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公开(公告)号：CN1136043C
公开(公告)日：2004-01-28
申请号：CN00108993.5
申请日：2000-05-26
申请人： 日本酸素株式会社 , 恩伊凯慕凯特股份有限公司
IPC分类号： B01J23/40 , B01J29/068 , B01D53/02 , C01B21/04
CPC分类号： B01J37/0246 , B01D53/02 , B01D53/0462 , B01D53/047 , B01D53/261 , B01D2253/104 , B01D2253/108 , B01D2253/25 , B01D2257/108 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , B01D2259/40081 , B01D2259/4009 , B01D2259/402 , B01D2259/4146 , B01D2259/416 , B01J20/18 , B01J23/40 , B01J37/0228 , Y02C10/08
摘要： 本发明的目的在于提供一种气体处理剂及其制造方法和气体提纯法，这种气体处理剂可同时去除含于气体中的一氧化碳、氢、二氧化碳和水分的气体处理剂，其可维持高度氧化活性并具有较长寿命。而且提供一种气体处理剂及其制造方法，该气体处理剂由以无机多孔性物质层形成的催化剂与吸附剂构成，该无机多孔性物质层含有由铂、钯、钌与铑所组成的群体中选出的元素或其氧化物的至少一种。并提供一种使用上述气体处理剂的气体提纯器、气体提纯法机器装置。
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公开(公告)号：CN1459413A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN03136649.X
申请日：2003-05-22
IPC分类号： C01B23/00
CPC分类号： C01B21/0466 , B01D53/04 , B01D53/26 , B01D53/75 , B01D53/86 , B01D2253/108 , B01D2257/80 , C01B5/00 , C01B21/0416 , C01B21/0422 , C01B23/0021 , C01B23/0026 , C01B2210/0035 , C01B2210/0037 , C01B2210/0053 , C01B2210/0075 , Y02C20/10
摘要： 一种气体精制方法及装置，能够有效率的除去使用氪气或氙气的各种过程的排放气体中所含有的不纯物，而且可以实现在半导体制造装置附近设置能够将排气中的稀有气体连续的分离、回收再利用的小型系统。此方法是为从以稀有气体与氮气作为主成分，且含有以氢气、氮与氢所组成的反应生成物、水蒸气作为微量不纯物的气体混和物中除去上述微量不纯物的气体精制方法，包括能够除去由氮与氢所形成的反应生成物与水蒸气的吸附过程、使氢气在氧气存在下经由氢气氧化触媒反应而能够转换成水蒸气的氢气氧化过程以及除去在氢气氧化过程中所生成的水蒸气的干燥过程，而且，在含有作为微量不纯物的氮氧化物的情况下，在吸附过程的前段，进行使氮氧化物在还原物质存在下经由脱氮触媒反应而能够转换成氮气与水蒸气的脱氮过程。
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公开(公告)号：CN1209350A
公开(公告)日：1999-03-03
申请号：CN98102471.8
申请日：1998-05-23
申请人： 日本酸素株式会社
IPC分类号： B01D53/02
CPC分类号： B01D53/0423 , B01D53/04 , B01D53/261 , B01D53/864 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2253/108 , B01D2253/308 , B01D2257/504 , B01D2257/80 , B01D2259/4009 , B01D2259/4146 , Y02C10/08
摘要： 本发明涉及一种对所含成分以氧和氮为主、且至少含有水、二氧化碳、一氧化碳等要消除杂质的气体进行精制的方法和装置。通过进行氧化一氧化碳、水的吸附除去、二氧化碳吸附除去来进行精制所要精制的气体。在上述的要消除杂质中含有氢的情况下,利用催化剂氧化氢生成水是通过与催化剂的载体、上述催化剂一起填充的水分吸附剂及填充在上述催化剂以后的水分吸附剂二者至少其中之一来吸附除去的。
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公开(公告)号：CN1646207A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03808072.9
申请日：2003-04-11
申请人： 日本酸素株式会社
IPC分类号： B01D53/047
CPC分类号： B01D53/053 , B01D53/047 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2256/10 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/11 , B01D2259/40028 , B01D2259/40037 , B01D2259/40052 , B01D2259/40062 , B01D2259/40064 , B01D2259/40066 , B01D2259/40081 , B01D2259/40086 , B01D2259/402 , C01B23/0052 , C01B2210/0035 , C01B2210/0037 , C01B2210/0046
摘要： 提供使用压力变化式吸附分离法从含多种气体成分的混合气体中分离第1气体成分和第2气体成分时，可有效地回收这些气体成分且可实现低成分化的气体分离方法。使用具有对于第1气体成分是难吸附性而对于第2气体成分是易吸附性的第1吸附剂的第1吸附筒、和具有对于第1气体成分是易吸附性而对于第2气体成分是难吸附性的第2吸附剂的第2吸附筒，在吸附工序和再生工序之间进行均压化第1和第2吸附筒的均压减压工序和均压加压工序。
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公开(公告)号：CN1404413A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN01805349.1
申请日：2001-10-19
申请人： 日本酸素株式会社
IPC分类号： B01D53/04
CPC分类号： B01D53/047 , B01D53/053 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2256/18 , B01D2258/0216 , B01D2259/40062 , B01D2259/404
摘要： 是利用PSA过程能够效率良好地回收作为半导体制造装置等的保护气体使用的氪或氙等高价的气体的气体分离纯化方法。在以含有高价的气体的混合气体为原料气体，利用压力变动吸附分离法将上述高价的气体分离纯化的方法中，作为上述压力变动吸附分离法，通过组合基于平衡吸附量差分离气体成分的平衡压力型变动吸附分离法和基于吸附速度差分离气体成分的速度型压力变动吸附分离法，将上述高价的气体分离纯化。
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公开(公告)号：CN1139019A
公开(公告)日：1997-01-01
申请号：CN95109999.X
申请日：1995-12-27
申请人： 日本酸素株式会社
IPC分类号： B01D53/047
CPC分类号： B01D53/0476 , B01D2253/108 , B01D2253/25 , B01D2256/12 , B01D2257/102 , B01D2259/40003 , B01D2259/40007 , B01D2259/40015 , B01D2259/40024 , B01D2259/40037 , B01D2259/40071 , B01D2259/403
摘要： 压力变动吸收分离方法，使混合气通过多个装有吸附剂的吸附筒依次进行吸附、均压、减压再生、净化再生、均压和加压等工序的转换操作，从而将易吸附成分吸留于吸附剂上，难吸附成分分离出来，经压缩成为产品气体。在均压工序中，将已完成吸附工序的吸附筒分别与已完成净化再生工序的吸附筒的产品气出口和原料进口连通，在原料进口侧边徐徐增加气体流量边进行回收，同时在完成吸附工序的吸附筒内进行排气操作。
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公开(公告)号：CN1032115A
公开(公告)日：1989-04-05
申请号：CN88106720
申请日：1988-09-16
申请人： 日本酸素株式会社
IPC分类号： B01D53/04
CPC分类号： C01B23/00 , B01D53/047 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2256/16 , B01D2257/502 , B01D2257/504 , B01D2257/7025 , B01D2259/40015 , B01D2259/4003 , B01D2259/40037 , B01D2259/40069 , B01D2259/404 , C01B3/56 , C01B2203/043 , C01B2203/047 , C01B2203/0475 , C01B2203/048 , Y02C10/08 , Y02C20/20 , Y02P20/152 , Y02P20/156
摘要： 本发明涉及通过四个以上吸附塔的压力交替吸附法分离气体的吸附分离法，可稳定地获得产品。各吸附塔依次接吸附、平衡减压、顺流减压、逆流减压、吹扫、平衡加压、产品加压和原料加压的顺序进行操作转换在将吸附塔的压力加压至吸附压力的最后工序中，以原料气实施加压从而抑止了压力和流量变动，使产品量增加。
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公开(公告)号：CN1246068C
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN02149141.0
申请日：2002-11-21
申请人： 日本酸素株式会社
IPC分类号： B01D53/047
CPC分类号： B01D53/047 , B01D53/053 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/308 , B01D2256/10 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/11 , B01D2258/0216 , B01D2259/40007 , B01D2259/40052 , B01D2259/40081 , B01D2259/402
摘要： 本发明提供一种气体分离方法及装置，可从含有多个成份的原料气体中分离出气体成份，且皆可有效回收此些多个气体成份，并可一直以稳定的流量、成份浓度采集制品气体。具有：利用填充有对第2主要气体成份为易吸附性的第1吸附剂的第1吸附塔，把第1主要气体成份当作第1制品气体而分离的第1分离工艺，以及利用填充有对第1主要气体成份为易吸附性的第2吸附剂的第2吸附塔，把第2主要气体成份当作第2制品气体而分离的第2分离工艺。且把在第1及第2分离工艺中所排出的再生排气混合至原料气体的循环原料当作一被分离气体使用，并根据循环原料气体的成份浓度，控制第1制品气体的导出流量，借此，以将第2制品气体的导出流量、成份浓度维持成一定。
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公开(公告)号：CN1547504A
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN02816629.9
申请日：2002-08-29
申请人： 日本酸素株式会社
CPC分类号： C01B21/0461 , B01D53/02 , B01D53/047 , B01D2253/102 , B01D2256/10 , B01D2257/104 , B01J20/20 , B01J20/28011 , B01J20/28078 , B01J20/28088 , C01B13/0266 , C01B2210/0045 , C01B2210/0046 , Y10S95/903
摘要： 一种用于从氧气·氮气混合气体分离氮气的吸附剂，是氧气和氮气的分离比α、与吸附氧气平衡吸附量的50％所需时间t50和吸附氧气平衡吸附量的95％所需时间t95的比(t95/t50)之间的关系满足下式条件的MSC，(t95/t50)＜0.4×(α－24)，其中，α＞35并由此构成使用该MSC从氧气和氮气的混合气体通过PSA式而分离氮气的制造方法。根据本发明，相对于一定的氮气发生量，可以减少所使用的吸附剂的量，由此，可以减少装置成本并使装置规模的缩减小型化，同时还能有效降低动力消费量。
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公开(公告)号：CN1503687A
公开(公告)日：2004-06-09
申请号：CN02808232.X
申请日：2002-03-20
申请人： 日本酸素株式会社
IPC分类号： B01D53/04
CPC分类号： B01D53/047 , B01D53/053 , B01D53/261 , B01D2253/102 , B01D2253/104 , B01D2253/108 , B01D2253/116 , B01D2253/25 , B01D2256/10 , B01D2256/12 , B01D2256/18 , B01D2257/102 , B01D2257/104 , B01D2257/11 , B01D2257/80 , B01D2259/40052 , B01D2259/40081 , B01D2259/402 , B01D2259/414
摘要： 本发明的目的是提供一种基于PSA方法分离气体的方法和系统，气体混合物含有的多种组分能高纯度地同时被分离和回收，系统简单，系统费用低，操作容易。分离气体的方法包括以下步骤：加压包含两种或更多种主要气体组分的原料气体混合物，例如，空气MA，被压缩机1加压。交替地重复用不易吸附第一种主要气体组分(氧气)和易吸附第二种主要气体组分(氮气)的第一种吸附剂将第一种主要气体组分的富含氧气的气体MO分离的步骤和用易吸附第一种主要气体组分(氧气)和不易吸附第二种主要气体组分(氮气)的第二种吸附剂将第二种主要气体组分的富含氮气的气体MN分离的步骤，由此从气体混合物中同时生产第一种和第二种气体产品。
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