氧化铝烧结体、其制法和半导体制造装置部件

    公开(公告)号:CN101844916B

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201010150607.X

    申请日:2010-03-25

    Abstract: 本发明提供一种氧化铝烧结体的制法,在低温下烧结由普通氧化铝粉末制作的成形体。本发明的氧化铝烧结体的制法包括:(a)将至少含有Al2O3和MgF2的混合粉末、或者Al2O3、MgF2、MgO的混合粉末成形为规定形状的成形体的步骤;(b)在真空气氛下或非氧化性气氛下将该成形体热压烧成氧化铝烧结体的步骤,即,相对于Al2O3100重量份的MgF2的用量为X(重量份),热压烧成温度为Y(℃)时,设定热压烧成温度满足下式(1)~(4)的步骤:1120≤Y≤1300…(1),0.15≤X≤1.89…(2),Y≤-78.7X+1349…(3),Y≥-200X+1212…(4)。

    氧化铝烧结体、其制法和半导体制造装置部件

    公开(公告)号:CN101844916A

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN201010150607.X

    申请日:2010-03-25

    Abstract: 本发明提供一种氧化铝烧结体的制法,在低温下烧结由普通氧化铝粉末制作的成形体。本发明的氧化铝烧结体的制法包括:(a)将至少含有Al2O3和MgF2的混合粉末、或者Al2O3、MgF2、MgO的混合粉末成形为规定形状的成形体的步骤;(b)在真空气氛下或非氧化性气氛下将该成形体热压烧成氧化铝烧结体的步骤,即,相对于Al2O3100重量份的MgF2的用量为X(重量份),热压烧成温度为Y(℃)时,设定热压烧成温度满足下式(1)~(4)的步骤:1120≤Y≤1300…(1),0.15≤X≤1.89…(2),Y≤-78.7X+1349…(3),Y≥-200X+1212…(4)。

    电压非线性电阻元件及其制法

    公开(公告)号:CN107240466B

    公开(公告)日:2021-10-26

    申请号:CN201710186997.8

    申请日:2017-03-27

    Abstract: 本发明提供一种电压线性电阻元件及其制法,其在氧化锌区域与其它的金属氧化物区域相接的结构的电压非线性电阻元件中,与以往相比增大电压非线性指数。电压非线性电阻元件(10)具备电压非线性电阻体(简称为电阻体)(20)、以及将该电阻体(20)夹在中间的一对电极(14)、(16)。电阻体(20)是将以氧化锌为主要成分的第1层(21)、同样地以氧化锌为主要成分的第2层(22)、以及以不同于氧化锌的金属氧化物为主要成分的第3层(23)进行层叠而得到的结构。第2层(22)与第1层(21)相接,厚度比第1层(21)薄,体积电阻率高于第1层(21)。第3层(23)与第2层(22)相接。

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