烧结由普通氧化铝粉末制作的成形体。本发明的氧化铝烧结体的制法包括：(a)将至少含有Al2O3和MgF2的混合粉末、或者Al2O3、MgF2、MgO的混合粉末成形为规定形状的成形体的步骤；(b)在真空气氛下或非氧化性气氛下将该成形体热压烧成氧化铝烧结体的步骤，即，相对于Al2O3100重量份的MgF2的用量为X(重量份)，热压烧成温度为Y(℃)时，设定热压烧成温度满足下式(1)～(4)的步骤：1120≤Y≤1300…(1)，0.15≤X≤1.89…(2)，Y≤-78.7X+1349…(3)，Y≥-200X+1212…(4)。

公开(公告)号：CN102738044A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210071328.3

申请日：2012-03-16

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 来田雅裕 ,  早濑徹 ,  胜田祐司

IPC: H01L21/673

CPC classification number: H01L21/6833

Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置用部件，其能降低接合时的残留应力，防止陶瓷基体发生裂纹，即使使用温度为200℃也可获得充分的接合强度，静电吸盘包括：埋设有电极(14)的陶瓷基体(12)、在设于陶瓷基体(12)的背面的凹部(16)的底面露出的电极端子(14a)、用于向电极(14)供电的供电部件(20)、连接供电部件(20)和陶瓷基体(12)的接合层(22)。接合层由AuGe系合金、AuSn系合金、或AuSi系合金形成。对于所述陶瓷基体(12)和所述供电部件(20)，从所述供电部件(20)的热膨胀系数减去所述陶瓷基体(12)的热膨胀系数后的热膨胀系数差D选择满足-2.2≤D≤6(单位：ppm/K)的。

公开(公告)号：CN103503557A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201380000441.5

申请日：2013-01-23

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 来田雅裕 ,  永井研吉 ,  鬼头贤信

IPC: H05B3/14 ,  F16N39/04 ,  H05B3/03 ,  H05B3/10

CPC classification number: F24H9/02 ,  F01M5/001 ,  H05B3/141 ,  H05B3/42 ,  H05B2203/024 ,  H05B2214/03

Abstract: 本发明提供一种加热器，即使在尺寸较小的情况下，也能够快速地提高润滑类流体的温度而不会过度加热润滑类流体。一种加热器（100），包括：加热器主体（50）、收纳加热器主体（50）的外壳（51）、以及配置于加热器主体（50）和外壳（51）之间的至少一部分且覆盖加热器主体（50）的至少一部分的覆盖件（52），覆盖件（52）由包含陶瓷以及玻璃中的至少一方的材料构成，加热器主体（50）具有筒状的蜂窝状构造部（4）、以及被配设在蜂窝状构造部（4）的侧面的一对的电极部（21），蜂窝状构造部（4）具有区划形成多个孔格的隔壁，外壳（51）覆盖加热器主体（50）的侧面侧地收纳加热器主体（50），蜂窝状构造部（4）的隔壁由以陶瓷为主成分的材料构成，隔壁通过通电发热。

公开(公告)号：CN102691876A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210069284.0

申请日：2012-03-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 桥本重治 ,  永井研吉 ,  来田雅裕 ,  富田美穗

IPC: F16N39/04

CPC classification number: F01M5/00 ,  F01M5/021 ,  H05B3/14 ,  H05B3/42 ,  H05B2203/024

Abstract: 本发明提供一种即使在尺寸小的情况下也能够不过度加热润滑类流体且迅速提高润滑类流体温度的加热器。本发明的加热器具有：蜂窝状结构部(6)，其包括隔壁(7)和多个孔格(5)，该隔壁(7)以陶瓷为主成分并依靠通电来发热，该多个孔格(5)通过被隔壁(7)划分而形成并且从一侧端部(9a)贯通到另一侧端部(9b)从而成为润滑类流体的流道；由阳极(4a)和阴极(4b)构成的一对电极(4)，其用于与所述蜂窝状结构部(6)接触以使所述蜂窝状结构部(6)的隔壁(7)通电。