公开(公告)号：CN105392758B

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201580001225.1

申请日：2015-03-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 片居木俊 ,  谷村昂

IPC: C04B37/02 ,  B23K1/19 ,  H01L21/683

Abstract: 半导体制造装置用部件具备作为AlN制陶瓷板的基座10和与基座10接合的气体导入管20。在基座10中与气体导入管20的凸缘22相对的位置上，形成有环状的管接合用倾斜部14。此外，在凸缘22与管接合用倾斜部14之间，形成有管钎焊部24。凸缘22的宽度为3mm以上，厚度为0.5mm以上2mm以下。管接合用倾斜部14的高度优选为0.5mm以上，与凸缘22的外缘相对置的角的倒角在为C倒角时优选为C0.3以上，在为R倒角时优选为R0.3以上。

公开(公告)号：CN105392758A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201580001225.1

申请日：2015-03-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 片居木俊 ,  谷村昂

IPC: C04B37/02 ,  B23K1/19 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B23K1/0008 ,  B23K1/19 ,  B23K3/00 ,  B23K2103/18 ,  B23K2103/52 ,  C04B37/02 ,  C04B37/026 ,  C04B2237/121 ,  C04B2237/124 ,  C04B2237/125 ,  C04B2237/127 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/405 ,  C04B2237/406 ,  C04B2237/80 ,  H01L21/68785

Abstract: 半导体制造装置用部件具备作为AlN制陶瓷板的基座10和与基座10接合的气体导入管20。在基座10中与气体导入管20的凸缘22相对的位置上，形成有环状的管接合用倾斜部14。此外，在凸缘22与管接合用倾斜部14之间，形成有管钎焊部24。凸缘22的宽度为3mm以上，厚度为0.5mm以上2mm以下。管接合用倾斜部14的高度优选为0.5mm以上，与凸缘22的外缘相对置的角的倒角在为C倒角时优选为C0.3以上，在为R倒角时优选为R0.3以上。