公开(公告)号：CN109863262A

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201780062316.5

申请日：2017-09-29

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 矶田佳范 ,  野口卓 ,  内川哲哉 ,  平尾崇行 ,  下平孝直 ,  今井克宏

IPC: C30B29/38 ,  H01L21/205

Abstract: 本发明提供一种具有第一主面及第二主面的13族元素氮化物层。13族元素氮化物层具备：设置于第一主面侧的第一空隙缺乏层、设置于第二主面侧的第二空隙缺乏层、以及设置于第一缺乏层与第二缺乏层之间的空隙分布层。

公开(公告)号：CN114651092B

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202080074003.3

申请日：2020-07-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 野口卓 ,  平尾崇行 ,  矶田佳范 ,  内川哲哉

IPC: C30B29/38 ,  C30B19/02 ,  C30B25/18 ,  H01L33/32

Abstract: 本发明提供能够减少13族元素氮化物结晶层的翘曲这样的厚度方向上的微结构。13族元素氮化物结晶层13包含从氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶中选择的13族元素氮化物结晶，且具有上表面以及底面。在将13族元素氮化物结晶层13沿着与上表面垂直的方向T切割得到的截面中利用阴极发光进行观测时，高亮度层5和低亮度层6交替存在，将高亮度层5的厚度tb设为1时，低亮度层6的厚度td为3以上10以下。

公开(公告)号：CN104919906A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201380066834.6

申请日：2013-11-12

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 杉原鹰雄 ,  野口卓 ,  梅田勇治

IPC: H05K3/18 ,  H05K1/02 ,  H05K3/00

CPC classification number: H05K3/244 ,  H01L23/48 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/0052 ,  H05K3/246 ,  H05K2201/0909 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及电子部件及其制造方法。本发明包括：基板(12)、在基板(12)上形成的电极层(14)，在电极层(14)的上表面(14a)形成的具有比电极层(14)的上表面面积小的上表面面积的镀敷层(16)。电极层(14)的上表面(14a)中包含该电极层(14)的外周的至少一部分的部分从镀敷层(16)露出。

公开(公告)号：CN114651092A

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202080074003.3

申请日：2020-07-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 野口卓 ,  平尾崇行 ,  矶田佳范 ,  内川哲哉

IPC: C30B29/38 ,  C30B19/02 ,  C30B25/18 ,  H01L33/32

Abstract: 本发明提供能够减少13族元素氮化物结晶层的翘曲这样的厚度方向上的微结构。13族元素氮化物结晶层13包含从氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶中选择的13族元素氮化物结晶，且具有上表面以及底面。在将13族元素氮化物结晶层13沿着与上表面垂直的方向T切割得到的截面中利用阴极发光进行观测时，高亮度层5和低亮度层6交替存在，将高亮度层5的厚度tb设为1时，低亮度层6的厚度td为3以上10以下。

公开(公告)号：CN107002287B

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201580067845.5

申请日：2015-12-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 野口卓 ,  东原周平 ,  平尾崇行 ,  内川哲哉

IPC: C30B29/38 ,  C30B19/04

CPC classification number: C30B23/005 ,  C07F5/00 ,  C30B19/02 ,  C30B23/025 ,  C30B23/06 ,  C30B29/406

Abstract: 通过将13族元素源、包含碱金属和碱土金属中的至少一方的助熔剂、及在常温下为液体的添加剂5收纳于结晶培养容器10，在含有氮原子的气体气氛下对结晶培养容器10进行加热、加压，由此生成包含13族元素源、助熔剂及添加剂的熔液14。此时，防止添加剂5蒸发直至助熔剂熔融，使13族元素氮化物结晶在熔液中生长。

公开(公告)号：CN104919906B

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201380066834.6

申请日：2013-11-12

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 杉原鹰雄 ,  野口卓 ,  梅田勇治

IPC: H05K3/18 ,  H05K1/02 ,  H05K3/00

CPC classification number: H05K3/244 ,  H01L23/48 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/0052 ,  H05K3/246 ,  H05K2201/0909 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及电子部件及其制造方法。本发明包括：基板(12)、在基板(12)上形成的电极层(14)，在电极层(14)的上表面(14a)形成的具有比电极层(14)的上表面面积小的上表面面积的镀敷层(16)。电极层(14)的上表面(14a)中包含该电极层(14)的外周的至少一部分的部分从镀敷层(16)露出。

公开(公告)号：CN107002287A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580067845.5

申请日：2015-12-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 野口卓 ,  东原周平 ,  平尾崇行 ,  内川哲哉

IPC: C30B29/38 ,  C30B19/04

CPC classification number: C30B23/005 ,  C07F5/00 ,  C30B19/02 ,  C30B23/025 ,  C30B23/06 ,  C30B29/406

Abstract: 通过将13族元素源、包含碱金属和碱土金属中的至少一方的助熔剂、及在常温下为液体的添加剂5收纳于结晶培养容器10，在含有氮原子的气体气氛下对结晶培养容器10进行加热、加压，由此生成包含13族元素源、助熔剂及添加剂的熔液14。此时，防止添加剂5蒸发直至助熔剂熔融，使13族元素氮化物结晶在熔液中生长。